云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 程锋

程锋: 作品数：1被引量：1H指数：1; 导出分析报告; 供职机构：上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室更多>>; 发文主题：阳极氧化AFM硅表面光栅局域更多>>; 发文领域：电子电信更多>>; 发文期刊：更多>>; 所获基金：国家自然科学基金更多>>

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基于AFM硅表面局域阳极氧化的特性研究及纳米计量标准样板的制作被引量：1: 《纳米技术与精密工程》2016年第2期150-157,共8页程锋马艳马蕊李同保; 国家自然科学基金资助项目(10804084,91123022,61565004);中国科学院纳米器件与应用重点实验室开放基金资助项目(14CS01); 基于原子力显微镜(AFM)在硅(Si)表面进行局域阳极氧化的技术,以其成本低、易加工等优势被广泛应用于各种纳米元器件的制造.本文基于AFM在Si表面进行局域阳极氧化来制作纳米计量标准样板,首先分别在接触模式和轻敲模式下进行实验,定量分...; 关键词：原子力显微镜阳极氧化标准样板光栅