极限真空度

作品数：29被引量：11H指数：2
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电子束蒸发镀膜设备
《中国科学院院刊》2023年第S01期41-41,共1页
主要技术与性能指标,极限真空度:<2.6×10^(−5)Pa,系统真空漏率:≤6.6×10^(−8)Pa.l/s,膜厚不均匀度:≤±5%,片间不均匀性:≤±5%,批间不均匀性:≤±5%,主要应用,半导体、LED科学研究,代表性应用成果,可满足铝、钛、铬、钒、镍、银、铟...
关键词：不均匀度 沉积薄膜 极限真空度 不均匀性 电子束蒸发镀膜 半导体 科学研究 性能指标 
磁控溅射台
《中国科学院院刊》2023年第S01期44-44,共1页
主要技术与性能指标,系统极限真空度:≤6×10^(−5) Pa,溅射材料:Au、Ag、Pt、W、Mo、Ta、Ti、Al、Si等,片内镀膜厚度均匀性:4英寸样片片间≤±2.9%;批间膜厚均匀性≤±3.9%(连续10炉),镀膜时工作真空度:0.1-10 Pa;起辉压力:0.3 Pa主要应...
关键词：极限真空度 厚度均匀性 膜厚均匀性 磁控溅射 金属薄膜 介质薄膜 集成电路 镀膜 
空间环境模拟设备
《中国科学院院刊》2023年第S01期81-81,共1页
主要技术与性能指标,真空罐磁导率:<1.2,极限真空度:≤8×10^(−6) Pa,温度范围:−180℃-180℃,污染物含量:≤9×10^(−8) g·cm^(−2)·24 h^(−1)主要应用,为多种航天器系统级、部件级的验收和鉴定试验提供电磁屏蔽环境、高低温冷黑背景和...
关键词：污染物含量 热真空试验 真空罐 极限真空度 电磁屏蔽 航天产品 真空环境 高低温 
三工位阴极转移系统
《中国科学院院刊》2023年第S01期85-85,共1页
主要技术与性能指标,极限真空度:5×10^(−5) Pa,钟罩腔体烘烤温度:400℃,均匀性要求:±2.5℃,MCP组件顶升偏心精度:±1 mm且可提供项升力用于热铟封,高温高真空环境下,实现玻壳旋转速度0-3 r/min范围内可调,达到控制精度0.02°以内。
关键词：控制精度 极限真空度 烘烤温度 均匀性要求 真空环境 旋转速度 三工位 性能指标 
真空热处理设备真空设计要素与真空机组优化匹配应用研究
《科技创新与生产力》2023年第5期137-140,共4页张慧俊 王伟乾 王海军 
针对真空系统这个决定真空热处理设备质量的关键因素,本文通过对真空设备设计要素进行梳理,研究了真空热处理设备在设计之初应注重的要素与真空机组需要实现的自身优化匹配等,为真空机组的选型提供了理论计算依据,并结合实际工程应用对...
关键词：真空热处理设备 真空机组优化匹配 工作真空度 极限真空度 压升率 流导 真空泵抽气速率 
上海光源溅射离子泵性能测试
《真空》2021年第3期13-16,共4页李波 刘俊男 张敏 薛松 陈明 
高性能离子泵在同步辐射装置上的应用开发与示范(2017YFF0105803)。
本文详细介绍了上海光源常用溅射离子泵性能测试的方法和原理,并对极限真空度,有效抽速,洁净度进行了测试。结果表明,溅射离子泵的极限真空度测量值都满足≤5.0×10^(-8)Pa的指标要求。SIP200和SIP400的氮气再生抽速最大值均超过了各自...
关键词：同步辐射 超高真空 溅射离子泵 极限真空度 抽速 残气谱图 
640×51215μm 杜瓦真空失效的极限真空度研究被引量：2
《激光与红外》2019年第12期1442-1446,共5页王冠 孟令伟 张冬亮 房方 杨斌 
真空微型杜瓦内部需要高真空度来降低杜瓦与外界的热交换,保持探测器芯片低温工作温度稳定。不同杜瓦失效的真空度有一定的区别,本文通过对640×51215μm及320×256这两种杜瓦组件进行不同真空度下的静态热负载测试,确定以上两种杜瓦结...
关键词：真空失效 杜瓦 静态热负载 
罗茨真空泵“8”字形转子数控加工研究被引量：2
《智能制造》2016年第6期22-25,共4页任涛 
一、引言罗茨真空泵的结构如图1所示.在泵腔内,有2个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上,由传动比为1的一对齿轮带动做彼此反向的同步旋转运动.在转子之间,转子与泵壳内壁之间,保持有一定的间隙.由于罗茨泵是一种无内压缩的...
关键词：罗茨真空泵 转子 数控加工 字形 极限真空度 罗茨泵 旋转运动 制造精度 
渤海大学大型仪器简介
《渤海大学学报（自然科学版）》2015年第2期F0003-F0003,共1页
铜铟镓硒薄膜太阳能电池共蒸发系统 仪器英文名：CIGSe solar cell coevaporation system 规格型号：MBE060CB01 制造商：中国科学院沈阳科学仪器有限公司 产地：中国 主要技术指标：1．极限真空度：6．6×10^-8 Pa；真空室检漏率...
关键词：大型仪器 薄膜太阳能电池 中国科学院 大学 渤海 极限真空度 蒸发系统 CELL 
蜂蜜浓缩真空系统设计
《中国蜂业》2015年第4期42-42,共1页向忠纯 
对蜂蜜浓缩和蜂胶提取液浓缩过程的具体情况进行分析，搞清楚这两种产品在浓缩过程中对真空系统设计的基本要求，如何选真空泵呢？首先，要根据被抽容器中的物料浓缩时的压强、容器内的温度及最大的蒸发量选泵。每种泵都有其极限真空度...
关键词：真空系统设计 浓缩过程 蜂蜜 极限真空度 真空容器 真空泵 浓缩加工 蜂产品 
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