激光外差干涉仪

作品数：20被引量：45H指数：4
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相关领域：机械工程电子电信更多>>
相关作者：王春晖曲杨高龙李达成曹芒更多>>
相关机构：哈尔滨工业大学清华大学北京科技大学中国计量科学研究院更多>>
相关期刊：《大连理工大学学报》《激光技术》《实验技术与管理》《光学学报》更多>>
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基于FPGA的激光外差干涉仪反正切解调技术被引量：3
《计量学报》2022年第3期399-404,共6页柯伟 冯秀娟 杨平 何龙标 邢广振 王敏 
国家重点研发计划资助(2017YFF0205004)。
针对高频声学应用中多普勒信号软件解调的局限,提出了一种基于FPGA的数字硬件信号解调方案。基于AD9467设计了高速ADC采集系统,以实现原始多普勒信号的奈奎斯特采样或带通采样;基于Xilinx Zynq-7000片上芯片系统设计数字信号处理系统,...
关键词：计量学 声学测量 激光外差干涉仪 反正切解调 FPGA 
激光外差干涉仪在直线位移台滚转特性测量上的应用被引量：2
《应用激光》2016年第1期96-101,共6页柯有龙 侯文玫 句爱松 杨卫 罗佳林 
沪江基金资助项目(项目编号:C14002)
为了实现工业中较大直线位移上的滚转角快速测量,设计了一种基于激光外差干涉技术的几何空间对称四光路滚转角测量系统,并针对缺少滚转参数的较大行程位移台,进行了滚转特性测量试验。试验证明,几何空间对称四光路滚转角测量系统稳定性...
关键词：外差干涉 滚转角误差 对称光路 滚珠丝杠 
基于LabVIEW的激光双频外差干涉纳米位移测量系统被引量：8
《测控技术》2014年第5期31-34,共4页何京徽 许素安 谢敏 袁铭权 钱飞 陈乐 孙坚 
国家自然科学基金资助项目(51105348);第45批教育部留学回国启动基金项目;浙江省钱江人才计划项目(2013 R1066)
工业的发展对位置测量精度提出了越来越高的要求。测量外差干涉仪由于其自身测量范围广、测量速度高、稳定性好、分辨率高的特点,在纳米测量领域中得到广泛的应用。提出了一种基于LabVIEW的外差干涉纳米位移测量系统,该系统采用外差干...
关键词：激光外差干涉仪 纳米位移测量 LABVIEW 
激光外差干涉仪相位计的设计被引量：3
《激光技术》2014年第1期119-123,共5页乐燕芬 李霄夏 句爱松 
国家自然科学基金资助项目(51075280);上海市大学生创新创业训练计划资助项目(201210252025)
外差信号的比相处理是决定外差干涉仪精度、分辨率等性能的重要因素。为了解决比相计的分辨率和检测速度之间的矛盾,采用比相方法进行了测量原理、应用特点及局限性的理论分析,给出了相应的解决方案。结果表明,基于现场可编程门阵列的...
关键词：测量与计量 外差干涉 比相计 相位测量 
激光外差干涉仪设计与实验研究被引量：2
《实验技术与管理》2014年第2期66-68,共3页李莉君 叶贤基 杨光 
将现代光学实验引入本科物理实验课程中有助于学生了解光学及科技应用的最新发展状况。外差干涉方法是精密测量微小位移的重要方法之一。以常用的光学实验仪器、光学元件和调整架等设备,给出了一种空间式的激光外差干涉实验设计方案,并...
关键词：物理实验 激光外差干涉仪 声光调制 压电陶瓷 
渥拉斯顿棱镜偏摆对激光外差干涉直线度测量的影响分析被引量：1
《浙江理工大学学报（自然科学版）》2012年第5期672-676,682,共6页张华叶 张恩政 严利平 陈本永 
国家自然科学基金项目(90923026)
描述激光外差干涉直线度及其位置测量方法;分析由渥拉斯顿棱镜偏摆角引起的测量误差,建立激光外差干涉直线度及其位置测量误差的数学模型,并进行仿真分析研究。结果表明:渥拉斯顿棱镜倾角和摆角引入的测量误差为正弦型误差分量,当渥拉...
关键词：激光外差干涉仪 渥拉斯顿棱镜 直线度 倾角 摆角 
基于实时监测的激光外差干涉仪闲区误差自动补偿被引量：1
《光电子．激光》2008年第7期934-937,共4页杨宏兴 谭久彬 胡鹏程 付海金 
黑龙江省科技攻关资助项目(GC04A515)
针对目前激光外差干涉实时测量中,由于现场工作环境的限制,无法对闲区误差进行实时自动补偿的问题,提出了一种基于实时测量闲区值和折射率值的闲区误差补偿方法。该补偿方法以激光测距仪为主体,结合偏振片、偏振旋转器对闲区长度值进行...
关键词：闲区误差 自动实时补偿 外差干涉 折射率 
用激光外差干涉仪探测金属表面超声振动的实验设计被引量：4
《物理实验》2004年第2期16-19,共4页丁红胜 童莉葛 潘礼庆 王少铁 
将激光外差法测量的科研成果转化为物理专业实验 ,设计了易于调节的激光外差干涉系统 ,实现了外差信号的接收 .用压电超声装置代替激光超声装置 ,使实验系统小型化 .
关键词：激光外差干涉仪 超声振动 非接触检测 压电超声装置 布拉格器件 探测器 声光调制 
全自动光栅尺激光外差动态检测系统被引量：1
《深圳大学学报（理工版）》2000年第1期37-42,共6页吴玉斌 szu.edu.cn 胡晓朋 朱勤 
广东省科委重点科技攻关项目;深圳市科技局资助!9708
给出一种以激光外差干涉仪为基准，用计算机实现自动控制、数据采集、动态检测、误差分析和列表输出等多项功能的光栅尺高精度自动检测系统．与传统检测方法相比，具有精度高、自动化程度高、速度快和测量结果直观清晰等优点．该系统现...
关键词：激光外差干涉仪 光栅尺 动态自动检测 
在线测量表面粗糙度的共光路激光外差干涉仪被引量：14
《光学学报》1999年第7期958-961,共4页梁嵘 李达成 曹芒 赵洪志 武勇军 
一种新型的、用于在线测量表面粗糙度的激光外差干涉仪已研制完成。该仪器体积小（２５ｃｍ×２０ｃｍ×１０ｃｍ）、抗外界环境干扰能力强。仪器以稳频半导体激光器作为光源。共光路设计，使测量光和参考光沿同一路径入射到被测表面上...
关键词：表面粗糙度 在线检测 共光路 外差干涉仪 
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