潘宁放电

作品数：20被引量：48H指数：5
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相关作者：金大志肖坤祥郝胜智王厚银谈效华更多>>
相关机构：中国工程物理研究院电子工程研究所大连理工大学中国科学院等离子体物理研究所东华大学更多>>
相关期刊：《东北大学学报（自然科学版）》《企业科技与发展（下半月）》《物理学报》《机电工程技术》更多>>
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强流脉冲电子束中影响潘宁放电因素的模拟分析
《真空科学与技术学报》2024年第2期184-190,共7页古亮 杨捷 赵华 谭巍 李金荣 
国家国际科技合作专项项目(2015DFR70480);国家自然科学基金培育计划项目(2021PY211)。
为研究强流脉冲电子束内部潘宁离子源电离情况的影响因素,文章基于有限元仿真软件建立二维轴对称模型对其内部磁场和电子分布进行仿真,再从阳极电压、磁场强度、气压三个方面对氩气潘宁放电及径向分布的影响进行了模拟仿真研究,对电离...
关键词：强流脉冲电子束 潘宁放电 影响因素 电子密度 
微型溅射离子泵的阳极筒长度对抽气特性的影响
《东北大学学报（自然科学版）》2023年第11期1596-1603,共8页耿健 王晓冬 郭美如 任正宜 
国家自然科学基金资助项目(61971209);国家重大科学仪器设备开发专项(2017YFF0105801)。
基于粒子云网格法与蒙特卡罗法,使用VSim软件对微型溅射离子泵内部潘宁放电的工作过程进行了分析.建立了二维仿真模型并得到了氮气离子入射阴极板时的入射能量、入射角度和入射位置等参数.将非垂直溅射产额理论与仿真得到的结果相结合,...
关键词：潘宁放电 等离子体模拟 蒙特卡罗 溅射产额 抽速 
基于潘宁放电的离子枪研发被引量：1
《真空电子技术》2022年第5期100-104,共5页石晓倩 郭方准 李敏 
辽宁省教育厅“攀登学者”项目
为对样品实现表面清洁、表面刻蚀或深度分析,设计制造了潘宁放电型离子枪。通过阳极筒和一对阴极在磁场的作用下实现原子的离子化,通过调节离子所处区域的电位确定离子能量,通过静电透镜来实现离子的加速和聚焦。调节静电透镜的尺寸和...
关键词：离子枪 潘宁放电 等离子体 表面科学 
流量计法测量微型溅射离子泵抽速的方法
《东北大学学报（自然科学版）》2022年第9期1298-1304,1313,共8页耿健 王晓冬 郭美如 黄海龙 
国家自然科学基金资助项目(61971209);国家重大科学仪器设备开发专项(2017YFF0105801)。
介绍了基于流量计法原理搭建的抽速测量装置.在1×10^(-4)~1×10^(-2)Pa下使用磁悬浮转子真空计测量压力,当压力低于1×10^(-4)Pa时使用电离真空计测量压力.提出了一种测量电离真空计抽速与放气率的方法,测量了电离真空计在1×10^(-6)~1...
关键词：溅射离子泵 极小抽速 不确定度 仿真分析 潘宁放电 
Duhocamis放电特性之空心阴极与热阴极的协同效应
《中国表面工程》2017年第4期8-13,共6页赵渭江 付东坡 巩玲华 杨向军 丁杏芳 刘克新 
国家自然科学基金(11475011)~~
Duhocamis(双空心阴极金属离子源)是在GSI间热阴极PIG离子源基础上,利用空心阴极圆筒取代空心阳极圆筒,磁镜场取代均匀磁场的强流金属离子源。通过系列变化空心阴极与间热阴极电源电压的弧放电试验,了解其对离子源工作及金属等离子体形...
关键词：离子源 金属离子束 潘宁放电 空心阴极 
基于潘宁放电的真空断路器真空度在线监测方法研究被引量：3
《真空科学与技术学报》2017年第2期225-230,共6页刘建华 姜颖先 刘鹏飞 周明平 
针对真空断路器真空度在线监测方法的现状,在屏蔽罩电位法和磁控放电法基础上,提出一种基于潘宁放电的灭弧室真空度在线监测方法。本文首先分析了屏蔽罩电位法进行真空度监测的原理,通过在灭弧室外增加励磁线圈使其产生轴向磁场促使屏...
关键词：真空断路器 真空度 潘宁放电 屏蔽罩电位 场致发射 
电推进空心阴极实验设备冷规失效故障分析及改进被引量：1
《真空》2016年第5期41-44,共4页田立成 高军 张天平 刘伟成 
重点实验室基金(No.9140C5504041001)
本文对电推进空心阴极实验设备真空规失效故障机理进行了分析,提出了解决方法并进行了实验验证,为电推进实验设备真空规选取提供了可行性方案。
关键词：电推进空心阴极实验设备 冷规失效 潘宁放电 真空度测量 分析及改进 
小型潘宁离子源放电及引出特性的数值模拟
《真空》2016年第4期41-44,共4页石磊 黎明 王亚军 
为更好地理解低气压、弱电离条件下潘宁离子源放电过程中离子和电子的动力学行为,建立了简化小型氢气潘宁离子源放电物理模型,采用粒子模拟与蒙特卡罗相结合(PIC/MCC)的方法,考虑了电子与氢气之间的弹性碰撞、激发、电离以及氢原子、离...
关键词：潘宁放电 离子源 磁场 粒子模拟 
大口径脉冲潘宁放电装置设计及实验研究被引量：3
《真空科学与技术学报》2014年第4期377-380,共4页郝胜智 李向南 
国家自然科学基金项目(11075028);中央高校基本科研业务费专项资金(DUT13LAB09)
根据强流脉冲电子束源的工作需要，自行研制大口径脉冲潘宁放电装置提供阳极等离子体。采用亥姆霍兹线圈形成平行磁场，通过脉冲电容的充电电压控制磁场强度，最大峰强约0．2T。潘宁阳极电源电压可调约5000V，通过脉冲电容20心和限流电...
关键词：强流脉冲电子束 脉冲潘宁放电 平行磁场 放电条件 激活时间 
低气压条件下氢气潘宁放电的模拟分析被引量：9
《物理学报》2013年第17期339-345,共7页石磊 钱沐杨 肖坤祥 黎明 
中物院军转民重大专项基金(批准号:JM20120201)资助的课题~~
为更好地理解低气压、弱电离条件下潘宁离子源放电过程中离子和电子的动力学行为,通过建立二维轴对称模型,采用粒子模拟与蒙特卡罗相结合(PIC/MCC)的方法,考虑了电子与氢气之间的弹性碰撞、激发、电离以及氢原子、离子之间的弹性碰撞和...
关键词：潘宁放电 氢气 粒子模拟 蒙特卡罗 
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