王晓强

作品数：13被引量：32H指数：4
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供职机构：同济大学更多>>
发文主题：多层膜面形误差反射率极紫外超光滑表面更多>>
发文领域：理学机械工程一般工业技术文化科学更多>>
发文期刊：《光学精密工程》《光学学报》《红外与激光工程》《光子学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划上海市科学技术委员会资助项目中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
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红外自由曲面棱镜的高精度补偿加工方法
《光学学报》2024年第13期213-221,共9页刘晓天 余俊 王晓强 何春伶 王一凡 文骁 王东方 王占山 
国家自然科学基金(62105244,U2030111);上海市自然科学基金(21ZR1473600);上海市产业协同创新(科技)项目(XTCX-KJ-2023-30);中国科学院青年创新促进会项目(Y1K4H0FKG1)。
为实现自由曲面棱镜的高精度制造,首先分析加工误差对自由曲面棱镜的成像性能影响,根据误差分析设计专用夹具,用于控制各曲面加工的中心位置。然后,提出一种基于在位与离线检测技术相结合的自由曲面棱镜高精度补偿车削加工方法,用以监...
关键词：光学设计 自由曲面棱镜 公差分析 在位与离线检测 高精度补偿 
同济大学精密光学工程技术研究所二十年创新历程
《光学精密工程》2022年第21期2555-2567,共13页王占山 张众 程鑫彬 沈正祥 李文斌 王晓强 马彬 焦宏飞 张锦龙 魏泽勇 王昆 黄秋实 蒋励 伊圣振 邓晓 顿雄 江涛 齐润泽 欧凯 施宇智 黄迪 余俊 顾振杰 骆文锦 董思禹 朱静远 谢凌云 何涛 张哲 盛鹏峰 钮信尚 陈玲燕 李同保 
国家自然科学基金资助项目(No.61621001)。
同济大学精密光学工程技术研究所成立二十年来,以探索前沿科学问题、突破核心关键技术、服务国家重要应用为目标,形成了理论与模拟相结合、科学问题解决与关键技术突破相结合、基础研究与重要应用相结合的特色,形成了研究所的发展理念,...
关键词：发展理念 研究平台 研究成果 研究基地 
面向激光探测的精密光机系统研制及应用被引量：1
《光学精密工程》2022年第21期2737-2751,共15页沈正祥 余俊 王晓强 王占山 
国家自然科学基金资助项目(No.11873004,No.61621001);上海市级科技重大专项-人工智能基础理论与关键核心技术(No.2021SHZDZX0100);中央高校基本科研业务费专项资金。
面向激光探测需求,创建了涵盖“光学设计-结构设计-元件制造-装调集成-性能评价和应用”的精密光机系统全环节研发平台。发展了“光学设计-结构设计-力热学设计”高效耦合的综合设计方法,建立了基于光机误差分解的精密装配集成方法,形...
关键词：激光探测 光学系统 光机设计 装配集成 视频合成孔径雷达 扫描光学高温计 激光雷达散射截面测量 
X射线望远镜超薄镜片装配结构的粘结强度探究
《红外与激光工程》2019年第2期157-163,共7页沈正祥 张璟 余俊 王晓强 卫俊杰 龙华保 
国家自然科学基金重大科研仪器研制项目(11427804);中央高校基本科研业务费专项资金
基于超薄玻璃的嵌套式圆锥近似Wolter-Ⅰ型聚焦望远镜采用环氧树脂胶作为镜片装配的关键粘结材料,其微米级厚度的胶层粘结强度决定了望远镜的力学性能。文中研究了"超薄镜片-F131环氧树脂胶-石墨"组成的粘结结构在不同固化环境湿度、不...
关键词：嵌套式望远镜 粘结结构 拉伸强度 B基准值 
磁控溅射制备的W,WSi_2,Si单层膜和W/Si,WSi_2/Si多层膜应力被引量：6
《强激光与粒子束》2011年第6期1659-1662,共4页黄秋实 李浩川 朱京涛 王晓强 蒋励 王占山 唐永建 
国家自然科学基金项目(10773007,10704056);科技部国际交流与合作专项项目(2008DFA01920)
采用直流磁控溅射技术制备了厚度约100nm的W,WSi2,Si单层膜和周期约为20nm,Si膜层厚度与周期的比值为0.5的W/Si,WSi2/Si周期多层膜。利用台阶仪对镀膜前后基底表面的面形进行了测试,计算并比较了不同膜系的应力值。结果表明:W单层膜表...
