杨宏兴

作品数：6被引量：30H指数：3
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发文主题：激光测距装置移频混叠稳频更多>>
发文领域：电子电信机械工程天文地球航空宇航科学技术更多>>
发文期刊：《科技成果管理与研究》《哈尔滨工业大学学报》《光电子．激光》《激光与光电子学进展》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家科技重大专项中央高校基本科研业务费专项资金中国博士后科学基金更多>>
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超精密高速激光干涉位移测量技术与仪器被引量：11
《激光与光电子学进展》2022年第9期295-309,共15页杨宏兴 付海金 胡鹏程 杨睿韬 邢旭 于亮 常笛 谭久彬 
国家自然科学基金(52175500,52061135114,52175501)。
针对微电子光刻机等高端装备中提出的超精密、高速位移测量需求,哈尔滨工业大学深入探索了传统的共光路外差激光干涉测量方法和新一代的非共光路外差激光干涉测量方法,并在高精度激光稳频、光学非线性误差精准抑制、高速高分辨力干涉信...
关键词：光学设计与制造 激光干涉 超精密高速位移测量 
甚多轴高速超精密激光干涉测量技术与仪器
《科技成果管理与研究》2021年第10期66-67,共2页胡鹏程 付海金 杨宏兴 杨睿韬 邢旭 常笛 
甚多轴高速超精密激光干涉测量技术与仪器是高端装备制造与前沿研究领域的重大核心技术基础.一方面,作为高端装备中不可替代的核心单元,直接决定了装备能达到的极限运动精度与整体性能;另一方面,作为国家/国防溯源精度最高的长度计量测...
关键词：激光干涉测量 极限运动 超精密 量子化 前沿研究领域 测量精度要求 高端装备 测量轴 
外差激光干涉仪周期非线性误差形成机理与补偿方法被引量：13
《哈尔滨工业大学学报》2020年第6期126-133,共8页王越 胡鹏程 付海金 杨宏兴 杨睿韬 谭久彬 
国家自然科学基金(51675138,1875140,61675058);国家科技重大专项(2017ZX02101006)。
针对纳米级周期非线性误差制约外差激光干涉仪使其不能适应下一代超精密装备制造与重大科学工程提出的亚纳米乃至皮米测量精度需求的问题,分析了外差激光干涉仪中两类周期非线性误差的形成机理,并对周期非线性误差的补偿方法进行了研究...
关键词：外差激光干涉测量 周期非线性误差 双频交叉混叠 虚反射 误差补偿方法 
远程高速激光外差信号的高灵敏度探测器研究被引量：2
《光电子．激光》2014年第5期925-931,共7页胡鹏程 杨宏兴 梅健挺 
国家自然科学基金青年基金(51205091;51105114);中央高校基本科研业务费专项资金资助(HIT.NSRIF.2015009);中国博士后科学基金(2013M531026)资助项目
针对多轴、高速和超精密激光干涉测量系统对光电接收器在探测灵敏度、响应带宽和稳定性等方面的特殊需求,提出一种基于远程探测的高带宽激光外差信号探测方法。首先,针对多轴激光干涉测量中多个传统光电接收器热耗散大、严重影响测量精...
关键词：多光轴测量 光电接收器 远程光传输 APD 微弱光探测 
基于实时监测的激光外差干涉仪闲区误差自动补偿被引量：1
《光电子．激光》2008年第7期934-937,共4页杨宏兴 谭久彬 胡鹏程 付海金 
黑龙江省科技攻关资助项目(GC04A515)
针对目前激光外差干涉实时测量中,由于现场工作环境的限制,无法对闲区误差进行实时自动补偿的问题,提出了一种基于实时测量闲区值和折射率值的闲区误差补偿方法。该补偿方法以激光测距仪为主体,结合偏振片、偏振旋转器对闲区长度值进行...
关键词：闲区误差 自动实时补偿 外差干涉 折射率 
一种基于控制点偏移修正的纵向塞曼稳频方法与系统被引量：3
《光电子．激光》2008年第1期46-49,53,共5页胡鹏程 谭久彬 杨宏兴 闫磊 
针对目前普遍采用的功率平衡法实现热稳频的纵向塞曼激光器存在的稳频控制点偏移问题,建立了左右旋圆偏振光光功率差调谐曲线零点与稳频控制点之间频率偏移量的数学模型,提出了稳频控制点偏移的修正方法。该方法通过对左右旋圆偏振光的...
关键词：偏移修正 稳频控制点 功率差调谐 塞曼稳频 
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