几种新型号二次离子质谱仪采用的新技术  

The several new technologies in new type secondaryion mass spectrometries

作　　者：游俊富[1] 王虎[1] 赵海山[1] 

机构地区：[1]中国上海测试中心,上海200233

出　　处：《现代仪器》2005年第1期39-41,38,共4页Modern Instruments

摘　　要：本文简要叙述法国CAMECA公司 ,德国IONTOFGmbH公司新型的NanoSIMS5 0IMSWFIMSSCUITRATOFSIMSIV型二次离子质谱的特色 ,着重介绍这些仪器改进过的和新增加的仪器部件的原理。The features of new type Secondary Ion Mass spectrometries:Nano SIMS50、INSWF、IMS SC ULTRA and TOF SIMS IV which are supplied by CAMECA Company (France)and ION TOF (GmbH Germany)respectively are briefly described.The principle,Characterization and application of developed and new components in these SIMS instruments are particularly introduced.

关 键 词：二次离子质谱仪 离子图像 离子枪 同心旋转 

分 类 号：TH838.4[机械工程—仪器科学与技术]