蒋励

作品数：18被引量：56H指数：5
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供职机构：同济大学更多>>
发文主题：多层膜反射率极紫外MO/SI多层膜衍射效率更多>>
发文领域：理学机械工程自动化与计算机技术电子电信更多>>
发文期刊：《光学精密工程》《光学学报》《光子学报》《中国激光》更多>>
所获基金：国家自然科学基金上海市青年科技启明星计划国家高技术研究发展计划教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
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极紫外与X射线高精度薄膜光学系统关键技术及应用
《中国科学：物理学、力学、天文学》2024年第11期2-14,共13页王占山 黄秋实 伊圣振 张众 齐润泽 余俊 张哲 李文斌 盛鹏峰 余越 蒋励 
国家重点研发计划(编号:2023YFA1608600,2022YFF0709100);国家自然科学基金(编号:12235011,12075170)资助项目。
极紫外与X射线(XUV)光学系统在物质微观结构探测和高能物理等前沿科学和重大工程方面有重要应用.本文建立了XUV薄膜表界面散射/反射的理论计算模型,发展了融合器件性能与系统结构误差的XUV光线追迹仿真方法;创建了XUV纳米多层膜界面缺...
关键词：极紫外与X射线 多层膜 光学系统 
40~90 nm波段极紫外多层膜研究进展
《光学精密工程》2024年第9期1293-1306,共14页来搏 蒋励 齐润泽 王占山 
国家自然科学基金资助项目(No.12204353,No.12003016);中央高校基本科研业务费专项资金资助项目。
极紫外多层膜反射镜在许多科学与技术领域,如极紫外光刻、天体物理学、等离子体诊断、阿秒物理和自由电子激光等方面有重要应用。多层膜使极紫外波段反射镜在正入射条件下具有高反射率和窄带宽成为可能。多层膜反射镜是极紫外成像和光...
关键词：光学薄膜 极紫外 多层膜 窄带 高反射 
极紫外光源用大口径Mo/Si多层膜厚度控制与热稳定性研究
《中国激光》2024年第7期187-195,共9页刘翔月 张哲 蒋励 宋洪萱 姚殿祥 黄思怡 徐文杰 霍同林 周洪军 齐润泽 黄秋实 张众 王占山 
国家自然科学基金(12204353,12075170,U2030111)。
Mo/Si多层膜是13.5 nm极紫外波段理想的反射镜膜系,它与极紫外光源的结合使得极紫外光刻成为了目前最先进的制造手段之一。极紫外光源的实际应用对Mo/Si多层膜提出了高反射率、高热稳定性、抗辐照损伤、大口径等诸多要求。针对极紫外光...
关键词：激光光学 极紫外光源 MO/SI多层膜 磁控溅射 膜厚控制 热稳定性 
同济大学精密光学工程技术研究所二十年创新历程
《光学精密工程》2022年第21期2555-2567,共13页王占山 张众 程鑫彬 沈正祥 李文斌 王晓强 马彬 焦宏飞 张锦龙 魏泽勇 王昆 黄秋实 蒋励 伊圣振 邓晓 顿雄 江涛 齐润泽 欧凯 施宇智 黄迪 余俊 顾振杰 骆文锦 董思禹 朱静远 谢凌云 何涛 张哲 盛鹏峰 钮信尚 陈玲燕 李同保 
国家自然科学基金资助项目(No.61621001)。
同济大学精密光学工程技术研究所成立二十年来,以探索前沿科学问题、突破核心关键技术、服务国家重要应用为目标,形成了理论与模拟相结合、科学问题解决与关键技术突破相结合、基础研究与重要应用相结合的特色,形成了研究所的发展理念,...
关键词：发展理念 研究平台 研究成果 研究基地 
高性能大尺寸X射线多层膜反射元件研制进展被引量：3
《光学精密工程》2022年第21期2793-2804,共12页黄秋实 齐润泽 张哲 李文斌 蒋励 张云学 庄野琪 张众 王占山 
国家自然科学基金资助项目(No.12075170);上海市青年科技启明星计划项目(No.19QA1409200)。
X射线多层膜是同步辐射与自由电子激光、天文观测、等离子体诊断等大科学装置和实验室分析仪器的重要光学元件,能高效率反射X射线并实现单色和偏振化等调控。本课题组在近二十年的工作中对X射线多层膜的设计、制备和表征方法开展了系统...
