周斯卡

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供职机构:同济大学更多>>
发文主题:极紫外多层膜光学常数紫外波段周期多层膜更多>>
发文领域:理学机械工程更多>>
发文期刊:《强激光与粒子束》更多>>
所获基金:上海市科学技术委员会资助项目国际科技合作与交流专项项目国家自然科学基金更多>>
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在19.5nm处高反在30.4nm处抑制的双功能薄膜
《强激光与粒子束》2011年第5期1299-1302,共4页蒋励 王晓强 谭默言 黄秋实 李浩川 周斯卡 朱京涛 王占山 
国家自然科学基金项目(10825521);上海市科委资助项目(09XD1404000);科技部国际合作项目(2008DFA01920)
研究了极紫外波段的双功能光学元件。采用周期膜叠加的思想,运用遗传方法优化设计了在19.5 nm处高反,在30.4 nm处抑制的双功能多层膜。采用磁控溅射技术制备了多层膜,利用X射线衍射仪测试了多层膜的结构,在国家同步辐射实验室测试了双...
关键词:双功能 多层膜 极紫外 直流磁控溅射 同步辐射 
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