王星睿

作品数:3被引量:8H指数:1
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供职机构:同济大学更多>>
发文主题:AFM校准器探针原子力显微镜IDE硬盘更多>>
发文领域:机械工程电子电信一般工业技术更多>>
发文期刊:《计量学报》《红外与激光工程》更多>>
所获基金:中国博士后科学基金国家自然科学基金更多>>
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基于多层膜光栅的AFM探针结构表征研究被引量:6
《红外与激光工程》2020年第2期217-222,共6页吴子若 蔡燕妮 王星睿 张龙飞 邓晓 程鑫彬 李同保 
国家重点研发计划项目(2016YFA0200902);上海市科委基础处重大重点项目(17JC1400800)。
原子力显微镜是微纳米测量领域主要测量工具之一。由于原子力显微镜探针不可能无限尖锐,使得测量图像包含了一部分探针信息,这是其图像失真的一大影响因素。通过获取探针形状和尺寸,可以有效去除测量图像的"探针效应"从而提升准确度。...
关键词:原子力显微镜 探针效应 探针校准器 多层膜光栅 
表面和亚表面特性对多层膜光栅成像对比度的影响被引量:1
《计量学报》2018年第3期299-303,共5页张龙飞 王星睿 邓晓 程鑫彬 
国家自然科学基金(51475335);中国博士后科学基金(2017M611613)
基于Si/Si O2材料对制备出名义节距为50 nm的多层膜光栅,重点分析了多层膜光栅研磨抛光过程中的亚表面损伤和湿法刻蚀均匀性问题。并利用原子力显微镜(AFM)和透射电子显微镜(TEM)对多层膜的截面粗糙度和刻蚀光栅结果进行了测量和分析。...
关键词:计量学 多层膜光栅 成像对比度 表面特性 粗糙度 刻蚀均匀性 TEM 
硬盘控制器的FPGA实现被引量:1
《郑州轻工业学院学报(自然科学版)》2006年第4期89-91,共3页王星睿 林涛 
介绍了以FPGA为基础,以Verilog硬件描述语言为载体,实现对硬盘控制的方法.该方法能够实现IDE硬盘的PIO模式或DMA模式的数据存储,并利用WishBone片上总线实现和系统中其他部分的连接,可广泛应用于视频、音频等需要大量数据存储的系统中,...
关键词:硬盘控制器 现场可编程门陈列 IDE硬盘 WishBone片上总线 PIO模式 DMA模式 
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