离子枪

作品数：25被引量：25H指数：3
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304不锈钢钝化膜的X射线光电子能谱刻蚀研究
《热加工工艺》2024年第4期42-45,共4页李晓伟 安胜利 韩沛 范秀风 
内蒙古科技厅项目(201803005)。
通过X射线衍射仪测试了304不锈钢表面钝化膜物相组成物。通过X射线光电子能谱仪中单原子氩离子和团簇离子枪采用不同的电压及不同时间对304不锈钢表面进行刻蚀;分析了电压及时间对304不锈钢表面元素化合态影响。采用深度剖析法检测了钝...
关键词：X射线光电子能谱 单粒子氩离子及团簇离子枪 钝化膜 深度剖析 
扫描式氩离子枪的电子光学系统研究
《真空》2023年第1期71-75,共5页石晓倩 刘佳辉 陈雪颖 郭方准 
辽宁省教育厅“攀登学者”项目资助(项目编号:8800002)。
扫描式离子枪是样品表面清洁、表面刻蚀和深度分析的常用部件,加速电压在500V到3kV之间可调,具有效率高、性能可靠等优点。电子光学系统是离子枪的重要组成部分,是决定离子束流品质的重要因素。本文利用计算机模拟软件CST对离子枪整体...
关键词：离子枪 电子光学系统 静电聚焦 静电偏转 
基于潘宁放电的离子枪研发被引量：1
《真空电子技术》2022年第5期100-104,共5页石晓倩 郭方准 李敏 
辽宁省教育厅“攀登学者”项目
为对样品实现表面清洁、表面刻蚀或深度分析,设计制造了潘宁放电型离子枪。通过阳极筒和一对阴极在磁场的作用下实现原子的离子化,通过调节离子所处区域的电位确定离子能量,通过静电透镜来实现离子的加速和聚焦。调节静电透镜的尺寸和...
关键词：离子枪 潘宁放电 等离子体 表面科学 
高能量大束流氩离子枪的研发被引量：6
《核技术》2021年第9期39-44,共6页朱美强 石晓倩 唐瓦 邓伟杰 郭方准 
国家自然科学基金(No.11803037)资助。
为了实现对大口径碳化硅非球面反射镜的表面改性层硅的高精度快速抛光,设计制作了高能量大束流氩离子枪。通过热灯丝和阳极栅网的组合实现氩原子的离子化,通过调节氩离子所处区域的电位来确定离子的能量,通过静电聚焦透镜来实现氩离子...
关键词：氩离子枪 光学镜面抛光 表面科学 静电透镜 
团簇离子枪对CH_(3)NH_(3)PbI_(3)钙钛矿薄膜的影响研究
《分析试验室》2021年第3期281-285,共5页单宇 蔡斌 王秀娜 
国家自然科学基金项目(U1710117)资助。
以氩离子团簇为溅射源,对采用一步旋涂法制备的CH_(3)NH_(3)PbI_(3)钙钛矿薄膜进行溅射实验,通过XPS分析检测样品表面Pb元素的价态变化。结果表明,新制备的钙钛矿薄膜材料表面没有检测出Pb^(0),而经过团簇离子枪溅射的样品中部分Pb^(2+...
关键词：钙钛矿薄膜 团簇离子枪溅射 X射线光电子能谱仪 溅射损伤 还原 
静电聚集空心阴极离子枪模拟仿真实验
《实验室研究与探索》2020年第4期83-85,142,共4页王小菊 魏旭耀 杨一帆 李茂想 陆荣国 
国家自然科学基金项目(61704021);电子科技大学高等教育人才培养质量和教学改革项目(2016XJYYB021)。
对静电聚集空心阴极离子枪仿真实验提出了一套完整的设计方案。利用Opera模拟软件,对由空心阴极、栅极、多级静电透镜和阳极构成的静电聚集空心阴极离子枪进行模拟仿真。实现了对各极电位、束流大小、离子束轨迹和阳极束斑尺寸的模拟,...
关键词：静电聚集 电位 阳极束斑 电流 静电透镜 
进水方向对等离子枪钨极部分冷却效果的模拟分析
《甘肃科技》2019年第1期15-17,共3页王子瑜 
为了研究等离子枪体钨极部分温度场分布及进水方向对冷却效果的影响,建立了等离子枪体的物理模型,假设边界条件,采用标准k-ε方程对模型进行模拟计算。通过模拟计算可知正向进水冷却时钨极的最高温度为2784K,反向进水冷却时钨极的最高...
关键词：等离子枪体 钨极 数值模拟 
石英晶体离子刻蚀微调原理与应用
《中国高新技术企业》2010年第14期74-75,共2页段宗涛 
SMD石英晶体谐振器与石英晶体振荡器在现代通讯领域尤其数字家电产品中广泛应用。用实际机型探讨石英晶体元器件生产中刻蚀微调方式的原理与实践应用,以提高成品率和生产效率展开论述。
关键词：石英晶体 离子刻蚀 离子枪工作原理 频率 放电 
负氧离子枪式电子接种器
《中国新技术新产品精选》2007年第1期48-48,共1页
成果简介：本接种器主要适用1：食（药）用菌瓶（袋）制种与栽培，微生物实验和真菌酶制剂生产等茼工程方面的固体菌种扩繁。OGEI-20000型负氧离子枪式电子接种器是将枪式接种器与臭氧发生器融为一体，具有高效灭菌与怏速接种双重功效...
关键词：臭氧发生器 接种器 离子枪 电子 食(药)用菌 柱塞行程 微生物实验 细胞通透性 
几种新型号二次离子质谱仪采用的新技术被引量：2
《现代仪器》2005年第1期39-41,38,共4页游俊富 王虎 赵海山 
本文简要叙述法国CAMECA公司 ,德国IONTOFGmbH公司新型的NanoSIMS5 0IMSWFIMSSCUITRATOFSIMSIV型二次离子质谱的特色 ,着重介绍这些仪器改进过的和新增加的仪器部件的原理。
关键词：二次离子质谱仪 离子图像 离子枪 同心旋转 
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