面形检测

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定日镜的面形检测方法探讨
《太阳能》2025年第4期100-106,共7页李智斌 曾坤 谭云华 杨琪 
定日镜是熔盐塔式太阳能热发电站的关键部件,定日镜面形质量直接影响其光学效率,因此,面形检测技术研究具有重要意义。分析了定日镜面形误差来源,对比了3种常见的定日镜面形检测方法的优缺点;重点研究了3D检测法在定日镜面形检测中的应...
关键词：定日镜 面形检测 3D扫描 自动化检测 塔式太阳能热发电 
AOI自动化光学检测技术的应用
《光学与光电技术》2024年第5期63-70,共8页陈鹏 李志松 
国家自然科学基金(51975116);上海市自然科学基金(21ZR1424600);上海市自然科学基金(21ZR1402900)资助项目。
厚度作为半导体薄膜的一个关键参数,直接影响着其工作性能.然而,对于市面上使用较为广泛的微米级厚度的半导体衬底、晶圆片,现存测量方法仍存在精度不够、稳定性差、测量速度较慢等问题.为了解决这一问题,基于红外干涉测厚原理与激光面...
关键词：薄膜测厚 红外干涉 面形检测 非均匀傅里叶变换 Zernike拟合 Fizeau干涉光路 
非球面光学元件的面形检测专利技术现状
《中国科技信息》2024年第17期50-52,共3页龚艳霞 拓天甜 董环环 
非球面光学元件是表面形状偏离球面的光学元件,具有自由度高、灵活性强的特点,具有广泛的应用前景,但其检测方法是阻碍其发展的一大难题。以非球面光学元件的面形检测技术的专利申请作为分析对象,本文重点分析全球范围内关于非球面光学...
关键词：非球面光学元件 面形检测 表面形状 专利申请 申请量 专利技术 技术分支 检测方法 
基于视线标定立体偏折术的离轴非球面面形检测被引量：1
《中国激光》2024年第13期115-123,共9页路凯 王瑞阳 李大海 葛忍好 郑万兴 
国家自然科学基金(U20A20215,62375190);四川大学基金(2020SCUNG205)。
为实现离轴非球面光学元件面形的准确高效测量,提出一种基于立体偏折术并结合点云匹配数据处理的方法,该方法可用于离轴非球面光学元件结构参数的拟合与面形测量。首先,根据立体偏折术原理获得离轴非球面的点云数据,然后,利用点云数据...
关键词：视线标定 立体偏折术 离轴非球面元件 面形 点云匹配 
基于图像识别的线性菲涅尔反射镜面型检测方法研究
《建模与仿真》2024年第3期3861-3877,共17页吉兆中 孔令刚 
一次反射镜作为线性菲涅尔式光热发电系统中收集太阳能与实现光热转换的关键部件,其面型质量对系统的光学性能和整体效率有着直接影响。传统的面型检测技术存在操作复杂、成本高昂、效率低下等问题,所以对一次反射镜面型检测技术的优化...
关键词：线性菲涅尔聚光镜 面形检测 图像识别 
复杂曲面光学元件高精度面形检测技术概述被引量：1
《南通大学学报（自然科学版）》2024年第1期1-27,共27页刘斌 王孝坤 程强 刘忠凯 李凌众 蔡梦雪 张洛嘉 李文涵 王金成 张学军 
国家自然科学基金重大科研仪器研制项目(62127901);国家重点研发计划项目(2022YFB3403400);中国科学院大学生创新实践训练计划项目(Y9I838S)。
复杂曲面光学元件应用于光学系统中可以增大系统设计自由度,同时减少系统所需元件数量,有利于实现光学系统的紧凑化、轻量化,被誉为现代光学系统的变革性元件,被广泛应用于空间光学、光刻系统、汽车照明等领域,极大推动了航天、国防及...
关键词：复杂光学曲面 面形检测 非接触检测 干涉检测 零位检测 非零位检测 
高精度面形坐标测量方法研究进展与应用
《计量科学与技术》2024年第2期101-110,共10页刁晓飞 范芯蕊 康岩辉 
国家重点研发计划NQI专项(YF-ZLJCB2222-1)。
随着光学元件加工技术的不断提升,复杂曲面光学元件在航空、航天、极紫外光刻等领域逐渐展露出其卓越的应用价值。全面回顾了高精度面形测量方法在复杂曲面光学元件研究中的进展和应用。重点关注通用性较高的坐标点扫描测量方法,详细介...
关键词：计量学 面形检测 干涉测量 坐标扫描 标准装置 检测技术 
基于空洞空间卷积网络的点衍射干涉图像相位解包技术
《光学精密工程》2024年第2期208-220,共13页王同盟 高芬 李兵 
国家自然科学基金资助项目(No.52005383)。
为满足点衍射干涉测量对解包算法高精度、高效以及抗干扰的检测需求。提出一种基于空洞空间卷积的相移点衍射干涉图像的相位解包方法,通过将自编码器结构和空洞空间卷积结合获得更高的相位解包精度,实现对包裹相位图像可控的多尺度特征...
关键词：干涉测量 面形检测 干涉成像 神经网络 相位解包 
主动反射面面形实时计算与检测方法研究
《电子测量技术》2023年第17期51-56,共6页张庆海 刘圣乾 于春雨 赵正旭 
装备预先研究领域基金项目(JZX7Y20210144400801);青岛理工大学高端平台建设112计划“数字孪生大科学中心”项目(10606029)资助。
主动反射面技术在射电望远镜发展中具有重要意义,为提高主动反射面技术中面形检测的实时性,减小环境因素造成的检测误差,建设了主动反射面面形监测研究平台,提出一种利用测距传感器的主动反射面面形计算与检测方法。首先确定主动反射面...
关键词：大口径射电望远镜 主动反射面 面形检测 测距传感器 实时性 
基于光学偏折的微小透镜双曲面同步测量
《光学学报》2023年第10期135-143,共9页阮旸 孔明 窦进超 禹静 华杭波 王狮凌 刘维 
针对自由曲面微小透镜检测中无法同时高精度检测前后表面的问题,提出一种基于光学偏折的微小透镜前后曲面同步测量方法。该方法基于高精度的透射波前检测系统建立理想光线追迹模型,并在利用光学偏折高精度测得的含有被测微小透镜面形信...
关键词：测量 透射元件 自由曲面面形检测 光学偏折技术 微小透镜 
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