陈玲燕

作品数：138被引量：658H指数：14
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供职机构：同济大学更多>>
发文主题：多层膜软X射线磁控溅射反射率气凝胶更多>>
发文领域：理学机械工程电子电信一般工业技术更多>>
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所获基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家重点基础研究发展计划更多>>
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同济大学精密光学工程技术研究所二十年创新历程
《光学精密工程》2022年第21期2555-2567,共13页王占山 张众 程鑫彬 沈正祥 李文斌 王晓强 马彬 焦宏飞 张锦龙 魏泽勇 王昆 黄秋实 蒋励 伊圣振 邓晓 顿雄 江涛 齐润泽 欧凯 施宇智 黄迪 余俊 顾振杰 骆文锦 董思禹 朱静远 谢凌云 何涛 张哲 盛鹏峰 钮信尚 陈玲燕 李同保 
国家自然科学基金资助项目(No.61621001)。
同济大学精密光学工程技术研究所成立二十年来,以探索前沿科学问题、突破核心关键技术、服务国家重要应用为目标,形成了理论与模拟相结合、科学问题解决与关键技术突破相结合、基础研究与重要应用相结合的特色,形成了研究所的发展理念,...
关键词：发展理念 研究平台 研究成果 研究基地 
低原子序数材料窄带多层膜的研制被引量：2
《强激光与粒子束》2012年第8期1785-1788,共4页吴文娟 朱京涛 张众 王风丽 陈玲燕 周洪军 霍同林 
国家自然科学基金项目(10905042)
为研制极紫外波段窄带多层膜反射镜,采用低原子序数材料组合设计了30.4 nm波长处Mg/SiC,Si/SiC,Si/B4C和Si/C多层膜反射镜,并与极紫外波段传统的Mo/Si多层膜反射镜进行对比。采用直流磁控溅射技术制备了这些多层膜,在国家同步辐射实验...
关键词：多层膜 带宽 低原子序数材料 磁控溅射 同步辐射 
14nm低原子序数材料多层膜的设计和制备被引量：1
《光学精密工程》2011年第6期1192-1198,共7页吴文娟 张众 朱京涛 王风丽 陈玲燕 周洪军 霍同林 
国家自然科学基金资助项目(10905042);上海市高校优秀青年教师科研专项基金资助项目(YYY-08019);上海应用技术学院引进人才基金资助项目(YJ2007-41)
为了减小常规多层膜的带宽,提高其光谱分辨率,对采用低原子序数材料组成的适用于极紫外和软X射线波段的多层膜进行了研究。首先,在14nm波长处选取3种低原子序数材料对Si/B4C,Si/C和Si/SiC组成多层膜,用随机搜索的方法优化设计了这3种多...
关键词：极紫外与软X射线 多层膜 低原子序数材料 磁控溅射 光谱分辨率 
磁控溅射制备Ni/Ti多层膜表面粗糙度被引量：5
《强激光与粒子束》2010年第6期1239-1242,共4页潘磊 朱京涛 王晓强 蒋励 李浩川 徐敬 张众 王占山 陈玲燕 
国家自然科学基金项目(10825521;10876023;10675091);国家高技术发展计划项目;上海市科委资助课题(07DZ22302)
采用磁控溅射方法制备了周期数分别为10,30,50和75的Ni/Ti多层膜,利用X射线掠入射反射测量了多层膜表面和界面的状态,并用原子力显微镜测量了多层膜的表面粗糙度,研究了不同周期数的Ni/Ti多层膜表面粗糙度的变化规律。结果表明:Ni/Ti多...
关键词：中子超反射镜 粗糙度 原子力显微镜 X射线反射 
中子超镜的优化设计被引量：6
《原子能科学技术》2010年第1期84-88,共5页张众 王占山 吴永荣 陈玲燕 
国家自然科学基金资助项目(10675091);上海市科学技术委员会资助项目(07DZ22302);同济大学青年优秀人才培养行动计划资助项目
中子超镜的主要光学性能指标是反射临界角,反射临界角通常由镍块体材料的全反射临界角的倍数m来表征。本文采用增加帽层、优化关键参数和引入新设计参数的方法,弥补了中子超镜算法在m≤1区域内的局限性,实现了包含较少膜对数K的大m值中...
