点衍射干涉仪

作品数：37被引量：111H指数：7
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相关作者：马冬梅金春水张海涛朱文华于杰更多>>
相关机构：南京理工大学中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院上海光学精密机械研究所中国科学院研究生院更多>>
相关期刊：《机械工程学报》《华侨大学学报（自然科学版）》《长春理工大学学报（自然科学版）》《光学精密工程》更多>>
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基于小孔点衍射的超精面形瞬态干涉测量技术被引量：1
《光子学报》2022年第4期248-255,共8页张金鹏 高芬 李兵 
国家自然科学基金(Nos.52005383,51975448)。
为解决时域相移小孔点衍射干涉仪中移相依赖昂贵压电陶瓷相移器,且长时间采集易受环境干扰影响的问题,提出一种基于偏振同步相移的小孔点衍射瞬态干涉检测方法。构建反射式结构的小孔点衍射干涉测量光路得到两束正交的圆偏振光,利用棋...
关键词：干涉测量 面形检测 点衍射干涉仪 同步相移 瞬态检测 
反射式偏振相移动态点衍射干涉技术的研究被引量：6
《中国激光》2020年第10期156-163,共8页王晨 周游 鲁棋 徐天柱 刘世杰 
国家自然科学基金(11602280)。
为了抑制环境振动引入的测量误差,实现对球面光学元件面形的动态检测,提出了一种基于微偏振片阵列的反射式针孔点衍射干涉系统。该干涉系统使用短相干激光光源获得两束相干光,通过调节两束偏振光的光强比调节干涉条纹的对比度,利用集成...
关键词：测量与计量 干涉测量 球面面形 点衍射干涉仪 偏振相移 
用于位相缺陷检测的反射式剪切点衍射干涉仪被引量：6
《光学精密工程》2018年第12期2873-2880,共8页马云 陈磊 刘一鸣 朱文华 
国家重点研发计划资助项目(No.2017YFF0107103)
为了实现光学元件位相缺陷的大视场、高分辨率、瞬态检测,设计了一种基于无镜成像算法的反射式剪切点衍射干涉仪。该干涉仪通过在参考光与测试光之间引入横向错位量,形成高密度线性载频,利用快速傅里叶变换算法从单幅干涉图中提取待测...
关键词：干涉测量 瞬态测量 点衍射 位相缺陷 无镜成像 
多步相移中被测件径向相移不均匀引入误差比较及校正被引量：4
《光学学报》2018年第4期207-213,共7页高芬 倪晋平 李兵 田爱玲 
国家自然科学基金(51275398);陕西省科学技术研究发展计划(2014K05-4)
不同步数相移算法下被测件径向相移不均匀引入的误差不同,对测量的影响也将不同。基于点衍射干涉测量光路,构建了误差分析模型,以5、6、7和13步相移算法为例,对不同相移算法下被测件径向相移不均匀引入的移相误差进行了分析,并将该移相...
关键词：测量 干涉测量 点衍射干涉仪 多步相移 径向相移不均匀 误差分析 
大口径光学元件瞬态波前检测被引量：3
《光电工程》2018年第1期56-62,共7页孟诗 陈磊 朱文华 孙沁园 张瑞 
国家自然科学基金(U1231111);江苏省自然科学基金(BK2012802)资助项目~~
为瞬态测量大口径光学元件波前,提出一种基于斜入射结构的近红外反射式错位点衍射干涉原理的Φ400 mm瞬态波前检测方法。该方案将待测光分成两束互相错位的参考光与测试光,从而在干涉图中引入高线性载频,采集到对比度良好的干涉图后,利...
关键词：光学测量 点衍射干涉仪 大口径 瞬态波前 
利用Mach-Zehnder点衍射干涉仪的激光复振幅实时重建方法
《华侨大学学报（自然科学版）》2017年第5期699-705,共7页杜永兆 
国家自然科学青年基金资助项目(61605048);福建省自然科学基金面上资助项目(2016J01300);福建省科技创新平台资助项目(2013H2002);华侨大学高层次人才科研启动项目(600005-Z15Y0073)
在充分利用Mach-Zehnder自参考干涉系统无需设置专门参考光优点的基础上,提出一种激光复振幅实时重建方法.在参考臂和测试臂上分别设置放大倍率为s且互为倒置的望远镜系统,使得经针孔滤波、准直后的参考光被放大s2倍形成波前与振幅(或强...
关键词：激光光束质量 复振幅重建 点衍射干涉仪 M2因子 
针孔式点衍射干涉仪的无镜成像方法被引量：1
《光学学报》2017年第3期208-218,共11页黄磊 高志山 杨忠明 窦沂蒙 窦建泰 朱文华 左超 袁群 
国家自然科学基金(61377015;61505080);江苏省自然科学基金(BK20150788);江苏省光谱成像与智能感知重点实验室开放基金(3091601410402)
为了避免传统针孔式点衍射干涉仪中干涉成像系统所带来的误差,提出一种无镜成像算法,无需干涉成像系统,从CCD直接采集得到的干涉图复原求解被测件面形。基于平面波角谱理论构建虚拟物像共轭关系,由CCD处直接采集到的干涉图反演至被测件...
关键词：测量 干涉成像系统 相干噪声 无镜成像算法 虚拟透镜 平面波角谱理论 
微缩投影系统的垂轴放大率测量被引量：2
《光学精密工程》2016年第1期1-6,共6页谢耀 王丽萍 郭本银 王君 苗亮 王辉 周烽 
国家科技重大专项基金资助项目(No.2008ZX02501-008)
考虑有限距光学系统的成像质量与系统垂轴放大率相关,本文提出了基于系统波像差检测的垂轴放大率测量方案。以给定的光学系统中像平面位置与物平面位置满足高斯公式和牛顿公式的原理为出发点,通过系统波像差中离焦量的变化监控物点移动...
关键词：成像系统 微缩投影系统 垂轴放大率测量 点衍射干涉仪 离焦 
近红外反射式错位点衍射干涉仪
《光电工程》2016年第1期49-54,共6页万骏 陈磊 朱文华 李金鹏 
国家自然科学基金(U1231111);江苏省自然科学基金(BK2012802)资助项目
为瞬态测量近红外激光波前,提出了一种斜入射结构的反射式错位点衍射干涉仪方案。将点衍射干涉仪集成在镀有特殊膜系的平板基片上,相干光波分别在平板前后表面反射产生错位,从而在传统点衍射干涉图中引入空间线性载频。采用傅里叶变换...
关键词：光学测量 点衍射干涉仪 波前检测 瞬态 空间线性载频 
基于马赫-曾德尔点衍射干涉仪的激光模式复振幅测量被引量：3
《中国激光》2015年第7期245-251,共7页董哲良 冯国英 胡丽荔 张澍霖 
国家自然科学基金(60890200)
利用马赫-曾德尔点衍射干涉仪,通过一幅干涉图,直接恢复激光模式的强度和相位信息,重建模式复振幅。在理论上分析了利用快速傅里叶变换的点衍射干涉法重建激光复振幅分布的原理;推导了激光模式在自由空间中传输时强度和相位的分布情况...
关键词：测量 激光模式 马赫-曾德尔点衍射干涉仪 复振幅 
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