王君

作品数：7被引量：19H指数：2
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供职机构：中国科学院更多>>
发文主题：极紫外光刻掩模光学系统极紫外多层膜更多>>
发文领域：机械工程理学农业科学电子电信更多>>
发文期刊：《病毒学报》《光学精密工程》《光学学报》《天文学进展》更多>>
所获基金：国家科技重大专项国家自然科学基金更多>>
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扁刺蛾核型多角体病毒新分离株的基因组测序与分析被引量：1
《病毒学报》2023年第1期185-198,共14页王金昌 类承凤 陈俊晖 占智高 况文东 关丽梅 杨健 李江怀 周溪 靳亮 王君 
国家自然科学基金项目(项目号:31900154),题目:深度挖掘杆状病毒蛋白质网络;江西省重点研发项目(项目号:20192BBF60056),题目:草原毛虫多角体病毒复配增效杀虫剂关键技术及应用研究;江西省重点研发项目(项目号:20202BBFL63050),题目:扁刺蛾核型多角体病毒杀虫剂生产关键技术;江西省重点研发项目(项目号:20212BBF63044),题目:豆天蛾质型多角体病毒杀虫剂关键技术研究;江西省科学院包干制试点示范项目(项目号:2021YSBG21013),题目:多功能解淀粉芽孢杆菌发酵优化及其抑菌杀蚜水剂的开发应用。
从自然死亡的扁刺蛾幼虫分离到一株核型多角体病毒。扁刺蛾核型多角体病毒新分离株(Oxyplax ochracea nucleopolyhedrovirus-Thosea sinensis,OxocNPV-Ts)具有典型的杆状病毒特征,呈单粒包埋型病毒粒子,病毒颗粒(Occlusion-derived viru...
关键词：扁刺蛾核型多角体病毒 基因组 测序分析 
全金属缝隙天线在PAF馈源中的应用
《天文学进展》2021年第3期424-432,共9页马月 庞峰 王君 于京龙 彭勃 
国家重点研发计划(2018YFA0404703);国家自然科学基金(U1931125);中国科学院FAST重点实验室开放课题。
对直线缝隙天线进行了理论分析、仿真和优化设计,并制作出实验样机单元。从天线馈电部分分析入手,采用同轴探针馈电方式,内导体利用多个匹配环来改善工作带宽。与传统直线缝隙天线相比,天线主体增加了腔体缝隙结构,实现了天线样机4~12 ...
关键词：直线缝隙天线 馈电 宽带 阵列 
小型掠入射式近边X射线吸收谱仪的设计被引量：2
《中国光学》2018年第2期265-278,共14页陈晨曦阳 金春水 王君 谢耀 
近边X射线吸收精细结构(NEXAFS)谱包含了吸收原子的局域结构信息,由于其适用范围广,灵敏度高,已经成为研究物质结构的重要手段之一。为了研究有机物的碳1s NEXAFS谱,本文基于气体激光等离子体X射线光源,采用具有平场特性的凹面变线距光...
关键词：光谱仪 近边X射线吸收 掠入射 优化的装配方案 分辨率 
微缩投影系统的垂轴放大率测量被引量：2
《光学精密工程》2016年第1期1-6,共6页谢耀 王丽萍 郭本银 王君 苗亮 王辉 周烽 
国家科技重大专项基金资助项目(No.2008ZX02501-008)
考虑有限距光学系统的成像质量与系统垂轴放大率相关,本文提出了基于系统波像差检测的垂轴放大率测量方案。以给定的光学系统中像平面位置与物平面位置满足高斯公式和牛顿公式的原理为出发点,通过系统波像差中离焦量的变化监控物点移动...
关键词：成像系统 微缩投影系统 垂轴放大率测量 点衍射干涉仪 离焦 
极紫外光刻物镜分组可视化界面设计优化被引量：1
《光学学报》2015年第12期127-135,共9页王君 王丽萍 金春水 苗亮 谢耀 
国家科技重大专项(2008ZX02501-008)
高数值孔径(NA)、大视场极紫外光刻物镜光学系统是实现22 nm及以下技术节点产业化光刻系统的关键部件。通过对光刻物镜系统结构的分析,利用可视化对其初始结构进行分组构造。并在此基础上采用一种渐近式NA方法获得了弦长为26 mm,宽2 mm...
关键词：光学设计 极紫外光刻 可视化界面 初始结构 
极紫外光刻投影物镜中多层膜分析模型的建立及应用被引量：4
《光学学报》2014年第8期135-142,共8页王君 金春水 王丽萍 郭本银 喻波 
国家科技重大专项(2008ZX02501)
极紫外光刻投影系统中高反膜厚度一般约300nm,远大于13.5nm的工作波长,光能并不能完全穿透膜层入射到基底,从而引入数倍于波长的额外光程差,降低系统成像质量。从能量调制的角度提出了一种基于能量守恒定律的多层膜等效工作界面模型,将...
关键词：成像系统 光学设计 极紫外光刻 等效工作界面 多层膜 能量守恒 
极紫外光刻离轴照明技术研究被引量：9
《光学学报》2012年第12期140-145,共6页王君 金春水 王丽萍 卢增雄 
国家科技重大专项资助课题
离轴照明技术(OAI)是极紫外光刻技术中提高光刻分辨率的关键技术之一。为了实现考虑掩模阴影效应情况下离轴照明的优化选择,构造了一种新型实现OAI曝光的成像模型。将照射到掩模上的非相干光等效为一系列具有连续入射方向的等强度平行光...
关键词：X射线光学 极紫外光刻 分辨率增强 离轴照明阴影效应 光刻胶 
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