邢旭

作品数：3被引量：18H指数：2
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供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
发文主题：差频调制带宽超精密外差测试装置更多>>
发文领域：机械工程电子电信自动化与计算机技术医药卫生更多>>
发文期刊：《科技成果管理与研究》《光学精密工程》《激光与光电子学进展》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家科技重大专项更多>>
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超精密高速激光干涉位移测量技术与仪器被引量：11
《激光与光电子学进展》2022年第9期295-309,共15页杨宏兴 付海金 胡鹏程 杨睿韬 邢旭 于亮 常笛 谭久彬 
国家自然科学基金(52175500,52061135114,52175501)。
针对微电子光刻机等高端装备中提出的超精密、高速位移测量需求,哈尔滨工业大学深入探索了传统的共光路外差激光干涉测量方法和新一代的非共光路外差激光干涉测量方法,并在高精度激光稳频、光学非线性误差精准抑制、高速高分辨力干涉信...
关键词：光学设计与制造 激光干涉 超精密高速位移测量 
甚多轴高速超精密激光干涉测量技术与仪器
《科技成果管理与研究》2021年第10期66-67,共2页胡鹏程 付海金 杨宏兴 杨睿韬 邢旭 常笛 
甚多轴高速超精密激光干涉测量技术与仪器是高端装备制造与前沿研究领域的重大核心技术基础.一方面,作为高端装备中不可替代的核心单元,直接决定了装备能达到的极限运动精度与整体性能;另一方面,作为国家/国防溯源精度最高的长度计量测...
关键词：激光干涉测量 极限运动 超精密 量子化 前沿研究领域 测量精度要求 高端装备 测量轴 
空间分离式外差二自由度平面光栅干涉仪被引量：7
《光学精密工程》2019年第8期1727-1736,共10页邢旭 常笛 胡鹏程 谭久彬 
国家科技重大专项资助项目(No.2017ZX02101006-005);国家自然科学基金资助项目(No.51675138)
为了实现平面二自由度位移测量,设计并搭建了空间分离式外差二自由度平面光栅干涉仪,并对所设计的光栅干涉仪的光学结构、测量原理、面内旋转安装误差补偿等进行了研究。基于平面光栅衍射特性和空间分离式外差光栅干涉结构设计并搭建了...
关键词：光栅干涉 空间分离外差干涉 二自由度 位移测量 
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