基于LabVIEW的激光双频外差干涉纳米位移测量系统  

A Heterodyne Interferometric Nanometric Displacement Measurement System Based on LabVIEW

作　　者：何京徽[1] 许素安[1] 谢敏[1] 袁铭权 钱飞[1] 陈乐[1] 孙坚[1] 

机构地区：[1]中国计量学院机电工程学院,浙江杭州310018 [2]福陆(中国)工程建设有限公司,上海200336

出　　处：《测控技术》2014年第5期31-34,共4页Measurement & Control Technology

基　　金：国家自然科学基金资助项目(51105348);第45批教育部留学回国启动基金项目;浙江省钱江人才计划项目(2013 R1066)

摘　　要：工业的发展对位置测量精度提出了越来越高的要求。测量外差干涉仪由于其自身测量范围广、测量速度高、稳定性好、分辨率高的特点,在纳米测量领域中得到广泛的应用。提出了一种基于LabVIEW的外差干涉纳米位移测量系统,该系统采用外差干涉仪作为位置检测单元,利用LabVIEW图形化编程语言开发了纳米精度位移测量系统。该系统可广泛应用于纳米计量和超精密测量领域。Development in industry needs higher accuracy in displacement measurement.Heterodyne interferometer is widely used in nanometric displacement measurement owing to its wide measuring range,high measurement speed,good stability and high resolution.A heterodyne interferometric nanometric displacement measurement system based on LabVIEW is proposed,which uses heterodyne interferometer as position measurement unit,and LabVIEW graphical programming language to develop the nanometric displacement measurement system.This system can be applied to nanometrology and ultraprecision measurement.

关 键 词：激光外差干涉仪 纳米位移测量 LABVIEW 

分 类 号：TH741[机械工程—光学工程]