空间滤波器离子泵监控系统的设计  

作　　者：吕凤年[1] 张臻[1] 

机构地区：[1]中国科学院上海光学精密机械研究所,上海201800

出　　处：《数字技术与应用》2014年第10期3-3,共1页Digital Technology & Application

摘　　要：在大型高功率激光驱动器中,多级空间滤波器是抑制光束高频成分的非线性增长、改善光束传输质量的有效措施之一。高能激光束在到达滤波器小孔位置时会发生空气击穿,在日常运行过程中,我们使用溅射离子泵来维持管道的高真空。为了便于对多台离子泵控制器进行集中管理,在出现故障时能自动处理,利用PLC和串口服务器设计了相应的控制系统,保证物理实验的正常运行。

关 键 词：空间滤波器 自动化控制 溅射离子泵 PLC 

分 类 号：TP273[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]