抽气特性

作品数：19被引量：44H指数：4
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微型溅射离子泵的阳极筒长度对抽气特性的影响
《东北大学学报（自然科学版）》2023年第11期1596-1603,共8页耿健 王晓冬 郭美如 任正宜 
国家自然科学基金资助项目(61971209);国家重大科学仪器设备开发专项(2017YFF0105801)。
基于粒子云网格法与蒙特卡罗法,使用VSim软件对微型溅射离子泵内部潘宁放电的工作过程进行了分析.建立了二维仿真模型并得到了氮气离子入射阴极板时的入射能量、入射角度和入射位置等参数.将非垂直溅射产额理论与仿真得到的结果相结合,...
关键词：潘宁放电 等离子体模拟 蒙特卡罗 溅射产额 抽速 
分子真空泵研究进展
《中国科技期刊数据库 工业A》2023年第6期185-188,共4页许忠政 宋涛 张柏诚 
分子真空泵是一种清洁高真空获得设备,在科研仪器和工业设备等领域有着广阔的应用前景。近几年来,由于大量应用了数字控制技术、磁力轴承技术和仿真计算等手段,使得分子泵的性能得到了提高。基于此,本文围绕着分子真空泵的设计与计算所...
关键词：分子真空泵 抽气特性 计算改进及结构优化 
超流氦低温系统减压降温泵组的设计及室温性能试验研究被引量：2
《低温工程》2022年第6期56-63,共8页王金坤 倪清 赵乾坤 
上海市市级科技重大专项(NO.2017SHZDZX02)资助。
为了研究减压降温泵组对氦气抽气性能,以及在不同工况下的系统控制能力,研制一套减压降温泵组用以验证其室温下的抽气特性,并搭建了一种氦减压降温泵组室温性能的测试平台。试验测试内容包括泵组对氦气的抽速、压力稳定性和极限压力等,...
关键词：减压降温泵 选型设计 性能测试 抽气特性 
罗茨真空机组预抽阶段的抽气特性比较研究被引量：3
《真空》2022年第1期1-6,共6页张世伟 高雷鸣 李润达 满永奎 杜远鹏 王波 许祖近 
针对罗茨泵真空机组在启动预抽阶段的三种工作模式——旁通式、直通式和变频式,分别建立了简化计算模型,推导得出罗茨泵进入正常稳态工作之前罗茨机组的有效抽速计算公式,以及被抽容器的抽气时间计算方法。通过一个计算示例,对比得出了...
关键词：罗茨真空机组 启动预抽 抽速计算 变频 
微型溅射离子泵放电模拟与抽气特性研究被引量：1
《真空与低温》2021年第1期45-51,共7页耿健 郭美如 王晓冬 张世伟 成永军 孙雯君 黄海龙 李海涛 任正宜 吴成耀 
国家自然科学基金项目(61971209);国家重大科学仪器设备开发专项(2017YFF0105801)。
为了解溅射离子泵抽气过程中内部放电与抽速的关系,考虑了N2分子的激发、电离及粒子之间的弹性碰撞等过程,利用COMSOL软件对微型溅射离子泵内部气体放电进行了数值模拟研究。得到了电子密度、温度、粒子轨迹、入射角度及入射能量的分布...
关键词：微型溅射离子泵 放电模拟 极小抽速 抽气特性 
溅射离子泵阳极筒-阴极板间距对抽气特性影响的数值研究被引量：1
《真空与低温》2020年第4期265-269,共5页王晓冬 黄海龙 宁久鑫 田野 耿建 
国家重大科学仪器设备开发专项(2017YFF0105801)。
建立了描述溅射离子泵抽气单元抽气特性的计算模型。采用商业软件COMOL Multiphysics,将等离子体模块、磁场模块、带电粒子追踪模块进行耦合,计算得到了阳极筒内潘宁放电特性参数、气体离子入射阴极板能量和角度。引入非垂直入射溅射产...
关键词：溅射离子泵 抽气单元 抽气特性 数值计算 结构改进 
混合分段算法计算涡轮分子泵的压缩比被引量：4
《真空科学与技术学报》2018年第8期663-666,共4页孙浩 孙浩林 李博 马兆俊 王晓冬 
为了进一步完善分子泵在整个流态区域内抽气性能的计算,本文分别对主要用于描述连续流体运动问题的连续流态方程法和主要用于描述分子流态问题的特征系数法进行了评价,两种方法在计算涡轮分子泵压缩比时有各自的适用范围。为了提高涡轮...
关键词：涡轮分子泵 抽气特性 连续流态方程法 特征系数法 混合分段算法 
复合分子泵抽气特性算法改进与结构优化被引量：6
《真空》2018年第3期1-5,共5页张鹏飞 王晓冬 张磊 巴德纯 陶继忠 
国家重大科学仪器设备开发专项(2013YQ130429)
采用蒙特卡洛方法计算单级涡轮叶列传输几率,引入气体分子与固体壁面反射适应系数模型,评估不同反射条件对单级涡轮叶列抽气特性的影响。采用积分中值法计算涡轮叶列传输几率,提高涡轮级抽气特性的计算精度。采用分段流态判别法计算牵...
关键词：复合分子泵 抽气性能 积分中值法 分段流态判别法 结构优化 
热流逸效应的抽真空特性分析被引量：5
《真空科学与技术学报》2017年第9期866-872,共7页王博韬 卢苇 徐昆 王祥 
广西自然科学基金资助项目(2016GXNSFAA380232);国家自然科学基金资助项目(51366001);广西研究生教育创新计划资助项目(YCSW2017035)
热流逸效应可输送气体并产生压力差,可利用其抽真空。本文建立了描述热流逸效应及其抽真空泵送特性的数学模型,以空气为例探讨了气体流态(努森数)、微通道特征尺寸和径长比以及温差等参数对压力比、净质量流量、抽速和无量纲抽气时间的...
关键词：微通道 净质量流量 压力比 温差 真空抽气特性 
径流分子泵在多弧离子镀膜设备的最新应用
《真空与低温》2016年第2期111-113,共3页张永胜 储继国 
通过对新开发问世的径流分子泵进行介绍,其独特抽气特性,为多弧离子镀的工艺优化提供了理论依据。传统多弧离子镀的抽气工艺和镀膜工艺,是在扩散泵和涡轮分子泵抽气能力的制约下总结出来的。径流泵机组的问世,为多弧离子镀膜提供了更加...
关键词：多弧离子镀 径流分子泵 镀膜工艺 抽气特性 
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