衍射效率

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拼接原子光刻光栅衍射性能研究
《红外与激光工程》2025年第3期228-237,共10页吴益泽 薛栋柏 肖光旭 沈俊宇 邓晓 孔明 
国家重点研发计划项目(2022YFF0607600,2022YFF0605502);国家自然科学基金项目(62075165);上海市科学技术委员会青年科技启明星项目(23QA1409400);上海市在线检测与控制技术重点实验室开放基金项目(ZX2020101)。
光栅干涉仪作为一种精密位移测量手段,具备高精度、高分辨力以及强抗干扰能力等优势。光栅作为干涉仪的测量基准,其周期准确性与位移测量结果的精度直接相关。基于原子光刻沉积技术的原子光刻光栅周期直接溯源至铬原子跃迁频率,将其运...
关键词：拼接原子光刻光栅 峰谷高度 衍射效率 严格耦合波理论 
高衍射效率偏振无关合束光栅的双层梯形槽形设计与分析
《中国光学(中英文)》2025年第1期53-62,共10页孙澳 王瑞鹏 孙雨琦 王新宇 李文昊 姜岩秀 
国家重点研发计划(No.2023YFF0715802);国家自然科学基金青年基金(No.12105288,No.U21A20509);中国科学院青年创新促进会项目(No.2022218);吉林省自然科学基金项目(No.20210101139JC)。
为了满足强激光系统对于合束光栅的宽带、高衍射效率及偏振无关的需求,本文提出了一种具有双层梯形结构的偏振无关合束光栅。首先,基于严格耦合波理论,建立了一种以粒子群优化算法为核心的偏振无关合束光栅设计模型,通过随机生成特征波...
关键词：衍射光栅 偏振无关 工艺容差 电场 
SU-8光栅的制备及其衍射性能研究
《传感器与微系统》2025年第1期55-58,共4页鲁小鑫 王萧 张雪凤 王浪 岱钦 乌日娜 
2022年辽宁省“揭榜挂帅”科技计划重点项目;沈阳理工大学光选科研团队建设项目;辽宁省博士科研启动基金计划资助项目(2021-BS-161)。
衍射效率的大小是衡量光刻光栅性能优劣的重要指标。使用严格耦合波分析(RCWA)模拟得到周期10μm和12μm的SU-8微米光栅的各级次衍射效率。采用掩模版紫外光刻技术制作曝光时间分别为27,30,33,36 s的SU-8光栅。通过显微镜观察,发现曝光...
关键词：SU-8光刻胶 衍射效率 严格耦合波分析 
斜入射高衍射效率双层衍射光学元件优化方法
《电光与控制》2025年第1期80-85,共6页刘子龙 付跃刚 胡源 周新雨 关禹聪 
吉林省教育厅科技基金(JJKH20210814KJ)。
针对双层衍射光学元件传统优化方法斜入射时衍射效率偏低的问题,基于双层衍射光学元件衍射效率与入射角度及波长的理论关系模型,提出了角度优化设计方法。通过分析设计过程中不同入射角和微结构高度对衍射效率的影响,优化选取微结构高度...
关键词：双层衍射光学元件 衍射效率 入射角度 折衍混合光学系统 
传统光栅制备技术及非晶合金光栅制备研究进展
《稀有金属》2024年第12期1766-1780,共15页李春燕 张亦舒 侯少杰 李春玲 李晓诚 寇生中 
国家自然科学基金项目(52261032,51861021,51661016);甘肃省科技计划项目(21YF5GA074,20YF8GA052);浙江省基础公益研究计划项目(LGG22E010008);温州市基础公益科研项目(G2023020)资助。
随着科技的飞速发展,越来越多的科学研究聚焦于微型领域,设计和制造的产品尺寸也越来越小,甚至达到了微纳米尺度。当物体的尺寸达到微纳米级别后,其光学性能会发生明显改变,对光的吸收和传输等特性都会产生极大的影响。光栅作为微纳元...
关键词：光栅 非晶合金 表面图案化 衍射效率 
一种非偏振高衍射效率透射光栅的设计与制作
《光学学报》2024年第20期9-19,共11页于良成 陆凡凡 李时洋 孙满满 邱克强 
国家重点研发计划(2021YFB3203102)。
表面浮雕(SR)光栅是光学天文望远镜系统中摄谱仪的核心分光元件,它的材料稳定、偏振灵敏度更低且可以提供更高的衍射效率以及更大的带宽。本文设计并制作了一种工作在630~680 nm波段的非偏振、高效率封装透射光栅,使用模态法结合有限元...
关键词：衍射光栅 非偏振 模态法 全息-离子束刻蚀 衍射效率 
基于光强轮廓结构的偏振无关高衍射效率二维光栅(特邀)
《激光与光电子学进展》2024年第20期74-82,共9页姜岩秀 王瑞鹏 孙雨琦 王新宇 李文昊 
国家重点研发计划(2023YFF0715802);国家自然科学基金青年科学基金(12105288);中国科学院青年创新促进会(2022218);吉林省自然科学基金(20210101139JC);国家自然科学基金联合项目(U21A20509)。
针对目前二维光栅设计结构单一、与实际结构不匹配的问题,提出一种金属-介质二维光栅。该光栅不仅具有优异的偏振无关性和高衍射效率,而且其结构更符合实际制备的形貌。基于双光束正交曝光单周期干涉场强度分布,构建基于光强轮廓的二维...
关键词：二维光栅 偏振无关 光栅设计 位移测量 
LiF220晶体衍射效率研究
《计量科学与技术》2024年第10期66-72,共7页王振 郭思明 黄仕葵 李知微 周幸 舒子瑶 樊丽鹏 王忠桃 
中国计量科学研究院基本科研业务费(AKYZZ2115)。
基于K荧光X射线开展了LiF220晶体在23.3 keV和31keV能量下的衍射效率实验,调整入射单能X射线的布拉格角,测量衍射得到的单能X射线,实验结果显示晶体在两种能量下能够得到较为完整的衍射峰。在能量为23.3keV与31keV的射线照射下,分别在...
关键词：计量学 K荧光 衍射效率 LiF220 LaBr_(3)(Ce)探测器 
向列相液晶中非对称相位光栅的产生及形貌
《液晶与显示》2024年第9期1155-1162,共8页任常愚 李尤 丁红伟 
国家自然科学基金(No.12304280)。
为了研究液晶中相位光栅的动态衍射特性和光栅形貌,提出了在C_(60)掺杂垂直排列向列相液晶(NLC)中产生非对称光栅的方法,分析了光栅产生机制并建立了光栅形貌的数学模型。首先,用水平偏振光的斜入射光束写入相位光栅。然后,利用一束光...
关键词：向列相液晶 非对称相位光栅 衍射效率 光折变效应 
基于双路AOTF-NIR的静态目标DoLP探测系统研究与设计
《电子器件》2024年第4期917-921,共5页孙德刚 高天学 葛宾 马安会 郝萍萍 赵兴娜 王志斌 
山东华宇工学院科研平台项目(201905);国家自然科学基金仪器专项基金项目(61127015);山东华宇工学横向项目(HY-2021-17)。
双路宽光谱AOTF-NIR器件在遥感偏振成像系统中得到广泛应用,系统采用双路AOTF-NIR及四路红外CCD相机相结合的方式来获取静态目标物光谱图像,通过上位机控制AOTF-NIR的入射角度及双路射频驱动频率实现900 nm~1 700 nm的DoLP光谱成像,同...
关键词：双路AOTF-NIR 偏振成像 宽带匹配 衍射效率 
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