分子泵

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基于STM32和PyQt5的分子泵监控系统设计与实现
《工业仪表与自动化装置》2025年第2期60-63,104,共5页张延顺 宁远涛 黄涛 吴晓鹏 黄佳荣 任维松 
国家重点研发计划资助(2022YFF0707200)。
该文提出了一种高端分析仪器用分子泵的监控系统设计与实现方案。系统采用Modbus-RTU协议,通过串口通信实现主从模式的实时数据交互。分子泵驱动器采用STM32F030单片机,实现电机控制和数据采集;上位机软件则基于PyQt5开发,提供用户友好...
关键词：分子泵 STM32 PyQt5 MODBUS 
径向涡轮分子泵叶片结构优化及仿真分析
《真空科学与技术学报》2025年第1期36-42,共7页谢元华 佟英博 谢天意 王桂鹏 窦仁超 孟冬辉 刘坤 孙立臣 闫荣鑫 
国家自然科学基金项目(U22A20179);北京卫星环境工程研究所创新基金项目(CAST-BISEE 2019-024)。
涡轮分子泵广泛应用于大科学装置、核物理工业、半导体及薄膜工业。径向涡轮分子泵转子叶列结构简单,叶列排气端呈圆弧形外扩排布,有利于叶片间气体粒子正向传输,提升了抽气效率。文章以径向结构涡轮分子泵为研究对象,基于稀薄气体传输...
关键词：涡轮分子泵 径向 叶片形状 传输几率 压缩比 
基于专利视角的分子泵技术现状分析
《高科技与产业化》2024年第9期111-114,共4页胡志鹏 田子茹 吕佳梅 
受半导体制造、液晶注入等新兴行业的带动,真空技术正日益成为高科技不可缺少的重要环节,作为核心装备之一,分子泵的研制和生产越来越受到重视。本文将以分子泵作为研究对象,通过检索获取与分子泵技术相关的专利数据,结合数据对全球范...
关键词：分子泵 专利分析 技术现状 专利布局 
基于神经网络的涡轮分子泵性能预测
《真空科学与技术学报》2024年第9期811-818,共8页匡永麟 王晓冬 宁久鑫 孙坤 蔡永航 杜志华 
国家重大科学仪器设备开发专项项目(2013YQ130429);国家自然科学基金项目(52305240)。
涡轮分子泵作为维持洁净高真空环境的关键设备,广泛应用于半导体制造、空间模拟等诸多领域。然而,准确高效预测涡轮分子泵性能一直是亟待解决的难题,现有方法往往因模型缺乏通用性和计算效率不足而难以令人满意。文章聚焦于开发一种基...
关键词：涡轮分子泵 神经网络 数值计算 性能预测 
基于模态分析和神经网络的分子泵故障检测方法研究
《真空科学与技术学报》2024年第8期687-694,共8页郑悦 周盈 綦磊 李一博 
国家重点研发计划项目(2022YFB3402804)。
分子泵一种基于气体分子定向运动而产生真空环境的装置,在空间环境模拟等试验中至关重要,其内部结构精密而复杂,长期使用后可能会产生真空度不足等故障,如何及时准确地诊断分子泵的运行状态格外关键。文章提出了一种基于模态分析的降噪...
关键词：分子泵 故障诊断 小波包能量 BP 神经网络 
高转速背景下涡轮分子泵的发展机遇与挑战
《真空科学与技术学报》2024年第8期657-667,共11页孙坤 邓海顺 胡鑫 王成 汪森辉 张世伟 
国家自然科学基金项目(52305240);安徽高校自然科学研究项目(2023AH051173)。
传统直叶片结构的涡轮分子泵在高转速的背景下面临着新的发展机遇与挑战,为了突破当前遇到的“涡轮分子泵的抽气速率随着涡轮转速增加到一定程度以后就不再增加,仿佛进入了一个饱和状态”的瓶颈问题,文章从分子气体动力学基本原理出发,...
关键词：涡轮分子泵 扭转叶片 高转速 抽气机制 发展趋势 
分子泵体积流率检测标准方法的探讨
《真空》2024年第4期58-64,共7页乔忠路 王玲玲 李智慧 刘诗梦 宋青竹 战春鸣 
全面论述了分子泵的发展、体积流率检测方法及应用等内容。介绍了分子泵体积流率测量的国内外标准,重点探讨了流量法和小孔法两种体积流率测试方法,以FF-160/620C分子泵为对象,分别用这两种方法测量了其在特定压力下的体积流率,详细介...
关键词：分子泵 体积流率 流量法 小孔法 
基于改进BP的分子泵故障诊断研究被引量：1
《真空科学与技术学报》2024年第3期220-228,共9页周阳 袁啸林 江明 左桂忠 刘鹏 侯吉磊 陈跃 庄会东 成志新 
国家自然科学基金青年基金项目(11905254;12105322);安徽省自然科学基金青年基金项目(2108085QA38)。
分子泵为EAST装置提供洁净的真空环境,其运行状态影响EAST实验的顺利开展。由于在EAST实验运行过程中,分子泵设备可能会出现异物坠入或者真空泄漏故障,对装置造成次生危害。针对分子泵故障数据集不平衡导致故障诊断精度低以及模型过拟...
关键词：分子泵 时域频域分析 粒子群算法 交叉验证 故障诊断 
基于精雕系统的七级叶轮加工技术实践
《数控机床市场》2024年第1期60-63,共4页张欢龙 
1.序言叶轮是涡轮增压器最关键的零件之一,广泛应用于航空、船舶、汽车和真空泵等行业的发动机中,其中七级叶片的复杂叶轮是涡轮分子泵内部的核心部件,而涡轮分子泵则广泛应用于真空镀膜(PVD)、半导体制造等行业中,这些行业需要在超高...
关键词：涡轮分子泵 半导体制造 真空镀膜 涡轮增压器 真空泵 超高真空 七级 
分子泵用无位置传感器无刷直流电机控制器设计
《机械》2024年第2期65-71,共7页王彦劼 李强 陶继忠 
首先介绍了无刷直流电机的基本模型和特性,对无位置传感器控制方式的基本原理进行研究。随后据此设计了一种分子泵用无位置传感器无刷直流电机控制系统,该系统采用反电势过零点检测方法获取转子位置信息,以进行换相逻辑控制,改进了电机...
关键词：无位置传感器 无刷直流电机 分子泵 电机控制器 
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