MO/SI多层膜

作品数：25被引量：77H指数：6
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基于高频率公转速度变化策略的极紫外多层膜均匀性研究
《长春理工大学学报（自然科学版）》2024年第3期1-9,共9页徐国华 韩伟明 王佳兴 宋晓伟 
国家自然科学基金(U22A2070,62175018);重庆市科技局自然基金(CSTB2023NSCQ-MSX0302)。
应用自研高真空磁控溅射镀膜系统,在高反射率和高均匀性极紫外Mo/Si多层膜方面开展实验研究。采用高速匀速自转和调节公转转速相结合的行星运行式镀膜方法,在高频率公转速度变化策略下,实现了多层膜周期厚度的较高均匀性。实验结果表明...
关键词：磁控溅射 MO/SI多层膜 极紫外 膜厚均匀性 制备技术 
极紫外光源用大口径Mo/Si多层膜厚度控制与热稳定性研究
《中国激光》2024年第7期187-195,共9页刘翔月 张哲 蒋励 宋洪萱 姚殿祥 黄思怡 徐文杰 霍同林 周洪军 齐润泽 黄秋实 张众 王占山 
国家自然科学基金(12204353,12075170,U2030111)。
Mo/Si多层膜是13.5 nm极紫外波段理想的反射镜膜系,它与极紫外光源的结合使得极紫外光刻成为了目前最先进的制造手段之一。极紫外光源的实际应用对Mo/Si多层膜提出了高反射率、高热稳定性、抗辐照损伤、大口径等诸多要求。针对极紫外光...
关键词：激光光学 极紫外光源 MO/SI多层膜 磁控溅射 膜厚控制 热稳定性 
月基极紫外相机Mo/Si多层膜反射镜的空间质子辐照稳定性被引量：1
《激光杂志》2021年第11期24-29,共6页李云鹏 陈波 吕鹏 杨洪臣 王华朋 
国家重点研发计划项目(No.2017YFC0821000);辽宁省自然科学基金计划重点项目(No20180540048);中央高校基本科研业务费中国刑事警察学院项目(No.D2017020);辽宁省教育厅科学研究经费项目(No.ZGXJ2020008)。
为研究月基极紫外相机Mo/Si多层膜反射镜能否在月面辐照环境下长期稳定工作,从理论仿真、光学性能、微观形貌三方面对其辐照稳定性进行了研究。采用Monte-Carlo方法模拟了不同能量质子束辐照Mo/Si多层膜后薄膜内部的损伤情况,结果表明:...
关键词：MO/SI多层膜 质子辐照 反射率 等离子体层 
Mo/Si多层膜表面粗糙度相关镀膜工艺的研究被引量：4
《光学学报》2020年第10期190-196,共7页孙诗壮 金春水 喻波 郭涛 姚舜 李春 邓文渊 
国家自然科学基金(61605201,21603211)。
Mo/Si多层膜镀膜工艺是极紫外光刻的关键技术之一,为了优化并提升Mo/Si多层膜的镀膜工艺,研究了气压、靶-基底间距这两个工艺参数对Mo/Si多层膜表面粗糙度的影响。根据磁控溅射物理过程,建立了一个原子沉积的物理模型,分析了原子沉积到...
关键词：薄膜 MO/SI多层膜 极紫外光刻 磁控溅射 表面粗糙度 功率谱密度 
极紫外光刻照明系统宽带Mo/Si多层膜设计与制备被引量：9
《中国激光》2016年第4期154-160,共7页喻波 李春 金春水 王春忠 
国家科技重大专项(2008ZX02501-004)
针对极紫外光刻照明系统中一块小尺寸反射镜大入射角带宽的需求,采用Si层有效厚度与公转速度关系式和多层膜周期厚度与公转速度关系式,完成了宽带Mo/Si多层膜设计膜系的制备工作。在磁控溅射镀膜机上制备了一系列不同周期厚度和G值（Mo...