关键词：应力 形变 多层膜 磁控溅射 X射线 
在19.5nm处高反在30.4nm处抑制的双功能薄膜
《强激光与粒子束》2011年第5期1299-1302,共4页蒋励 王晓强 谭默言 黄秋实 李浩川 周斯卡 朱京涛 王占山 
国家自然科学基金项目(10825521);上海市科委资助项目(09XD1404000);科技部国际合作项目(2008DFA01920)
研究了极紫外波段的双功能光学元件。采用周期膜叠加的思想,运用遗传方法优化设计了在19.5 nm处高反,在30.4 nm处抑制的双功能多层膜。采用磁控溅射技术制备了多层膜,利用X射线衍射仪测试了多层膜的结构,在国家同步辐射实验室测试了双...
关键词：双功能 多层膜 极紫外 直流磁控溅射 同步辐射 
磁控溅射方法制备直径120mm高均匀性Mo/Si多层膜被引量：4
《强激光与粒子束》2010年第7期1535-1538,共4页潘磊 王晓强 张众 朱京涛 王占山 李乙洲 李宏杰 王道荣 赵巨岩 陆伟 
国家自然科学基金项目(10825521,10876023,10905042);国家高技术发展计划项目;上海市自然科学基金项目(09ZR1434300);上海市科委纳米计划项目(0952nm06900);上海市教育发展基金会晨光计划项目(2008CG25);同济大学青年优秀人才培养计划项目
为满足极紫外、软X射线和X射线大口径多层膜反射镜的需求,采用基板扫掠过矩形靶材表面的镀膜方法,在直径120 mm的平面基板上镀制了Mo/Si周期多层膜。通过调整基板扫掠过矩形靶材表面的速率修正了薄膜的沉积速率,极大地提高了薄膜厚度的...
关键词：MO/SI多层膜 磁控溅射 均匀性 反射率 同步辐射 
磁控溅射制备Ni/Ti多层膜表面粗糙度被引量：5
《强激光与粒子束》2010年第6期1239-1242,共4页潘磊 朱京涛 王晓强 蒋励 李浩川 徐敬 张众 王占山 陈玲燕 
国家自然科学基金项目(10825521;10876023;10675091);国家高技术发展计划项目;上海市科委资助课题(07DZ22302)
采用磁控溅射方法制备了周期数分别为10,30,50和75的Ni/Ti多层膜,利用X射线掠入射反射测量了多层膜表面和界面的状态,并用原子力显微镜测量了多层膜的表面粗糙度,研究了不同周期数的Ni/Ti多层膜表面粗糙度的变化规律。结果表明:Ni/Ti多...
关键词：中子超反射镜 粗糙度 原子力显微镜 X射线反射 
不同本底真空度下SiC/Mg极紫外多层膜的制备和测试被引量：8
《光学精密工程》2009年第12期2946-2951,共6页朱京涛 黄秋实 白亮 蒋晖 徐敬 王晓强 周洪军 霍同林 王占山 陈玲燕 
国家自然科学基金资助项目(No.10435050;No.10675092);国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2006AA12Z139);上海市科学技术委员会资助项目(No.07DZ22302);上海市教育发展基金会晨光计划资助项目(No.2008CG25);同济大学青年优秀人才计划资助项目
为研究不同本底真空度对SiC/Mg极紫外多层膜光学性能的影响,利用直流磁控溅射方法在不同本底真空度条件下制备了峰值反射波长在30.4nm的SiC/Mg周期膜。X射线掠入射反射测试结果表明,不同本底真空度条件下制备的SiC/Mg周期多层膜膜层质...
关键词：极紫外光学 本底真空度 多层膜 反射率 磁控溅射 
用傅里叶变换方法实现的纳米多层膜性能表征被引量：1
《中国激光》2009年第8期2158-2165,共8页蒋晖 徐敬 朱京涛 黄秋实 白亮 王晓强 王占山 陈玲燕 
国家自然科学基金(10435050,1067091,10675092);国家863计划(2006AA12Z139);上海市科学技术委员会基金(07DZ22302)资助课题
利用傅里叶变换(FFT)分析了纳米多层膜的X射线掠入射反射率测试曲线,模拟了各种制备和测试条件对多层膜结构参数测试结果的影响,检验了傅里叶变换方法的适用性和精确度。分析结果表明,相对于传统的反射曲线拟合方法,傅里叶变换方法具有...
关键词：薄膜 纳米多层膜 傅里叶变换 自相关函数 曲线拟合 界面 
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