光栅尺

作品数：550被引量：695H指数：10
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数控机床光栅尺选型应用与装配技术研究
《中国科技成果》2025年第5期19-22,共4页孙文超 朱晓飞 白雅静 
光栅尺位移传感器作为数控机床运动轴的直线位移或者角度位移实时检测的反馈装置,其应用选型和装配质量将影响数控机床运动轴的定位、重复定位以及反向间隙等位置精度,从而影响加工零件的精度.为提高数控机床运动轴的位置精度,降低光栅...
关键词：数控机床 光栅尺 装配技术 故障分析 
位置反馈可靠的真图像技术
《现代制造》2025年第2期10-10,共1页无 
海德汉保持逐年不间断的技术创新和新品开发,立志于为客户提供更加精确,更加可靠和更加稳定的产品及解决方案。对机床制造商和最终用户而言,为了达到稳定的加工精度以及更好的机床控制性能而选择使用光栅尺和编码器,由于海德汉产品在精...
关键词：图像技术 位置反馈 机床制造商 机床控制 光栅尺 编码器 海德汉 信号质量 
精密直线测量元件光栅尺安装研究
《机械制造》2025年第2期80-82,共3页谭德宁 梁伟 郑明辉 
山东华宇工学院校级协同创新中心项目(鲁华宇院政学[2021]165号)。
对光栅尺这一精密直线测量元件的安装进行研究,计算定位误差,分析环境温度监测与实时补偿,解决双重定位误差问题,并设计软件包。同时给出了光栅尺安装中的注意事项。
关键词：直线测量 光栅尺 安装 
半导体装备系统动力学与控制专刊序
《动力学与控制学报》2024年第12期1-4,共4页孙煜 宋法质 徐云浪 李雪平 
国家自然科学基金资助项目(62304045);上海市扬帆计划资助项目(23YF1401600)。
围绕集成电路半导体装备的LPV动力学建模与控制、精密运动系统的建模与高精度运动控制、精密设备的主动隔振与抑振、晶圆机械手结构设计与减振、高精度传感装置研制、精密系统温度控制等方面,本专刊介绍了集成电路半导体装备系统动力学...
关键词：半导体装备动力学 精密运动系统 主动振动控制 晶圆机械手 光栅尺 精密温度控制 
反射式增量光栅尺位移测量系统研究被引量：1
《动力学与控制学报》2024年第12期96-102,共7页李昊文 杜浩 熊培元 
国家自然科学基金资助项目(62205076);国家重点研发计划项目(2022YFF0605502)。
针对集成电路设备工业生产中高精度加工和定位的需求,研究了利用反射光栅的增量式光栅尺测量系统.根据高精度平面光栅尺测量原理,建立了反射式光栅尺位移测量系统.利用读数头光束与光栅平面的几何关系,建立光斑位移与位移平台的位置关系...
关键词：光栅尺 位移测量 误差补偿 
光栅位移测量系统误差修正技术研究
《电子质量》2024年第12期73-76,共4页王占军 肖凤云 
光栅测量技术是非接触测量的关键技术之一,为提高光栅尺的测量精度和分辨率,对光栅位移传感器输出信号的实时处理方法进行了研究。分析了光栅测量系统的误差来源,采用Heydemann误差补偿模型对信号中的各类误差进行修正,基于LabVIEW·FPG...
关键词：光栅尺 误差分析 Heydemann算法 LABVIEW 
基于光栅尺和视觉的线纹尺自动检定系统标定
《计量与测试技术》2024年第12期64-67,共4页崔文同 程旭 李博文 李坤 槐艳艳 任建德 
线纹尺被广泛用于飞机制造过程中。由于传统检定方法效率低,因此本文基于光栅尺和视觉,提出一种自动检定系统标定,并进行实验验证和不确定度评定。结果表明:该系统能有效提高检定效率,且满足量值传递的精度要求。
关键词：线纹尺 视觉检测 光栅尺 标定 
光栅尺基准下的位移传感器现场校准装置设计与实现
《上海计量测试》2024年第6期61-63,66,共4页许彬 王祥 余华昌 厉世益 
针对位移传感器校准问题,提出了一种现场校准方案。该方案利用光栅尺作为基准,结合直线导轨和快速安装夹具,构建了一种便携式的位移传感器校准装置,解决了因位移传感器不便独立拆卸,无法单独送检的问题。通过验证该装置的误差和重复性,...
关键词：位移传感器 光栅尺 示值误差 测量不确定度 
三坐标测量机“不能回机床零点”故障处理办法探究
《中文科技期刊数据库（全文版）工程技术》2024年第6期0167-0170,共4页唐剑华 梁雄 余人华 
本文主要介绍三坐标测量机的组成机构、工作原理以及出现“不能回零”故障的分析处理方法,供读者遇到该问题时进行参考。通过处理,打破受制于人的局面,大量降低维修费用,同时也通过分析提出设备使用时的注意事项以及提出设备管理过程中...
关键词：三坐标测量机 轴 光栅尺 电机 读数头 过滤器 气浮模块 
基于光栅尺测量的明渠流量计校准装置及其在线校准方法研究
《中国测试》2024年第S01期134-138,共5页吴忠杰 吴丽滨 易国贤 周军红 
明渠流量计是监测水流量的一种计量器具,广泛应用于各行各业。因其不便拆卸、堰槽设计不规范、校准方法缺失等原因,使得明渠流量计在线溯源成为业内亟需解决的难题。该文开发出一款基于光栅尺测量的明渠流量计校准装置,并应用该装置研...
关键词：计量学 明渠流量计 光栅尺 校准装置 在线校准 
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