双频激光干涉仪

作品数：147被引量：414H指数：9
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扫描干涉曝光系统中双频激光干涉测量误差建模与分析
《中国光学(中英文)》2025年第2期224-236,共13页王新宇 李文昊 王玮 刘兆武 姜珊 周文渊 巴音贺希格 
国家重点研发计划资助项目(No.2022YFB3606100);国家自然科学基金资助项目(No.U21A20509,52275554)。
扫描干涉场曝光技术(SBIL)是制作单体大面积高精度光栅的有效途径,采用双频激光干涉仪反馈工作台位置进行干涉条纹的精确拼接,会不可避免地引入光栅刻线误差,导致光栅衍射波前质量降低。针对工作台的位移测量误差,分析了激光干涉仪自身...
关键词：扫描干涉场曝光系统 衍射波前 工作台位移测量 双频激光干涉仪 误差分析 
激光外差干涉技术在光刻机中的应用被引量：8
《激光与光电子学进展》2022年第9期287-294,共8页张志平 杨晓峰 
超精密位移测量系统是光刻机不可或缺的关键分系统之一,而基于激光外差干涉技术的超精密位移测量系统同时具备亚纳米级分辨率、纳米级精度、米级量程和数米每秒的测量速度等优点,是目前唯一能满足光刻机要求的位移测量系统。目前应用于...
关键词：光刻机 外差干涉 双频激光干涉仪 平面光栅 
双频激光干涉仪的应用研究综述被引量：2
《电子测试》2022年第8期124-126,共3页于海娇 
吉林建筑科技学院2020年度校级科研项目“基于高精度非球面面形检测的对准方案研究(校科字[2020]008号)”研究成果。
本文对双频激光干涉仪在以上领域中的应用进行了分析研究。
关键词：双频激光干涉 精密测量 应用 
三坐标测量机及配合使用的光学转台测量结果不确定度的评估被引量：1
《内燃机与配件》2022年第2期125-127,共3页唐少博 朱江 龙宽 罗建军 
本文着重介绍了采用量块、双频激光干涉仪和多面棱体、光电自准直仪对三坐标测量机及配套光学转台在校准过程中因各项标准设备引入的不确定度分量的分析和评定。通过对校准过程中标准器的选用和分析计算,证实了标准器在该类设备日常校...
关键词：双频激光干涉仪 多面棱体 光电自准直仪 扩展不确定度 
基于光路折叠的室内基线场误差分析方法研究被引量：1
《计量学报》2021年第9期1142-1148,共7页蔡青梅 赵美蓉 刘红光 郑叶龙 张涵莅 宋乐 
国家自然科学基金(51805367);天津市自然科学基金(18JCQNJC04800,17JCYBJC19000和18JCZDJC31800)。
为了有效开展长距离光电测距类仪器的室内检定工作,在50 m高精度导轨上利用1组平面反射镜进行光路折叠,搭建了100 m室内基线场。对基线系统的测量误差进行了分析,考虑各项误差的调整精度,将误差分析结果应用到实际光路调整过程中,分析...
关键词：计量学 大尺寸测量 光路折叠 室内基线场 双频激光干涉仪 平面反射镜 误差分析 
机械装配装置电气控制系统的优化及数控参数的调整被引量：3
《机械管理开发》2021年第3期256-258,共3页白益文 
针对当前机械装配装置可靠性低、安全性差以及装配效率低、精度低的问题,在对机械装配装置结构及原理简单概述的基础上,着重对其电气系统和控制系统进行优化改进;同时,对改进后的电气控制系统的参数及精度进行重新设定和调整,为从根本...
关键词：机械装配装置 冗余设计 屏蔽设计 ANA模块 双频激光干涉仪 
Elden公式法在双频激光干涉仪测量系统的应用被引量：2
《仪器仪表用户》2021年第3期38-42,86,共6页熊显名 丁子婷 曾启林 杜浩 
双频激光干涉仪测量系统是以激光波长为测量基准,在空气中传播的激光波长会受到空气折射率变化影响,分析了现有的激光波长补偿方法,重点对间接补偿法中的Edlen公式法进行了研究。搭建了一套双频激光干涉仪测量的实验平台,并对不同光程...
关键词：双频激光干涉仪 波长补偿 Edlen公式 空气折射率 
基于振动节点优化提高双频激光干涉仪的测量精度被引量：12
《激光与光电子学进展》2020年第15期92-99,共8页于海娇 赵国罡 
双频激光干涉仪在纳米测量技术领域中的应用十分广泛,在特定的使用环境中,如何减小测量系统存在的误差,提高系统的测量精度变得越来越重要。鉴于此,提出一种利用测量环境中的振型节点减小环境振动,提高双频激光千涉仪测量精度的方法。...
关键词：测量 干涉仪 测量精度 振型节点 频率响应函数 
双频激光干涉仪互补校准式高精度位移检测系统研究被引量：8
《传感器与微系统》2020年第3期14-17,共4页张帆 刘瑾 杨海马 
国家自然科学基金青年科学基金资助项目(61701296,61302181);国家自然科学基金天文联合基金资助项目(U1831133);上海市自然科学基金资助项目(17ZR1443500,15ZR1417400)。
为了实现光栅刻划机的超高精度定位,提出互补校准式方法实现高精度位移检测,以光栅尺作为纳米定位平台的定位测量装置,双频激光干涉位移测量系统作为测量基准对光栅尺测量误差进行补偿校准,提高光栅尺测量精度,从而达到精准定位。基于...
关键词：位移测量 双频激光干涉仪 波长补偿 Edlen公式 LabVIEW通信 
单色器晶体角度微振动的高精度原位检测技术被引量：2
《中国光学》2020年第1期156-164,共9页樊奕辰 李中亮 徐中民 张琦 刘运 王劼 
国家自然科学基金项目(No.11505279)~~
为实现对双晶单色器角度微振动的原位测量,设计了基于双频激光干涉仪的双晶单色器晶体角度微振动测试系统,并搭建了实验平台。激光经干涉计偏振分光后射向被测晶面,对反射信号调制解调求得晶面两端的位移偏差,从而高频获取晶面的角度位...
关键词：同步辐射 双晶单色器 角度微振动 双频激光干涉仪 
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