抽气性能

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溅射镀膜单体机真空系统设计及性能分析
《真空科学与技术学报》2024年第11期1000-1008,共9页许泽宇 胡明 刘杰 顾子莺 赵德明 
国家重点研发计划项目(2018YFB1308100)。
为了使溅射镀膜单体机的极限真空度达到5×10^(-4)Pa并提高其抽空效率,提出了新的溅射镀膜单体机真空系统设计方案。利用MOLFLOW+软件对所设计的真空系统进行了极限真空度验证,真空室内部气压均优于2.7×10^(-4)Pa;同时,建立了真空系统...
关键词：磁控溅射 真空系统 抽气性能 抽空曲线 
基于Fluent的多级串联喷嘴液气射流泵的抽气性能研究
《真空》2024年第3期40-45,共6页宋昕 郭建章 
为提高液气射流泵的抽气性能,在其主喷嘴后设置了多级串联喷嘴,通过Fluent软件对常规液气射流泵和多级串联喷嘴液气射流泵内气液两相流体运动情况进行了数值模拟,对比分析了相同工况下两种类型液气射流泵的抽气性能、压力场分布、速度...
关键词：液气射流泵 多级串联喷嘴 抽气性能 数值模拟 
扩散型多通道水喷射真空泵抽气性能分析
《化工装备技术》2024年第3期36-39,共4页陈小康 
根据传统单通道水喷射真空泵结构特性,分析了扩散型多通道水喷射真空泵的性能优势与结构特点,并从影响扩散型多通道水喷射真空泵性能的关键尺寸参数,进行了实测验证。对不同规格扩散型单通道、多通道水喷射真空泵的实际样机进行测试,得...
关键词：扩散型 多通道 水喷射真空泵 极限真空 抽气性能 
NEG泵抽气性能仿真模拟与测试系统设计被引量：1
《真空科学与技术学报》2024年第2期139-145,共7页王姣龙 王国栋 刘霄 蔡洋洋 张峰 陈长琦 谢远来 
国家重点研发计划项目(NO.2017YFE0300103)。
烧结型非蒸散吸气剂(NEG)泵HV400具有对氢及氢同位素有很高的亲和力,即使室温状态下也能发生吸附效应。为了适用于EAST托卡马克中性束注入器工作条件下稳定抽气,针对HV400的抽气性能开展了模拟仿真和实验研究。采用Molflow软件仿真分析...
关键词：非蒸散吸气剂泵 中性束注入器 抽速测试罩 Molflow 
真空系统抽气性能的数值仿真分析被引量：1
《重庆理工大学学报（自然科学）》2022年第10期249-255,共7页郭嘉炜 黄思 李松峰 吴泰忠 
国家自然科学基金项目(21878102)。
选取某真空系统为研究对象,该系统主要由真空泵、真空室和管道等元件组成。运用流动系统的一维仿真软件Flowmaster计算真空系统在特定工况下的抽气速率、压力、密度等参数随时间的变化规律。首先采取与理论方法、Fluent三维方法计算简...
关键词：真空系统 抽气性能 Flowmaster 一维仿真 
涡轮分子泵曲面叶片抽气特性研究被引量：3
《真空科学与技术学报》2022年第10期731-736,共6页匡永麟 王晓冬 张国玉 张鹏飞 杜志华 
国家重大科学仪器设备开发专项项目(2013YQ130429)。
涡轮分子泵广泛应用于半导体与薄膜工业、核物理及表面科学等领域,是获得超高真空环境的核心机械设备。本文从一体成型的涡轮转子的可加工性出发,提出了一种涡轮叶片的结构改进方案,并分别使用二维模型和三维模型对改进前后的结构进行...
关键词：涡轮分子泵 曲面叶片 抽气性能 结构设计 数值计算 
面向聚变堆排灰气的直线型水银扩散泵抽气性能DSMC模拟研究
《真空》2022年第2期26-31,共6页廖泽宇 毛世峰 赵长莲 叶民友 
国家重点研发计划(2017YFE0301501);中国科学院合肥大科学中心协同创新培育基金项目(2020HSC-CIP015)。
在德国卡尔斯鲁厄理工学院提出的KALPUREX(Karlsruhe liquid metal based pumping process for fusion reactor exhaust gases)流程中,利用直线型水银扩散泵实现对聚变堆排灰气的连续抽气,从而解决使用捕集式低温泵带来的高氚滞留量问...
关键词：聚变堆排灰气 直接模拟蒙特卡洛 直线型水银扩散泵 抽气速率 返流率 
涡轮分子泵叶列抽气性能的计算方法改进被引量：4
《真空科学与技术学报》2022年第1期26-30,共5页匡永麟 王晓冬 黄海龙 张鹏飞 
国家重大科学仪器设备开发专项项目(2013YQ130429)。
涡轮分子泵广泛应用于清洁高真空的获得。本文采用实验粒子蒙特卡洛算法,使用COMSOL对二维模型进行计算,更新了单级叶列抽气性能参数数据库,并在此基础上提出了计算涡轮叶列传输几率的新方法——面积加权法,同时根据改进算法编写计算程...
关键词：涡轮分子泵 抽气性能 传输几率 数值计算 面积加权法 
分子泵抽气槽附近流场和抽气性能理论研究
《科技视界》2021年第30期5-8,共4页赵君 
分子泵是对专用设备进行抽空,保持内部压力小于一定量级,以减小专用设备能耗的重要装置。文章针对不同型号专用设备进行分子泵的设计和优化。主要需要针对分子泵组成结构、槽型、径向尺寸、有效高度等进行优化设计,为此根据分子泵附近...
关键词：分子泵 结构 流场计算方法 
分子真空泵研究进展被引量：5
《真空科学与技术学报》2021年第9期817-825,共9页王晓冬 张鹏飞 李博 匡永麟 黄海龙 巴德纯 
国家重大科学仪器设备开发专项(2013YQ130429)。
分子真空泵作为重要的清洁高真空、超高真空获得设备,因其工作稳定可靠,在分子流态下具有很好的抽气效率,在科学仪器、工业生产设备中得到广泛应用。近年来,随着数控加工手段、磁悬浮轴承技术、模拟计算方法的广泛采用,为分子真空泵性...
关键词：分子真空泵 抽气性能 算法改进 结构优化 研究综述 
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