李同保

作品数：47被引量：116H指数：7
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供职机构：同济大学更多>>
发文主题：原子光刻光栅原子原子束驻波场更多>>
发文领域：机械工程理学电子电信一般工业技术更多>>
发文期刊：《光子学报》《应用声学》《物理学报》《激光杂志》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家科技支撑计划上海市科学技术发展基金上海市科委纳米专项基金更多>>
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需求牵引计量助力高端产业破题
《质量与标准化》2024年第11期10-12,共3页邓晓 程鑫彬 李同保 
测试是以集成电路为代表的高端纳米制造产业的“尺子”,计量则是测试的“准绳”。纳米计量体系贯穿先进纳米制造全过程,是纳米制造产业可持续发展的质量基础。美国国家标准与技术研究(NIST)曾指出,计量在高达50%以上的纳米制造领域通过...
关键词：技术路线图 纳米制造 美国国家标准 检测设备 高端产业 集成电路 微纳器件 纳米计量 
同济大学精密光学工程技术研究所二十年创新历程
《光学精密工程》2022年第21期2555-2567,共13页王占山 张众 程鑫彬 沈正祥 李文斌 王晓强 马彬 焦宏飞 张锦龙 魏泽勇 王昆 黄秋实 蒋励 伊圣振 邓晓 顿雄 江涛 齐润泽 欧凯 施宇智 黄迪 余俊 顾振杰 骆文锦 董思禹 朱静远 谢凌云 何涛 张哲 盛鹏峰 钮信尚 陈玲燕 李同保 
国家自然科学基金资助项目(No.61621001)。
同济大学精密光学工程技术研究所成立二十年来,以探索前沿科学问题、突破核心关键技术、服务国家重要应用为目标,形成了理论与模拟相结合、科学问题解决与关键技术突破相结合、基础研究与重要应用相结合的特色,形成了研究所的发展理念,...
关键词：发展理念 研究平台 研究成果 研究基地 
自溯源光栅标准物质及其应用被引量：6
《光学精密工程》2022年第21期2608-2625,共18页邓晓 李同保 程鑫彬 
国家自然科学基金面上项目(No.62075165);上海张江国家自主创新示范区专项发展资金重大项目(No.ZJ2021-ZD-008)。
纳米计量技术是纳米尺度上的精密测量技术,是先进纳米制造技术的基础。其中,溯源性是纳米计量的基础问题,而研制纳米计量标准物质是实现纳米测量溯源性传递、保证纳米几何量值测试的统一性和准确性的关键环节。为适应纳米计量扁平化量...
关键词：纳米科技 纳米计量 自溯源标准物质 原子光刻技术 软X射线干涉光刻技术 多层膜沉积技术 
基于四维协变量的光栅干涉系统频移理论研究被引量：7
《计量科学与技术》2022年第11期3-11,26,共10页林子超 姚玉林 周通 薛栋柏 顾振杰 邓晓 程鑫彬 李同保 
国家重点研发计划(2022YFF0605502);国家自然科学基金面上项目(62075165);上海张江国家自主创新示范区专项发展资金重大项目(ZJ2021-ZD-008)。
光栅干涉系统中的装配与角度调试误差是探测光发生几何错位、偏离探测器感光中心的直接原因。为厘清探测光综合姿态误差对干涉相位和位移测量结果的影响,本文基于狭义相对论波矢量的四维表达形式,将光频率和光波矢与光栅方程直接关联,...
关键词：光栅干涉系统 四维协变量 光栅多普勒效应 姿态误差 测量分辨率 
基于多层膜光栅的AFM探针结构表征研究被引量：6
《红外与激光工程》2020年第2期217-222,共6页吴子若 蔡燕妮 王星睿 张龙飞 邓晓 程鑫彬 李同保 
国家重点研发计划项目(2016YFA0200902);上海市科委基础处重大重点项目(17JC1400800)。
原子力显微镜是微纳米测量领域主要测量工具之一。由于原子力显微镜探针不可能无限尖锐,使得测量图像包含了一部分探针信息,这是其图像失真的一大影响因素。通过获取探针形状和尺寸,可以有效去除测量图像的"探针效应"从而提升准确度。...
关键词：原子力显微镜 探针效应 探针校准器 多层膜光栅 
超辐射发光二极管的散斑自相关法表面粗糙度测量研究被引量：7
《红外与激光工程》2019年第7期202-208,共7页蒋磊 刘恒彪 李同保 
利用相干或部分相干光被粗糙表面散射产生的散斑现象进行表面粗糙度测量是一类有应用前景的在线测量技术。研究了窄带连续谱光束被随机粗糙表面散射形成的远场散射光场的散斑延长效应和将其应用于表面粗糙度测量的可行性。理论和模拟研...
关键词：表面粗糙度测量 散斑自相关 散斑延长效应 超辐射发光二极管 
原子光刻中原子通量的优化研究被引量：1
《光学学报》2018年第12期20-24,共5页陈杰 刘杰 朱立 邓晓 程鑫彬 李同保 
国家重点研发计划(2016YFA0200902);国家重大科学仪器设备开发专项(2014YQ090709)
原子通量是影响原子光刻技术制备纳米光栅质量的主要因素之一。应用原子炉管喷发量的理论模型,利用理论与实验相结合的方法,对比研究了三类典型原子炉管构型下的原子通量水平,并基于最优原子炉管构型将研制的铬纳米光栅峰谷高度提升到10...
关键词：原子与分子物理学 纳米计量 传递标准 原子光刻 纳米光栅 原子通量 
从黑体辐射标准到量子坎德拉被引量：2
《光源与照明》2016年第4期1-4,共4页李同保 
介绍了基于基本物理常数的国际单位制(SI)新定义的背景和框架。重点对作为国际单位制(SI)7个基本单位之一的坎德拉的可能变化进行评述。
关键词：基本物理常数 国际单位制(SI) 坎德拉 单光子探测 量子坎德拉 
计算电容中Fabry-Perot干涉仪测量位移的相位修正方法被引量：2
《物理学报》2016年第11期40-48,共9页王建波 钱进 刘忠有 陆祖良 黄璐 杨雁 殷聪 李同保 
国家重大科学仪器设备开发专项(批准号:2012YQ10022503);质检公益性行业科研专项(批准号:20150002)资助的课题~~
计算电容是复现电学阻抗单位的基准装置,利用计算电容值和量子霍尔电阻值可以准确计算出精细结构常数α.计算电容的本质是通过高准确度地测量屏蔽电极的位移,实现对电容量值的测量.因此,基于Fabry-Perot干涉仪的精密电极位移测量系统是...
关键词：Gouy相位 位移修正 Fabry-Perot干涉仪 计算电容 
基于AFM硅表面局域阳极氧化的特性研究及纳米计量标准样板的制作被引量：1
《纳米技术与精密工程》2016年第2期150-157,共8页程锋 马艳 马蕊 李同保 
国家自然科学基金资助项目(10804084,91123022,61565004);中国科学院纳米器件与应用重点实验室开放基金资助项目(14CS01)
基于原子力显微镜(AFM)在硅(Si)表面进行局域阳极氧化的技术,以其成本低、易加工等优势被广泛应用于各种纳米元器件的制造.本文基于AFM在Si表面进行局域阳极氧化来制作纳米计量标准样板,首先分别在接触模式和轻敲模式下进行实验,定量分...
关键词：原子力显微镜 阳极氧化 标准样板 光栅 
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