云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 陈晟

陈晟: 作品数：1被引量：2H指数：1; 导出分析报告; 供职机构：同济大学理学院物理系更多>>; 发文主题：掩膜光学几何光学纳米光刻原子光刻更多>>; 发文领域：电子电信更多>>; 发文期刊：《红外与激光工程》更多>>; 所获基金：国家教育部博士点基金国家自然科学基金国家科技支撑计划更多>>

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原子纳米光刻中双层光学掩膜的实现方法研究被引量：2: 《红外与激光工程》2014年第7期2070-2073,共4页陈晟马艳张萍萍王建波邓晓肖盛炜马蕊李同保; 国家自然科学基金(10804084;91123022);上海纳米专项(0852nm07000;0952nm07000);国家科技支撑计划(2006BAF06B08);国家教育部博士点基金(200802471008); 利用原子光刻的方法制备纳米结构的光栅已经成为了一种较为成熟的工艺。通过原子与激光驻波场的相互作用,利用原子自生在势能场中的偶极力对原子的密度进行调制,从而得到所需要的光栅结构。利用此种工艺所制备的光栅相对于传统工艺来说...; 关键词：原子光刻光学掩膜异形光束几何光学