外差干涉仪

作品数：78被引量：269H指数：10
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相关机构：哈尔滨工业大学清华大学上海理工大学中国科学院更多>>
相关期刊：《清华大学学报（自然科学版）》《光学精密工程》《光学学报》《自动化技术与应用》更多>>
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基于FPGA的激光外差干涉仪反正切解调技术被引量：3
《计量学报》2022年第3期399-404,共6页柯伟 冯秀娟 杨平 何龙标 邢广振 王敏 
国家重点研发计划资助(2017YFF0205004)。
针对高频声学应用中多普勒信号软件解调的局限,提出了一种基于FPGA的数字硬件信号解调方案。基于AD9467设计了高速ADC采集系统,以实现原始多普勒信号的奈奎斯特采样或带通采样;基于Xilinx Zynq-7000片上芯片系统设计数字信号处理系统,...
关键词：计量学 声学测量 激光外差干涉仪 反正切解调 FPGA 
外差干涉仪非线性误差补偿抑制与测量研究进展被引量：13
《激光与光电子学进展》2021年第11期30-42,共13页张鹏 崔建军 
国家自然科学基金面上项目(51675497);北京市自然科学基金面上项目(3162034);国家重点研发计划专项项目(2017YFF0206305);中国计量科学研究院重点领域基本科研项目(AKYZD1804-1)。
由于存在周期性的非线性误差,外差激光干涉仪的测量精度很难提高。对此,首先分析了外差激光干涉仪中非线性误差的来源,包括频率混叠、偏振混叠与鬼影虚反射。然后讨论了非线性误差的补偿与抑制技术,包括干涉信号处理、传统结构改进、偏...
关键词：测量 外差干涉 非线性误差 误差补偿 非线性测量 
一种滚转角和直线度同步干涉测量方法的研究被引量：3
《机械工程学报》2020年第20期12-21,共10页杨振堃 金涛 韩梦莹 候文玫 
国家自然科学基金青年科学基金(51605297);国家自然基金中德科学中心(GZ1287)资助项目。
提出一种用于精密线性位移台滚转角和运动直线度同步测量的激光外差干涉系统。该干涉系统由一个Koster棱镜、角隅棱镜、分光镜、1/2波片、直角棱镜、1/4波片以及楔面棱镜和楔面反射镜组成。楔面棱镜作为测量运动直线度和滚转角的传感器...
关键词：外差干涉仪 运动直线度误差 滚转角误差 同步测量 阿贝误差 
力传感器绝对法脉冲力校准的研究与试验被引量：4
《自动化技术与应用》2020年第8期14-19,共6页卢小犇 李政 李何良 屠淳 
压电式传感器冲击性能校准装置的研究(编号2018-14)。
针对力传感器动态校准及溯源的问题,介绍了两种常规的力传感器动态校准的方法,分别建立了不同校准条件下力传感器的运动方程,说明了不同校准条件下的结果差异性。然后介绍了一种基于高精度的基于刚体碰撞的脉冲力发生装置,说明了装置的...
关键词：计量学 力传感器 脉冲力 正弦力 外差干涉仪 
多普勒非对称空间外差干涉仪调制度分析被引量：1
《航天返回与遥感》2018年第5期57-65,共9页施海亮 李志伟 罗海燕 熊伟 
遥感科学国家重点实验室开放基金(Y7Y00100KZ);国家自然科学基金(41301373)
多普勒非对称空间外差光谱仪是近年得以迅速发展的新型中高层大气风场探测仪器,具有视场展宽、大光通量、高光谱分辨和多谱线同时探测等特点。该仪器的干涉调制度是影响风场反演精度的关键指标。文章基于非对称空间外差光谱技术基本原理...
关键词：多普勒外差干涉仪 调制度 视场角 最优光程差 相位频移 空间大气探测 
星载超光谱大气主要温室气体监测仪载荷被引量：11
《航天返回与遥感》2018年第3期14-24,共11页熊伟 
国家高分重大科技专项
"高分五号"卫星是中国高分重大专项中第一颗高光谱分辨率卫星,共搭载有六台有效载荷,其中大气主要温室气体监测仪是实现CO_2、CH_4等温室气体探测的超光谱专用载荷。该载荷采用新型空间外差光谱技术原理,具有无运动部件分光、超光谱、...
关键词：温室气体 空间外差光谱技术 超光谱 外差干涉仪 “高分五号”卫星 
超精密外差利特罗式光栅干涉仪位移测量系统被引量：18
《光学精密工程》2017年第12期2975-2985,共11页王磊杰 张鸣 朱煜 鲁森 杨开明 
国家自然科学基金资助项目(No.51677104);中国博士后科学基金资助项目(No.2017M610885)
开展了扫描干涉光刻机工作台超精密位移测量的实验研究,以提高扫描干涉光刻机的环境鲁棒性。针对扫描干涉光刻机工作台位移测量精度,提出了新型高环境鲁棒性外差利特罗式光栅干涉仪测量系统。介绍了系统测量原理,设计了测量系统,提出了...
关键词：扫描干涉光刻 位移测量 光栅干涉仪 外差干涉仪 环境鲁棒性 
跨尺度亚纳米分辨的可溯源外差干涉仪被引量：8
《物理学报》2017年第6期39-45,共7页贺寅竹 赵世杰 尉昊赟 李岩 
国家自然科学基金(批准号:51575311);国家重大科学仪器设备开发专项(批准号:2014YQ09070907)资助的课题~~
提出了一种能够实现跨尺度测量具有亚纳米分辨力的可溯源外差干涉仪,利用小型化碘稳频532 nm激光器,将激光频率溯源至国际计量委员会推荐的复现米定义谱线之一的R(56)32-O(a10)上;使用双频激光空间分离的设计方法,抑制了双频激光混叠引...
关键词：跨尺度 可溯源 测量 干涉仪 
外差干涉仪光路调节方法及对拍频的理解被引量：1
《光学仪器》2016年第3期252-255,共4页杨卫 侯文玫 句爱松 罗佳林 柯有龙 
沪江基金资助课题(C14002)
外差激光干涉仪由于测量精度高,环境适应能力强和实时动态高速测量等特点而广泛应用于机床误差的实时监测中。外差激光干涉仪中,使用平面镜作为转向装置时,接收器上的两束光有可能只是相交而不是重合,这给光路的调节增加了很大的难度。...
关键词：测量 干涉仪 光路调节 干涉条纹 
激光外差干涉仪在直线位移台滚转特性测量上的应用被引量：2
《应用激光》2016年第1期96-101,共6页柯有龙 侯文玫 句爱松 杨卫 罗佳林 
沪江基金资助项目(项目编号:C14002)
为了实现工业中较大直线位移上的滚转角快速测量,设计了一种基于激光外差干涉技术的几何空间对称四光路滚转角测量系统,并针对缺少滚转参数的较大行程位移台,进行了滚转特性测量试验。试验证明,几何空间对称四光路滚转角测量系统稳定性...
关键词：外差干涉 滚转角误差 对称光路 滚珠丝杠 
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