干涉仪

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扫描干涉曝光系统中双频激光干涉测量误差建模与分析
《中国光学(中英文)》2025年第2期224-236,共13页王新宇 李文昊 王玮 刘兆武 姜珊 周文渊 巴音贺希格 
国家重点研发计划资助项目(No.2022YFB3606100);国家自然科学基金资助项目(No.U21A20509,52275554)。
扫描干涉场曝光技术(SBIL)是制作单体大面积高精度光栅的有效途径,采用双频激光干涉仪反馈工作台位置进行干涉条纹的精确拼接,会不可避免地引入光栅刻线误差,导致光栅衍射波前质量降低。针对工作台的位移测量误差,分析了激光干涉仪自身...
关键词：扫描干涉场曝光系统 衍射波前 工作台位移测量 双频激光干涉仪 误差分析 
应用于梯度折射率测量的长波红外干涉仪
《光学技术》2025年第2期169-174,共6页张祐诚 郑东晖 黄一飞 李晶晶 陈磊 
中央高校基本科研业务费专项资金(30923010934);国家自然科学基金(62005122);江苏省自然科学基金(BK20200458)。
红外梯度折射率材料折射率大且折射率变化大,导致干涉条纹密度大且密度变化大。为了精确测量红外梯度折射率材料,研究了一种λ=10.6μm红外马赫-曾德尔干涉仪,设计了一种变焦、定焦同步成像方案,解决了材料大梯度分布情况下条纹过密导...
关键词：干涉测量 红外干涉仪 马赫-曾德尔干涉仪 折射率梯度 
基于DSP的干涉仪测向多级数据处理方法
《计算机测量与控制》2025年第3期219-225,234,共8页文彩虹 沈鹏飞 王先发 陈欣 郭林楠 幸涛 
针对多基线干涉仪测向系统存在测量噪声、系统误差等导致的解模糊错误和测向精度低等问题,提出了一种有效提高测向精度的多级数据处理方法;该方法选用了抗干扰能力强、复杂度适中、易于工程实现的立体基线法,并着重于解模糊前后的数据处...
关键词：干涉仪 测向 解模糊 中值滤波 异常值剔除 
通过白光干涉仪观察不同参数下CO_(2)点阵激光烧蚀甲面的变化
《基础医学与临床》2025年第3期354-359,共6页马红艳 王宏伟 
目的评估不同CO_(2)点阵激光参数对甲面微小治疗区(MTZ)形成的影响,并比较不同仪器对这些区域效果的观察。方法本研究在牛甲样品上应用60种不同的CO_(2)点阵激光参数组合,包括脉宽100~1000μs和功率10~60 W。随后,通过光学显微镜、倒置...
关键词：CO_(2)点阵激光 甲通道 热效应 白光干涉仪 
基于参考干涉仪的光纤水听器低频噪声抑制技术
《通讯世界》2025年第2期4-6,共3页徐红霞 龚海霞 易朗宇 郭腾辉 施剑 
为抑制光纤水听器低频相位噪声,引入参考干涉仪,提出一种联合噪声消除方法。通过高通滤波实现低频漂移消除,通过多次数据采集并引入基元补偿系数消除光源相位噪声。将参考基元与传感基元置于同一安静环境场,测试系统相位噪声。实验结果...
关键词：参考干涉仪 低频探测 光纤水听器 噪声抑制 相位噪声 
一种基于空芯光纤拼接结构的曲率温度传感器
《光电技术应用》2025年第1期58-62,74,共6页徐心怡 周蕊 李瑞 李飞 刘颖刚 
文中设计并制作了一种基于光纤马赫-曾德尔干涉仪(Mach-Zehnder interferometer,MZI)与法布里-珀罗干涉仪(Fabry-Pérot interferometer,FPI)融合的曲率和温度传感器。该传感器结构是将一段空芯光纤(hollow-core fiber,HCF)两端级联无...
关键词：马赫-曾德尔干涉仪 温度 曲率 空芯光纤 
干涉仪中极化测量和极化误差修正方法
《电子信息对抗技术》2025年第1期30-35,共6页朱全江 高阳 沈志博 
极化是影响干涉仪测向精度的主要因素之一,也是描述电磁波特性的重要参数之一。基于矢量分解和最小二乘法,提出了一种新的极化测量方法,应用于干涉仪测向系统中。该方法在一般干涉仪天线阵中增加一个不同极化的天线单元即可实现极化测...
关键词：干涉仪 测向 天线阵 极化测量 
基于可溯源光栅的高精度位移测量系统研究及不确定度分析
《计量学报》2025年第2期151-159,共9页高启元 施玉书 张树 史舟淼 王康 胡佳成 
国家重点研发计划(2022YFF0605501,2022YFF0605502,2022YFF0605505)。
通过构建以光栅栅距校准值作为栅距量值的可溯源光栅位移测量系统,实现量值从米定义到光栅位移测量系统的传递。分析了光栅与读数头之间的对位误差对栅距和干涉信号对比度的影响。并进行系统的静态稳定性实验和与激光干涉仪的位移测量...
关键词：几何量计量 可溯源光栅 光栅位移测量系统 对位误差 激光干涉仪 不确定度 
基于3390nm中波红外干涉仪红外材料折射率均匀性测量
《光学技术》2025年第1期82-86,共5页黄一飞 袁彪 陈冕成 陈磊 
在中远红外波段,由于红外材料无法透射可见光,材料的均匀性测量相对困难,然而近年来红外材料的加工精度需求越来越高,因此实现红外材料均匀性的准确测量迫在眉睫。当前的检测手段中,干涉法作为一种非接触高精度的检测手段得到广泛应用...
关键词：中红外 非均匀性 翻转法 透射法 
基于半导体激光干涉仪的微振动检测技术研究
《电子制作》2025年第4期93-95,共3页朱充 
由于现有的检测技术信号放大效果差,振幅测量误差大,为此开展基于半导体激光干涉仪的微振动检测技术研究。先利用半导体激光干涉仪进行微振动信号采集,以及对采集到的信号进行预处理。然后解析出物体的微振动信号,采用多普勒信号处理方...
关键词：半导体 激光干涉仪 微振动 检测 
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