关键词：X射线多层膜 反射率 大尺寸反射元件 多层光栅 
激光惯性约束聚变X射线诊断用多通道Kirkpatrick-Baez成像系统研究进展被引量：8
《光学学报》2022年第11期102-113,共12页伊圣振 司昊轩 黄秋实 张众 蒋励 齐润泽 张哲 王占山 
国家自然科学基金(11875202);国家重点研发计划项目(2019YFE03080200)。
在激光惯性约束聚变(ICF)研究中,涉及X射线时间、空间和能谱信息的等离子体诊断能够为数值模拟提供关键的实验数据支撑,有效推进对ICF关键物理问题的认识。以Kirkpatrick-Baez(KB)结构为代表的多通道掠入射系统是实现高分辨X射线时空成...
关键词：X射线光学 激光惯性约束聚变 等离子体诊断 X射线成像 Kirkpatrick-Baez显微镜 多通道 X射线多层膜 
极紫外与软X射线用非晶碳膜全反射镜的研究
《光子学报》2016年第6期129-133,共5页谭默言 蒋励 王占山 
国家重大科学仪器设备专项(No.2012YQ13012505)资助~~
用高真空磁控溅射设备分别在工作气压为0.40Pa和0.67Pa下制备了非晶碳膜全反射镜样品,利用X射线掠入射反射测量了膜层厚度、粗糙度和膜层密度,用原子力显微镜测量了样品的表面粗糙度,用同步辐射测量了不同工作气压下制备的非晶碳膜全反...
关键词：薄膜 非晶碳 全反射镜 软X射线 磁控溅射 反射率 
低温退火的X射线W/Si多层膜应力和结构性能被引量：1
《物理学报》2016年第8期281-287,共7页张金帅 黄秋实 蒋励 齐润泽 杨洋 王风丽 张众 王占山 
中国科学院战略性先导科技专项(批准号:XDA04060605);国家重大科学仪器设备开发专项(批准号:2012YQ24026402)资助的课题~~
W/Si多层膜反射镜在硬X射线天文望远镜中有重要应用.为减小其应力对反射镜面形和望远镜分辨率的影响,同时保证较高的反射率,采用150,175和200°C的低温退火工艺对采用磁控溅射镀制的W/Si周期多层膜进行后处理.利用掠入射X射线反射测试...
关键词：X射线 W/Si多层膜 退火 应力 
4．75keV能点四通道Kirkpatrick-Baez显微镜被引量：8
《强激光与粒子束》2013年第4期903-907,共5页穆宝忠 吴雯靓 伊圣振 王新 蒋励 朱京涛 王占山 方智恒 王伟 傅思祖 
国家自然科学基金项目(11027507,11105098);上海市青年科技启明星计划项目(10QA1406900)
基于CH柱形靶压缩实验的时间分幅诊断需求,研制了4.75keV能点四通道Kirkpatrick-Baez(KB)显微镜。进行了四通道KB系统的光学设计、像质模拟和分析。采用支撑锥芯的方式解决了四通道KB物镜的集成装配问题,并通过"4.75keV+8keV"双能点多...
关键词：惯性约束聚变 等离子体诊断 KB显微镜 X射线多层膜 分幅相机 
多方向红外测距新型智能导盲杖被引量：11
《光学仪器》2012年第5期84-88,共5页马宏平 蒋励 宋竹青 马彦鹏 王风丽 
同济大学教改资助项目
基于红外探测器的三角测距原理和光电传感技术,设计了一种新型的智能导盲系统。该导盲系统以Arduino单片机为控制核心,三个方向的红外探测器采集周围障碍物信息,通过一定的优化算法编写程序,读取周围障碍物信息,判断需要报警的方向,控...
关键词：红外探测器 Arduino控制器 导盲杖 语音报警 
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