关键词：薄膜 极紫外光刻 宽带多层膜 MO/SI多层膜 
月球表面环境对Mo/Si多层膜光学特性的影响被引量：2
《光学学报》2012年第9期303-308,共6页刘震 高劲松 陈波 王彤彤 王笑夷 申振峰 陈红 
国家自然科学基金(10878008;40774098)资助课题
研究了月球表面高温、强辐射的空间环境下Mo/Si多层膜的热稳定性和辐照稳定性。Mo/Si多层膜采用磁控溅射法镀制,将制备好的多层膜在100℃和200℃高温下加热,利用激光等离子体反射率计和X射线衍射仪(XRD)对加热前后的多层膜进行了测量。...
关键词：薄膜 多层膜 热稳定性 辐照稳定性 反射率 等离子体层 
质子辐照下Mo/Si多层膜反射镜的微观结构状态被引量：3
《物理学报》2012年第1期324-330,共7页关庆丰 吕鹏 王孝东 万明珍 顾倩倩 陈波 
国家自然科学基金(批准号:10878004;50671042);应用光学国家重点实验室开放基金资助的课题~~
利用透射电子显微镜对质子辐照前后空间太阳望远镜Mo/Si多层膜的微观结构进行了表征,并对其辐照前后反射率的变化进行了测量.研究表明,Mo/Si多层膜经质子辐照后形成了一些缺陷结构,局部区域Mo/Si的周期性遭到破坏,Mo层与si层的宽度发生...
关键词：空间太阳望远镜 MO/SI多层膜 微观结构 反射率 
基于掠入射X射线反射谱的Mo/Si多层膜扩散系数测量被引量：4
《中国激光》2011年第11期214-219,共6页喻波 李春 金春水 
国家科技重大专项资助课题
测量了Mo/Si多层膜在250℃下经历不同时间退火后的掠入射X射线反射谱,从中提取出特定级次衍射峰在退火过程中的相对移位,通过布拉格公式拟合,得到了Mo/Si多层膜周期厚度皮米级别的相对变化。采用扩散控制模型来描述Mo/Si多层膜界面扩散...
关键词：薄膜 MO/SI多层膜 扩散系数 掠入射X射线反射谱 四层模型 极紫外 
磁控溅射制备横向梯度分布的Mo/Si周期多层膜被引量：7
《强激光与粒子束》2011年第9期2419-2422,共4页涂昱淳 宋竹青 黄秋实 朱京涛 徐敬 王占山 李乙洲 刘佳琪 张力 
国家自然科学基金委员会-中国工程物理研究院联合基金项目(10876023);国家自然科学基金项目(10905042);上海市科委优秀学科带头人项目(09XD1404000);科技部国际交流与合作专项项目(2008DFA01920)
采用磁控溅射方法在Si基板上镀制了横向梯度分布的Mo/Si周期多层膜。以X射线掠入射反射测量了横向梯度多层膜的膜系结构,在基板65mm长度范围内,多层膜周期从8.21nm线性减小到6.57nm,周期梯度为0.03nm/mm。国家同步辐射实验室反射率计的...
关键词：MO/SI多层膜 磁控溅射 梯度多层膜 反射率 同步辐射 
13.5nm Schwarzschild显微镜系统及成像实验被引量：3
《光学精密工程》2011年第8期1709-1715,共7页王新 穆宝忠 黄怡 朱京涛 王占山 贺鹏飞 
国家自然科学基金资助项目(No.10825521);上海市科学技术委员会科研计划资助项目(No.0952nm06900);国家科技合作项目(No.2008DFA01920)
研制了工作波长为13.5 nm的Schwarzschild成像显微镜。从共轴两镜系统的基本理论出发,通过消除三级球差、彗差和像散设计了Schwarzschild物镜的光学初始结构,计算了物镜的光学传递函数。结果表明,物镜在±0.3 mm视场内像方空间分辨率可...
关键词：成像系统 Schwarzschild成像显微镜 MO/SI多层膜 滤波片 空间分辨率 
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