关键词：中子超镜 多层膜 全反射临界角 粗糙度 
不同本底真空度下SiC/Mg极紫外多层膜的制备和测试被引量：8
《光学精密工程》2009年第12期2946-2951,共6页朱京涛 黄秋实 白亮 蒋晖 徐敬 王晓强 周洪军 霍同林 王占山 陈玲燕 
国家自然科学基金资助项目(No.10435050;No.10675092);国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2006AA12Z139);上海市科学技术委员会资助项目(No.07DZ22302);上海市教育发展基金会晨光计划资助项目(No.2008CG25);同济大学青年优秀人才计划资助项目
为研究不同本底真空度对SiC/Mg极紫外多层膜光学性能的影响,利用直流磁控溅射方法在不同本底真空度条件下制备了峰值反射波长在30.4nm的SiC/Mg周期膜。X射线掠入射反射测试结果表明,不同本底真空度条件下制备的SiC/Mg周期多层膜膜层质...
关键词：极紫外光学 本底真空度 多层膜 反射率 磁控溅射 
小波变换表征多层膜氧化层、界面层和膜厚漂移被引量：1
《光子学报》2009年第9期2288-2293,共6页蒋晖 徐敬 朱京涛 潘磊 代敏 谭默言 王占山 陈玲燕 
国家自然科学基金(10435050;10675091;10675092);国家高技术研究发展计划(2006AA12Z139);上海市科学技术委员会(07DZ22302)资助
用小波变换的方法分析了纳米多层膜的X射线掠入射反射率测试曲线.从小波变换的自相关函数峰位和峰强度信息中得到了常规曲线拟合方法难以表征的含有氧化层、界面层或厚度漂移的多层膜结构,利用其作为多层膜的初始结构再进行常规的曲线拟...
关键词：薄膜光学 纳米多层膜 小波变换 自相关函数 氧化层 界面粗糙度 厚度漂移 
基于多层膜技术的硬X射线Laue透镜衍射效率的理论研究被引量：2
《光子学报》2009年第9期2299-2304,共6页黄秋实 李浩川 朱京涛 桑田 王占山 陈玲燕 
国家自然科学基金(10675092);上海市教育发展基金会晨光计划(2008CG25);同济大学青年优秀人才培养行动计划资助
采用耦合波理论分析了X射线在多层膜Laue透镜中的传播,选择Cu的Kα线作X射线光源,计算了多层膜Laue透镜的衍射效率.材料为WSi2/Si,最外层宽度为10 nm,深度为8 500 nm的多层膜Laue透镜,倾斜情况下外层区域局部光栅的衍射效率可达59%,理...
关键词：X射线光学 多层膜 耦合波理论 效率 倾斜波带片 
用傅里叶变换方法实现的纳米多层膜性能表征被引量：1
《中国激光》2009年第8期2158-2165,共8页蒋晖 徐敬 朱京涛 黄秋实 白亮 王晓强 王占山 陈玲燕 
国家自然科学基金(10435050,1067091,10675092);国家863计划(2006AA12Z139);上海市科学技术委员会基金(07DZ22302)资助课题
利用傅里叶变换(FFT)分析了纳米多层膜的X射线掠入射反射率测试曲线,模拟了各种制备和测试条件对多层膜结构参数测试结果的影响,检验了傅里叶变换方法的适用性和精确度。分析结果表明,相对于传统的反射曲线拟合方法,傅里叶变换方法具有...
关键词：薄膜 纳米多层膜 傅里叶变换 自相关函数 曲线拟合 界面 
30.4 nm波长处Mg基多层膜反射镜被引量：4
《光学学报》2009年第9期2615-2618,共4页白亮 朱京涛 徐敬 黄秋实 吴文娟 王晓强 王占山 陈玲燕 
国家自然科学基金(10435050;10675091;10675092);国家863计划(2006AA12Z139);上海市科委项目(07DZ22302)资助课题
太阳光谱中重要的He-Ⅱ谱线(波长30.4 nm)的观测对于研究太阳活动和日地空间环境具有重要意义,实现空间极紫外太阳观测需要采用多层膜作为反射元件。研究了工作在30.4 nm的Mg基多层膜。以反射率最高为评价函数设计了多层膜,采用直流磁...
关键词：薄膜光学 多层膜 磁控溅射 极紫外 He-Ⅱ谱线 反射率 
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