原子光刻

作品数：53被引量：70H指数：5
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拼接原子光刻光栅衍射性能研究
《红外与激光工程》2025年第3期228-237,共10页吴益泽 薛栋柏 肖光旭 沈俊宇 邓晓 孔明 
国家重点研发计划项目(2022YFF0607600,2022YFF0605502);国家自然科学基金项目(62075165);上海市科学技术委员会青年科技启明星项目(23QA1409400);上海市在线检测与控制技术重点实验室开放基金项目(ZX2020101)。
光栅干涉仪作为一种精密位移测量手段,具备高精度、高分辨力以及强抗干扰能力等优势。光栅作为干涉仪的测量基准,其周期准确性与位移测量结果的精度直接相关。基于原子光刻沉积技术的原子光刻光栅周期直接溯源至铬原子跃迁频率,将其运...
关键词：拼接原子光刻光栅 峰谷高度 衍射效率 严格耦合波理论 
基于量子技术的原子沉积光栅的研究进展与典型应用
《红外与激光工程》2024年第11期224-234,共11页雷李华 梁利杰 邓晓 
国家重点研发计划项目(2021YFF0603300);计量与校准技术实验室基金项目(JLKG2024001B001);国家市场监督管理总局科技计划项目(2023MK025)。
基于量子基准的精密测量技术建立在量子力学原理上,以超越经典方法的测量精度,成为现代科技发展的重要推动力。铬原子光刻光栅基于冷原子量子态的操控技术而制备,是精密测量领域的关键元件,其制备技术与应用研究备受关注。其可作为纳米...
关键词：光栅标准物质 原子光刻 原子跃迁频率 量子基准 
原子光刻大面积纳米光栅
《计量技术》2020年第5期31-35,共5页殷聪 张彤 王建波 钱进 石春英 
中国计量科学研究院基本科研业务费项目(AKY1501)。
原子光刻光栅的研制存在光栅上纳米周期结构覆盖面积小和纳米条纹高度不一致的问题,限制了原子光刻光栅的应用。本文介绍通过椭圆光斑激光汇聚铬原子沉积大面积一维光栅的技术,将纳米周期结构的覆盖范围扩大到1.5mm×1.5mm,同时,沉积条...
关键词：原子光刻 纳米间距 光栅 大面积 椭圆光斑 
铬原子感生荧光稳频频率稳定性的分析（英文）被引量：2
《光学技术》2019年第3期257-262,共6页张彤 殷聪 赵跃进 钱进 王建波 石春英 
激光会聚铬原子沉积实验所需时间可长达几十分钟至几个小时,实验过程中要求激光频率的波动小于5MHz,感生荧光稳频技术能够解决原子沉积实验中激光频率漂移的问题。为了保证激光频率的长时间稳定性,对稳频系统的误差信号随激光功率及原...
关键词：激光稳频 感生荧光 原子光刻 
原子光刻中原子通量的优化研究被引量：1
《光学学报》2018年第12期20-24,共5页陈杰 刘杰 朱立 邓晓 程鑫彬 李同保 
国家重点研发计划(2016YFA0200902);国家重大科学仪器设备开发专项(2014YQ090709)
原子通量是影响原子光刻技术制备纳米光栅质量的主要因素之一。应用原子炉管喷发量的理论模型,利用理论与实验相结合的方法,对比研究了三类典型原子炉管构型下的原子通量水平,并基于最优原子炉管构型将研制的铬纳米光栅峰谷高度提升到10...
关键词：原子与分子物理学 纳米计量 传递标准 原子光刻 纳米光栅 原子通量 
基于VirtualLab Fusion的原子光刻基片定位方案的光学系统仿真被引量：1
《中国计量大学学报》2017年第4期528-532,共5页张宝武 霍剑锋 饶鹏辉 张明月 刘媛媛 余桂英 王道档 
国家自然科学基金资助项目(No.61565004);广西高校光电信息处理重点实验开放基金资助项目(No.KFJJ2017-02)
为了探究原子光刻中基片与会聚激光场间距对沉积纳米光栅质量的影响,我们基于VirtualLab Fusion(VLF)平台实现了基片定位控制方案中光学系统的建模和仿真.结果显示:基片在切割会聚激光时将产生直边衍射图像,其轮廓形状和最大值都会随着...
关键词：原子光刻 铬原子 会聚激光 VirtualLab Fusion平台 
基于微型控制器的原子光刻系统自动化控制研究被引量：1
《现代电子技术》2016年第13期124-127,共4页刘逸轩 
原子光刻系统的设备庞大而复杂,在实验过程中温度及稳频光等参数都需要监视和控制。针对目前多采用人员值守的方式对设备进行操控导致实验效率低下的现状,介绍了原子沉积原理和原子沉积实验装置的构造及主要功能,提出了原子沉积实验装...
关键词：原子光刻 温度控制 数据采集 USB接口 
用于研制纳米长度标准的激光准直原子技术研究(英文)被引量：1
《红外与激光工程》2014年第9期2929-2934,共6页马艳 肖胜炜 张万经 
上海市纳米专项(0852nm07000,0952nm07000);国家自然基金(10804084,91123022);国家科技支撑项目(2006BAF06B08);教育部博士点基金(200802471008);中科院纳米器件与应用重点实验室开放课题(14CS01)
亚百纳米长度计量标准是实现在纳米尺度精确计量的关键器件。我们课题组已利用原子光刻技术研制出了周期为213±0.1nm的光栅,该光栅的周期对应于原子的跃迁频率,具有直接溯源性和高的精确度。理论与实验数据表明原子的横向准直效果是影...
关键词：原子光刻 多普勒冷却 横向温度 刀口 角分布 
原子纳米光刻中双层光学掩膜的实现方法研究被引量：2
《红外与激光工程》2014年第7期2070-2073,共4页陈晟 马艳 张萍萍 王建波 邓晓 肖盛炜 马蕊 李同保 
国家自然科学基金(10804084;91123022);上海纳米专项(0852nm07000;0952nm07000);国家科技支撑计划(2006BAF06B08);国家教育部博士点基金(200802471008)
利用原子光刻的方法制备纳米结构的光栅已经成为了一种较为成熟的工艺。通过原子与激光驻波场的相互作用,利用原子自生在势能场中的偶极力对原子的密度进行调制,从而得到所需要的光栅结构。利用此种工艺所制备的光栅相对于传统工艺来说...
关键词：原子光刻 光学掩膜 异形光束 几何光学 
原子光刻制备铬原子纳米条纹的实验研究
《红外与激光工程》2014年第5期1469-1472,共4页王建波 邓晓 张萍萍 马艳 殷聪 钱进 李同保 
国家科技支撑计划(2006BAF06B08);国家自然科学基金(10804084;91123022);上海市纳米技术专项基金(0852nm0700;0952nm0700)
原子光刻技术可以制备高重复性的铬原子纳米条纹光栅,这种光栅可以作为纳米节距标准,实现对高精度的扫描探针式显微镜、电子显微镜等高端仪器的校准。高真空腔体中的固态铬原子受高温喷发出气态原子束,运动的原子束在冷却激光场和激光...
关键词：原子光刻 原子沉积 纳米节距标准 激光准直 
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