超高真空

作品数：319被引量：407H指数：8
导出分析报告
相关领域：电子电信理学更多>>
相关作者：成永军蒙峻张军辉杨晓天薛其坤更多>>
相关机构：中国科学院清华大学中国科学技术大学中国科学院近代物理研究所更多>>
相关期刊：更多>>
相关基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家攀登计划国家教育部博士点基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
XiPAF重离子同步加速器超高真空系统设计
《工程科学与技术》2025年第1期339-346,共8页范永山 杜畅通 张化一 郑曙昕 姚红娟 邢庆子 王学武 闫逸花 王敏文 王忠明 
强脉冲辐射环境模拟与效应国家重点实验室专项经费资助项目(SKLIPR2102)。
在重离子同步加速器运行过程中需要维持超高真空,降低束流与残余气体的碰撞概率,从而提高束流寿命。具体要求一般为:真空管道内的平均真空度达到超高真空度(10^(–10)Pa量级),并且管道内各处真空度均优于设计值。本文研究了重离子同步...
关键词：重离子同步加速器 超高真空系统 钛升华泵 比放气率 NEG薄膜 
基于洁净真空的半导体测试设备的研发
《真空》2025年第1期62-66,共5页唐榕 卢少波 韩永超 
半导体设备的洁净度对器件性能极为重要,真空环境下悬浮颗粒和残余气体含量低,更接近于真正的清洁真空。洁净真空环境的获得与保持是半导体工业生产的关键,涉及多种学科和技术。本文从腔室材料选择、腔室设计和制造、内表面清洗和检测...
关键词：洁净真空 半导体 颗粒度 超高真空 
超高真空环境下TC4钛合金和ZrO_(2)陶瓷的出气性能研究
《材料导报》2025年第1期281-285,共5页焦纪强 蒙峻 谢文君 刘建龙 魏宁斐 罗成 郭方准 王润成 
国家重点研发项目(Y91O310201);兰州重离子加速器运行维护(Y9HIRLL100)。
内衬超薄壁真空腔体是离子加速器真空系统的核心元件,为了获得超高真空环境,对内衬材料的出气性能有较高要求。基于新型双通道出气率实验装置,完成了TC4钛合金和ZrO_(2)陶瓷在常温抽气、不同烘烤温度及烘烤结束后不同温度下的出气率实验...
关键词：离子加速器 超高真空 TC4钛合金 ZrO_(2)陶瓷 出气率 压力分布 
分子束外延设备国内外进展及展望
《人工晶体学报》2024年第9期1494-1503,共10页陈峰武 吕文利 龚欣 薛勇 巩小亮 
国家重点研发计划(2022YFB3404400)。
分子束外延(MBE)设备具有超高真空、超高精度、超高均匀性薄膜沉积等特点,是化合物半导体材料、器件制造的核心工艺装备,被广泛用于固态微波射频器件、半导体激光器、探测器等外延薄膜制备。本文在简要介绍MBE设备及技术特点的基础上,...
关键词：分子束外延设备 化合物半导体 国产化 超高真空 
AlGaAs光电阴极表面清洗技术研究
《光电子技术》2024年第3期195-202,共8页陈鑫龙 王震 杨炳辰 贾子昕 徐智 崔佳华 张晶 周翔 
国家重点研发计划(No.2022YFF0709300)。
针对高Al组分AlGaAs光电阴极设计了不同清洗方法,通过XPS对不同清洗条件下的材料表面元素成分进行了测试分析,并结合SEM和高倍显微镜对光电阴极材料表面缺陷进行了分析研究。在超高真空腔体中进行了透射式AlGaAs光电阴极及其像增强管的...
关键词：铝镓砷光电阴极 超高真空 光谱响应 化学清洗 
不锈钢管道的比放气率研究
《真空科学与技术学报》2024年第9期797-804,共8页范永山 杜畅通 张化一 郑曙昕 邢庆子 王学武 闫逸花 王敏文 王忠明 
强脉冲辐射环境模拟与效应国家重点实验室专项项目(SKLIPR2102)。
不锈钢管道的比放气率是超高真空系统设计的关键参数,降低比放气率是提高真空度的有效方法之一。在西安200 MeV质子应用装置(XiPAF)的重离子升级工程中,重离子同步环真空管道内要求达到超高真空度(10−10 Pa量级),要求不锈钢管道的比放...
关键词：比放气率 超高真空 不锈钢管道 烘烤温度 
超高真空光学显微系统的设计
《光学技术》2024年第3期374-378,共5页江虹 
电子显微镜等仪器是研究材料微观形貌的重要工具,常工作在真空环境。为了快速瞄准电子显微镜测量的目标区域,有必要引入一种辅助光学显微镜,直接提供样品区域的空间图像。文章介绍了一种用于超高真空环境直接观测的超高真空光学显微系...
关键词：几何光学 光学显微物镜 超高真空 超长镜筒 反向光学设计 
超高真空低温强磁场扫描隧道显微镜的原理及其在石墨烯量子点中的应用被引量：1
《物理实验》2024年第5期1-11,共11页符中秋 王芷 王引书 何林 
扫描隧道显微镜具有原子级实空间分辨与原位电子态密度探测能力,是材料表面结构及性质表征的常用工具,特别是在近20年来以石墨烯为代表的二维材料电学性质的研究中发挥了重要作用.本文介绍了扫描隧道显微镜的基本原理以及超高真空低温...
关键词：扫描隧道显微镜 扫描隧道谱 低温技术 二维材料 石墨烯量子点 
基于精雕系统的七级叶轮加工技术实践
《数控机床市场》2024年第1期60-63,共4页张欢龙 
1.序言叶轮是涡轮增压器最关键的零件之一,广泛应用于航空、船舶、汽车和真空泵等行业的发动机中,其中七级叶片的复杂叶轮是涡轮分子泵内部的核心部件,而涡轮分子泵则广泛应用于真空镀膜(PVD)、半导体制造等行业中,这些行业需要在超高...
关键词：涡轮分子泵 半导体制造 真空镀膜 涡轮增压器 真空泵 超高真空 七级 
激活后的NEG薄膜在氖气保护下的应用研究
《真空科学与技术学报》2023年第10期819-824,共6页徐晓鹏 马文静 尉健亚 葛晓琴 范乐 洪远志 夏小维 黄涛 王思慧 
国家自然科学基金项目(12175225)。
NEG薄膜目前已成为新一代同步辐射光源储存环真空室表面处理的主要手段,HALF光源拟采用镀Ti-Zr-V NEG薄膜的方式以满足储存环真空度的设计要求。在一些情况下,需要打开真空室以更换某些故障件或安装插入件等,这将使NEG薄膜暴露大气,严...
关键词：Ti-Zr-V薄膜 Ne气保护 HALF 超高真空 激活 
全选清除导出
共33页<12345678910>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部