涡轮分子泵

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径向涡轮分子泵叶片结构优化及仿真分析
《真空科学与技术学报》2025年第1期36-42,共7页谢元华 佟英博 谢天意 王桂鹏 窦仁超 孟冬辉 刘坤 孙立臣 闫荣鑫 
国家自然科学基金项目(U22A20179);北京卫星环境工程研究所创新基金项目(CAST-BISEE 2019-024)。
涡轮分子泵广泛应用于大科学装置、核物理工业、半导体及薄膜工业。径向涡轮分子泵转子叶列结构简单,叶列排气端呈圆弧形外扩排布,有利于叶片间气体粒子正向传输,提升了抽气效率。文章以径向结构涡轮分子泵为研究对象,基于稀薄气体传输...
关键词：涡轮分子泵 径向 叶片形状 传输几率 压缩比 
基于神经网络的涡轮分子泵性能预测
《真空科学与技术学报》2024年第9期811-818,共8页匡永麟 王晓冬 宁久鑫 孙坤 蔡永航 杜志华 
国家重大科学仪器设备开发专项项目(2013YQ130429);国家自然科学基金项目(52305240)。
涡轮分子泵作为维持洁净高真空环境的关键设备,广泛应用于半导体制造、空间模拟等诸多领域。然而,准确高效预测涡轮分子泵性能一直是亟待解决的难题,现有方法往往因模型缺乏通用性和计算效率不足而难以令人满意。文章聚焦于开发一种基...
关键词：涡轮分子泵 神经网络 数值计算 性能预测 
高转速背景下涡轮分子泵的发展机遇与挑战
《真空科学与技术学报》2024年第8期657-667,共11页孙坤 邓海顺 胡鑫 王成 汪森辉 张世伟 
国家自然科学基金项目(52305240);安徽高校自然科学研究项目(2023AH051173)。
传统直叶片结构的涡轮分子泵在高转速的背景下面临着新的发展机遇与挑战,为了突破当前遇到的“涡轮分子泵的抽气速率随着涡轮转速增加到一定程度以后就不再增加,仿佛进入了一个饱和状态”的瓶颈问题,文章从分子气体动力学基本原理出发,...
关键词：涡轮分子泵 扭转叶片 高转速 抽气机制 发展趋势 
基于精雕系统的七级叶轮加工技术实践
《数控机床市场》2024年第1期60-63,共4页张欢龙 
1.序言叶轮是涡轮增压器最关键的零件之一,广泛应用于航空、船舶、汽车和真空泵等行业的发动机中,其中七级叶片的复杂叶轮是涡轮分子泵内部的核心部件,而涡轮分子泵则广泛应用于真空镀膜(PVD)、半导体制造等行业中,这些行业需要在超高...
关键词：涡轮分子泵 半导体制造 真空镀膜 涡轮增压器 真空泵 超高真空 七级 
基于组合叶列的涡轮分子泵结构优化与抽气机制研究被引量：1
《安徽工程大学学报》2023年第2期14-20,共7页孙坤 李坤 汪森辉 王成 王龙 来永斌 
安徽理工大学高层次引进人才科研启动基金资助项目(2021YJRC33,13210024);安徽省省级教学研究基金资助项目(2019JYXM1142);安徽省高等学校省级质量工程基金资助项目(2020ZYRC053,2020JYXM0455,2020JYXM1808)。
为了满足涡轮分子泵精准的设计计算和抽速更大的技术要求、弥补传统的单级叶列计算算法的不足,采用真实的动叶列和静叶列组合结构模型,建立组合叶列模拟计算算法,并以对抽速影响较大的前4级组合叶列为例,开展涡轮分子泵的结构优化与抽...
关键词：涡轮分子泵 组合叶列 结构优化 抽气机制 
涡轮分子泵曲面叶片抽气特性研究被引量：3
《真空科学与技术学报》2022年第10期731-736,共6页匡永麟 王晓冬 张国玉 张鹏飞 杜志华 
国家重大科学仪器设备开发专项项目(2013YQ130429)。
涡轮分子泵广泛应用于半导体与薄膜工业、核物理及表面科学等领域,是获得超高真空环境的核心机械设备。本文从一体成型的涡轮转子的可加工性出发,提出了一种涡轮叶片的结构改进方案,并分别使用二维模型和三维模型对改进前后的结构进行...
关键词：涡轮分子泵 曲面叶片 抽气性能 结构设计 数值计算 
涡轮分子泵冷却技术发展研究被引量：1
《现代工业经济和信息化》2022年第7期263-264,267,共3页姚松勤 常轩 常鑫 
简要介绍了涡轮分子泵的结构及其工作原理,主要对涡轮分子泵中关于冷却技术的工程实例做了相应的改进、分析,通过对冷却技术的方案设计改进,提高涡轮分子泵的冷却效果。
关键词：涡轮分子泵 冷却 散热 
吸气式电推进中的气体捕集系统的设计分析被引量：1
《宇航学报》2022年第2期232-240,共9页杨超 胡远 孙泉华 黄河激 
海南省重大科技项目(ZDKJ2019004);中国科学院战略性先导专项(XDA17030100)。
针对吸气式电推进系统中的气体捕集系统,提出了一种能够准确计算气体捕集率的理论模型,并以此为基础开展了气体捕集系统的优化设计。首先,通过分析几类代表性气体捕集系统的捕集特点,提取了影响气体捕集率的关键参数。然后,通过分析进...
关键词：吸气式电推进 气体捕集 自由分子流 涡轮分子泵 
涡轮分子泵叶列抽气性能的计算方法改进被引量：4
《真空科学与技术学报》2022年第1期26-30,共5页匡永麟 王晓冬 黄海龙 张鹏飞 
国家重大科学仪器设备开发专项项目(2013YQ130429)。
涡轮分子泵广泛应用于清洁高真空的获得。本文采用实验粒子蒙特卡洛算法,使用COMSOL对二维模型进行计算,更新了单级叶列抽气性能参数数据库,并在此基础上提出了计算涡轮叶列传输几率的新方法——面积加权法,同时根据改进算法编写计算程...
关键词：涡轮分子泵 抽气性能 传输几率 数值计算 面积加权法 
基于DSMC方法的涡轮分子泵跨流态抽气性能研究被引量：2
《东北大学学报（自然科学版）》2020年第11期1623-1627,1632,共6页李博 马兆俊 王晓冬 巴德纯 
国家重大科学仪器设备开发专项(2017YFF0105800).
基于直接模拟蒙特卡洛(DSMC)方法,可以计算获得涡轮分子泵叶列在不同稀薄气体流态下的抽气性能.通过改变涡轮叶列旋转速度、气体入口结构尺寸及被抽气体温度等参数,能够得到涡轮分子泵最大抽气效率和最大压缩比的变化情况.比较各参数在...
关键词：涡轮分子泵 DSMC方法 跨流态 抽气效率 压缩比 
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