溅射离子泵

作品数：50被引量：44H指数：3
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流量计法测量微型溅射离子泵抽速的方法
《东北大学学报（自然科学版）》2022年第9期1298-1304,1313,共8页耿健 王晓冬 郭美如 黄海龙 
国家自然科学基金资助项目(61971209);国家重大科学仪器设备开发专项(2017YFF0105801)。
介绍了基于流量计法原理搭建的抽速测量装置.在1×10^(-4)~1×10^(-2)Pa下使用磁悬浮转子真空计测量压力,当压力低于1×10^(-4)Pa时使用电离真空计测量压力.提出了一种测量电离真空计抽速与放气率的方法,测量了电离真空计在1×10^(-6)~1...
关键词：溅射离子泵 极小抽速 不确定度 仿真分析 潘宁放电 
铯束管超高真空维持特性研究
《真空与低温》2021年第3期235-238,共4页郑宁 杨军 陈江 王骥 刘志栋 郭美如 
国家自然科学基金(61471183)。
铯束管超高真空长期维持特性是铯原子钟的关键技术指标之一,真空度会影响铯原子钟的性能指标及寿命。材料表面放气率是影响铯束管真空度的主要因素。在铯束管封装过程中,必须针对不同材料制定相应的真空除气工艺来减小材料的放气率,并...
关键词：铯束管 真空维持 放气率 溅射离子泵 
上海光源溅射离子泵性能测试
《真空》2021年第3期13-16,共4页李波 刘俊男 张敏 薛松 陈明 
高性能离子泵在同步辐射装置上的应用开发与示范(2017YFF0105803)。
本文详细介绍了上海光源常用溅射离子泵性能测试的方法和原理,并对极限真空度,有效抽速,洁净度进行了测试。结果表明,溅射离子泵的极限真空度测量值都满足≤5.0×10^(-8)Pa的指标要求。SIP200和SIP400的氮气再生抽速最大值均超过了各自...
关键词：同步辐射 超高真空 溅射离子泵 极限真空度 抽速 残气谱图 
一种小型离子泵电源的设计被引量：1
《真空科学与技术学报》2020年第11期1109-1113,共5页蔡龙 陈智勇 张扬 吴晓勇 
真空行业的迅速发展对离子泵电源提出了新的需求与挑战,小型轻量、智能控制和节能高效的离子泵电源将成为行业发展趋势。本文提出了一种通用性强的小型离子泵电源的设计方案,介绍了系统组成与拓扑结构,给出了电路参数计算和分析说明,并...
关键词：真空 离子泵电源 开关电源 溅射离子泵 
溅射离子泵阳极筒-阴极板间距对抽气特性影响的数值研究被引量：1
《真空与低温》2020年第4期265-269,共5页王晓冬 黄海龙 宁久鑫 田野 耿建 
国家重大科学仪器设备开发专项(2017YFF0105801)。
建立了描述溅射离子泵抽气单元抽气特性的计算模型。采用商业软件COMOL Multiphysics,将等离子体模块、磁场模块、带电粒子追踪模块进行耦合,计算得到了阳极筒内潘宁放电特性参数、气体离子入射阴极板能量和角度。引入非垂直入射溅射产...
关键词：溅射离子泵 抽气单元 抽气特性 数值计算 结构改进 
溅射离子泵抽气单元放电及离子输运仿真被引量：2
《东北大学学报（自然科学版）》2020年第7期962-967,共6页宁久鑫 黄海龙 王晓冬 孙浩 
国家重大科学仪器设备开发专项(2017YFF0105801).
基于有限元法,对溅射离子泵抽气单元内气体放电及离子输运过程进行了研究.采用商业软件COM SOL M ultiphysics将等离子体模块、磁场模块、带电粒子追踪模块进行耦合,计算得到阳极筒内电子密度的分布规律.研究了气体压强、阳极电压、磁...
关键词：溅射离子泵 离子输运 多物理场耦合 仿真分析 抽气速率 
一种新型小型化高抽速的复合吸气泵
《真空电子技术》2020年第2期39-43,共5页郭卫斌 薛函迎 柴云川 王浏杰 
本文介绍了一种高抽速体积小巧的由溅射离子泵和吸气剂泵组合而成的复合泵,其特别适用于超高真空实验室设备、便携式真空仪器等领域。其采用吸气剂泵作为主泵,用一个小型离子泵安装在吸气剂泵的支架内用来抽除吸气剂泵无法抽除的甲烷、...
关键词：超高真空 溅射离子泵 吸气剂泵 复合泵 
基于蒙特卡洛法溅射离子泵泵腔结构研究被引量：3
《真空科学与技术学报》2019年第2期107-110,共4页崔寓淏 窦仁超 王凯 马永强 周雪茜 
采用蒙特卡洛方法对溅射离子泵腔抽气通道内的气体流动规律进行数值模拟。建立了不同溅射离子泵结构的几何模型,计算了气体分子在不同泵腔结构中进出比例,分析了腔结构对反流量的影响,得到了抽气组件在不同泵腔结构中的抽气效率,探讨各...
关键词：溅射离子泵 蒙特卡洛方法 分子流 
一种磁选态铯束管的真空设计方法被引量：3
《真空科学与技术学报》2018年第1期16-19,共4页陈江 成大鹏 马寅光 张涤新 崔敬忠 
国家自然科学基金资助项目(61471183;51304100)
密封铯束管是铯原子钟的物理部分,也是一种电真空器件。但是有关铯束管的真空设计方法在文献中很少讨论。本文提出了一种设计方法,该方法基于物理及使用要求。首先根据铯原子束流强度与铯束管内压强关系,得出铯束管的工作压强应当满足...
关键词：铯束管 材料出气率 溅射离子泵 真空设计 
空间滤波器离子泵监控系统的设计
《数字技术与应用》2014年第10期3-3,共1页吕凤年 张臻 
在大型高功率激光驱动器中,多级空间滤波器是抑制光束高频成分的非线性增长、改善光束传输质量的有效措施之一。高能激光束在到达滤波器小孔位置时会发生空气击穿,在日常运行过程中,我们使用溅射离子泵来维持管道的高真空。为了便于对...
关键词：空间滤波器 自动化控制 溅射离子泵 PLC 
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