王磊杰

作品数：16被引量：62H指数：5
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发文主题：外差位移测量系统激光干涉光刻系统光栅更多>>
发文领域：机械工程电子电信理学自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《清华大学学报（自然科学版）》《光学精密工程》《光学学报》《光子学报》更多>>
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恒光强扫描干涉光刻条纹锁定系统设计被引量：1
《光学精密工程》2022年第8期938-947,共10页王磊杰 罗伟文 张鸣 朱煜 
02国家重大科技专项资助项目(No.2018ZX02101003)。
为提高扫描干涉光刻机的加工效率和加工精度、扩大加工范围、降低维护成本,提出了一种可实现干涉条纹周期、方向和相位同步实时调节控制的扫描干涉光刻机系统方案,并着重介绍了最为关键的恒光强干涉条纹相位锁定系统的设计。首先,介绍...
关键词：扫描干涉光刻 条纹锁定 外差相位测量干涉仪 
超精密空间分离式外差利特罗平面光栅编码器位移测量系统被引量：5
《光学精密工程》2022年第5期499-509,共11页王磊杰 郭子文 叶伟楠 张鸣 朱煜 
02国家重大科技专项资助项目(No.2017ZX02102004,No.2018ZX02101003)。
面向浸没式光刻机双工件台的超精密位置测量应用需求,提出了一种超精密空间分离式外差利特罗平面光栅编码器位移测量系统。给出了测量系统的原理与方案设计、系统各部件的设计及制造、编码器测量原理推导及实验验证等。所设计平面光栅...
关键词：浸没式光刻机 位移测量 平面光栅编码器 空间分离 外差 利特罗角 
平面电机散热器热流建模与尺寸-拓扑并行优化设计被引量：2
《清华大学学报（自然科学版）》2022年第3期400-407,共8页赵家琦 张鸣 朱煜 成荣 李鑫 王磊杰 胡楚雄 
国家自然科学基金(51677104,51922059);北京市自然科学基金(JQ19010)。
为了提高平面电机水冷散热器热流性能,该文构建了散热器热流模型并开展了"结构尺寸-流道拓扑"并行优化设计。首先,构建了散热器3层热流模型,该模型囊括了盖板与流固混合层的流动/传热耦合效应以及散热器厚度方案对热流场的影响。其次,基...
关键词：散热器 热流建模 多层模型 拓扑优化 尺寸优化 并行优化 
单体大尺寸高精度全息光栅制造技术综述被引量：6
《光学精密工程》2021年第8期1759-1768,共10页王磊杰 张鸣 朱煜 
国家重大科技专项资助项目(No.2017ZX02102004,No.2018ZX02101003)。
单体大尺寸高精度全息平面光栅是高端浸没式光刻机、惯性约束核聚变等高端装备和重大工程的核心器件,制造难度极高。本文综述了单体大尺寸高精度全息平面光栅的主要制造技术,介绍了基于单次大尺寸干涉光刻技术和干涉光刻步进拼接技术的...
关键词：全息平面光栅 扫描干涉光刻 条纹锁定 栅距/方向/相位控制 
面向浸没式光刻机的超精密光学干涉式光栅编码器位移测量技术综述被引量：11
《光学精密工程》2019年第9期1909-1918,共10页王磊杰 张鸣 朱煜 叶伟楠 杨富中 
国家重大科技专项(02专项)资助项目(No.2017ZX02102004,No.2018ZX02101003)
超精密平面光栅编码器位移测量技术是32~7 nm节点浸没式光刻机的核心技术。通过分析浸没式光刻机平面光栅位置系统的需求和布局,提出了光刻机专用超精密平面光栅编码器的基本需求。针对现有的光栅编码器,开展了基本测量光路方案、相位...
关键词：浸没式光刻机 光学干涉式光栅编码器 位移测量 
扫描干涉光刻机的超精密移相锁定系统被引量：5
《光学精密工程》2019年第8期1765-1773,共9页王磊杰 张鸣 朱煜 鲁森 杨开明 
国家自然科学基金资助项目(No.51677104);中国博士后科学基金资助项目(No.2017M610885);02国家重大科技专项资助项目(No.2018ZX02101003)
扫描干涉光刻机移相锁定是实现大面积高精度全息光栅曝光拼接的关键之一。为了实现大面积高精度全息光栅高精度曝光拼接,针对扫描干涉光刻机步进扫描拼接轨迹,重点开展了移相锁定系统的研究。在零差移频式相位锁定分系统和外差利特罗式...
关键词：扫描干涉光刻 零差移频式相位锁定 外差利特罗光栅干涉仪 移相锁定控制 陷阱滤波 
扫描干涉场曝光中光栅掩模槽形轮廓的预测被引量：1
《光学学报》2018年第5期28-34,共7页鲁森 杨开明 朱煜 王磊杰 张鸣 
国家科技重大专项(2012ZX02702-006)
根据扫描干涉场曝光的特点,针对光刻胶层内曝光量的驻波效应,建立了动态曝光模型。基于快速推进法建立了显影模型,得到了光栅掩模槽形的演变规律。为减弱驻波效应的影响,提出了一种抗反射层最优厚度的设计方法。仿真结果表明,建立的曝...
关键词：光栅 扫描干涉场曝光 曝光模型 显影模型 快速推进法 驻波效应 
基于远场干涉的扫描干涉场曝光光学系统设计与分析被引量：3
《光学学报》2018年第6期35-43,共9页鲁森 杨开明 朱煜 王磊杰 张鸣 
国家科技重大专项(2012ZX02702-006)
高斯光在远离束腰位置能得到直线度极高的干涉条纹,基于此提出了一种基于远场干涉的新型扫描干涉场曝光(SBIL)系统。建立了条纹相位非线性误差关于高斯光束腰半径、入射角度及束腰到基底距离的解析表达式。通过数值仿真,详细分析了条纹...
关键词：衍射 扫描干涉场曝光 干涉条纹 高斯激光 空间滤波器 菲涅耳衍射 
超精密外差利特罗式光栅干涉仪位移测量系统被引量：18
《光学精密工程》2017年第12期2975-2985,共11页王磊杰 张鸣 朱煜 鲁森 杨开明 
国家自然科学基金资助项目(No.51677104);中国博士后科学基金资助项目(No.2017M610885)
开展了扫描干涉光刻机工作台超精密位移测量的实验研究,以提高扫描干涉光刻机的环境鲁棒性。针对扫描干涉光刻机工作台位移测量精度,提出了新型高环境鲁棒性外差利特罗式光栅干涉仪测量系统。介绍了系统测量原理,设计了测量系统,提出了...
关键词：扫描干涉光刻 位移测量 光栅干涉仪 外差干涉仪 环境鲁棒性 
零差移频式干涉图形相位锁定系统的超精密控制被引量：8
《光学精密工程》2017年第5期1213-1221,共9页王磊杰 张鸣 鲁森 朱煜 杨开明 
国家自然科学基金资助项目(No.51677104);中国博士后科学基金资助项目(No.2017M610885)
利用全息曝光法制造大口径全息平面光栅时,常引入零差移频式干涉图形相位锁定系统来提高全息曝光质量。本文针对直接影响最终干涉曝光精度的系统控制精度开展研究。首先,介绍了新型的零差移频式干涉图形锁定系统的原理和结构,在系统理...
关键词：全息曝光 零差移频式干涉图形相位锁定系统 系统辨识 高阶线性拟合 微振动 PID控制 
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