平面光栅

作品数：176被引量：269H指数：9
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相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所哈尔滨工业大学北京华卓精科科技股份有限公司中国科学院更多>>
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基于ICEEMDAN-HT的双光栅干涉间距数字化校准研究
《红外与激光工程》2024年第12期147-158,共12页朱言瑧 李智玮 刘丽琴 管钰晴 张玉杰 郭创为 李强 刘一 蔡晋辉 万军 雷李华 
计量与校准技术实验室基金项目(JLKG2024001B001);国家市场监督管理总局科技计划项目(2023MK025);国家重点研发计划项目(2021YFF0603300);上海市市场监督管理局项目(D00RJ2310);上海市优秀学术/技术带头人项目(21XD1425000)。
双光栅零差干涉的非线性因素对于信号的相位提取精度容易产生影响,进而导致干涉测距精度下降。提出了一种基于改进自适应噪声的完备集合经验模态分解融合希尔伯特变换(ICEEMDANHT)的双光栅干涉间距数字化校准方法。在经验模态分解算法...
关键词：光栅间距校准 信号处理 自溯源 平面光栅 
光折变晶体中平面光栅的构建与研究
《物理实验》2024年第7期1-6,12,共7页陈靖 
教育部高等学校大学物理课程教学指导委员会高等学校教学研究项目(No.DWJZW202107hb,No.DWJZW202209hb);天津市科学技术普及项目(No.22KPXMRC00230);南开大学教学改革项目。
光折变效应在全息存储和处理方面具有重要的应用价值,光折变晶体中的全息光栅特性直接影响信息处理的质量和速度.本实验通过理论分析,计算得出Raman-Nath平面光栅的制作参量,设计实验系统并测量了LiNbO 3晶体中平面光栅的多级衍射性质,...
关键词：光折变 全息光栅 Bragg衍射 Raman-Nath衍射 
二维计量型平面光栅的设计被引量：2
《光学学报》2023年第19期24-32,共9页袁伟 朱煜 张鸣 王磊杰 
针对二维计量型平面光栅的设计和加工中工艺参数复杂的难点,本文基于电磁波时域有限差分方法,对硅基二维平面光栅的设计仿真进行了探索和研究,并进行了工艺实验验证。围绕平面光栅对衍射效率、衍射效率均衡性等指标的高要求,对不同结构...
关键词：光栅设计 光栅仿真 光栅制造 衍射光栅 衍射效率 
平面光栅电弧发射光谱法测定地球化学样品中银硼锡的影响因素探讨被引量：2
《冶金分析》2022年第10期63-69,共7页何涛 王鹏 邓攀直 张振 
中国地质调查局地质调查项目(DD20208009)。
Ag、B、Sn 3种元素在地球化学样品调查分析中占有独特的地位,然而B元素难挥发,Ag、Sn易挥发的特点决定了只能采用发射光谱法测定。在测定过程中,蒸发行为、钨片和排风风量等前处理方面因素对于其准确测定具有重要作用。以焦硫酸钾(K_(2)...
关键词：平面光栅电弧发射光谱法 交流电弧发射光谱法 地球化学样品 银 硼 锡 钨片 排风风量 
激光外差干涉技术在光刻机中的应用被引量：8
《激光与光电子学进展》2022年第9期287-294,共8页张志平 杨晓峰 
超精密位移测量系统是光刻机不可或缺的关键分系统之一,而基于激光外差干涉技术的超精密位移测量系统同时具备亚纳米级分辨率、纳米级精度、米级量程和数米每秒的测量速度等优点,是目前唯一能满足光刻机要求的位移测量系统。目前应用于...
关键词：光刻机 外差干涉 双频激光干涉仪 平面光栅 
超精密空间分离式外差利特罗平面光栅编码器位移测量系统被引量：5
《光学精密工程》2022年第5期499-509,共11页王磊杰 郭子文 叶伟楠 张鸣 朱煜 
02国家重大科技专项资助项目(No.2017ZX02102004,No.2018ZX02101003)。
面向浸没式光刻机双工件台的超精密位置测量应用需求,提出了一种超精密空间分离式外差利特罗平面光栅编码器位移测量系统。给出了测量系统的原理与方案设计、系统各部件的设计及制造、编码器测量原理推导及实验验证等。所设计平面光栅...
关键词：浸没式光刻机 位移测量 平面光栅编码器 空间分离 外差 利特罗角 
单体大尺寸高精度全息光栅制造技术综述被引量：6
《光学精密工程》2021年第8期1759-1768,共10页王磊杰 张鸣 朱煜 
国家重大科技专项资助项目(No.2017ZX02102004,No.2018ZX02101003)。
单体大尺寸高精度全息平面光栅是高端浸没式光刻机、惯性约束核聚变等高端装备和重大工程的核心器件,制造难度极高。本文综述了单体大尺寸高精度全息平面光栅的主要制造技术,介绍了基于单次大尺寸干涉光刻技术和干涉光刻步进拼接技术的...
关键词：全息平面光栅 扫描干涉光刻 条纹锁定 栅距/方向/相位控制 
CCD-Ⅰ型平面光栅电弧直读发射光谱仪测定土壤样中的银锡及注意事项被引量：1
《江西化工》2020年第5期117-119,共3页徐阳生 
CCD-Ⅰ型平面光栅电弧直读发射光谱仪在现代化岩矿测试中应用较为广泛,尤其是在土壤样品中Ag、Sn、B等元素的测试工作中更为广泛,为金属矿床深部找矿奠定了基础。本文以不同矿区的4件土壤样品为例,通过12次平行实验,取得了精密度和准确...
关键词：CCD-Ⅰ型平面光栅电弧直读发射光谱仪 土壤样品 银锡元素 
基于平面光栅的机床几何误差测量与辨识被引量：10
《计算机集成制造系统》2020年第8期2037-2049,共13页郭世杰 梅雪松 姜歌东 
内蒙古自然科学基金资助项目(2019BS05008);中央引导地方科技发展计划资助项目(2020ZY0002);长江学者和创新团队发展计划资助项目(IRT_15R54)。
几何误差是影响数控机床准静态精度的重要因素,针对几何误差测量、辨识问题,提出基于平面光栅的面—线机床空间几何误差辨识方法。依据多体系统理论和齐次坐标变换方法建立了三轴数控机床21项几何误差元素与3项误差向量之间的映射关系;...
关键词：数控机床 几何误差 面—线法 几何误差测量 误差辨识 
CCD-1 WP-1型平面光栅摄谱仪自动上下料方案的研制
《资源环境与工程》2019年第4期570-573,共4页杨盼 王啸 刘泽 
湖北省地质局2019年度科技项目——一种平面光栅摄谱仪自动进料系统的研制(项目编号:KJ2019-36)
针对光谱实验中常用的CCD1 WP1型平面光栅摄谱仪进行自动化改进,以达到设备自动测试样品,免去人工长时间值守的目的。改进方案采用多轴直线模组平台,伺服驱动,组成一套专用的上料结构。该套改进方案可以实现设备的自动上料、卸料、废料...
关键词：CCD-1 WP-1 平面光栅摄谱仪 自动化 改进 
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