微机械陀螺仪

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石英单晶微机械陀螺仪研究进展
《微纳电子技术》2024年第11期17-30,共14页孙卓 孙立涛 窦广彬 
国家重点研发计划(2023YFB3208901)。
对Z切、ST切、AT切三种切割方式的石英单晶微机械陀螺仪的基本工作原理进行了阐述,梳理了不同类型陀螺仪的发展历程,重点介绍了三种石英单晶微机械陀螺仪的设计结构、性能特点及其应用场景,并从灵敏度、动态范围、稳定性、抗冲击性及工...
关键词：石英 微机械陀螺仪 压电效应 Z切音叉微机械陀螺仪 ST切表面声波微机械陀螺仪 AT切厚度剪切振动陀螺仪 微电子机械系统(MEMS) 
馈通效应下微机械陀螺仪标度因数特性分析
《仪表技术与传感器》2024年第8期39-44,共6页徐乾政 丁徐锴 李宏生 
微机械陀螺仪可动质量块、衬底和电极间存在复杂的寄生电容,使得陀螺仪的反馈力电极与检测读出电极间存在馈通效应。为研究馈通效应对微机械陀螺仪标度因数特性的影响,首先基于理论模型分析了不同模态频差下,馈通效应对检测回路开环零...
关键词：馈通效应 模态频差 标度因数 零点分布 分时控制 馈通抑制 
基于模态分解多尺度熵的微机械陀螺仪降噪方法
《北京航空航天大学学报》2023年第10期2835-2840,共6页李剑 汪立新 李文华 
陕西省自然科学基础研究计划(2020JQ-491);陕西省高校科协青年人才托举计划(20200109)。
为了有效抑制微机械陀螺仪的随机误差,基于完备自适应噪声集合经验模态分解(CEEMDAN),结合反向传播神经网络(BPNN)建模和卡尔曼滤波(KF),提出了一种微机械陀螺仪改进的降噪方法。微机械陀螺仪数据经过CEEMDAN分解,得到本征模态分量(IMF)...
关键词：微机械陀螺仪 经验模态分解 多尺度熵 卡尔曼滤波 神经网络 
参数自适应误差自校准的Sigma-Delta闭环微机械陀螺仪
《飞控与探测》2023年第5期47-53,共7页周景川 熊瑞宏 陈方 
提出并实现了一种用于MEMS谐振陀螺仪的新型自适应自校准多级噪声整形(MASH)微机电sigma-delta闭环测控电路方案。该技术针对高精度MEMS音叉陀螺仪的误差校准,开发了在线自适应误差校准的MASH2-0闭环测控电路,且无需使用任何额外的机械...
关键词：MEMS陀螺仪 自校准 SIGMA-DELTA调制器 MASH 自适应 参数匹配 
芯片级多轴集成微陀螺方案对比与发展趋势分析被引量：3
《中国惯性技术学报》2023年第9期932-939,954,共9页魏雯强 鲁征浩 陈方 申冲 石云波 曹慧亮 
国家重点研发计划(2022YFB3205000);国家自然科学基金(U2230206);国家基础加强计划技术领域基金(021-JCJQ-JJ-0315);装备发展部预研领域基金(80917010501)。
微机械陀螺仪作为检测载体角速率信息的器件,在姿态控制平台和惯性导航领域有着广泛应用。首先结合国内外发展动态及研究成果,分析了三类芯片级多轴集成微机械陀螺集成方法:三单轴陀螺正交集成法、单片单结构三轴陀螺法及单片多结构陀...
关键词：微机械陀螺仪 敏感结构 单结构三轴 正交集成 陀螺阵列 
载体驱动微机械陀螺仪结构优化及性能仿真被引量：3
《传感器世界》2022年第8期10-16,共7页姜珊 张伟 
国家自然科学基金资助项目(No.61372016);北京市传感器重点实验室开放课题基金资助项目(No.2021XXX)。
MEMS陀螺仪是惯性制导系统中的关键仪表,其测量性能直接决定制导的精准度。但是,惯性制导系统旋转速度极高,其运动姿态难以准确实时测量。针对这一问题,研制了一种适用于高旋系统的载体驱动微机械陀螺仪。以提高机械灵敏度为目标,对载...
关键词：微机械陀螺仪 COMSOL仿真 有限元分析 结构优化 
微机械陀螺仪零偏稳定性的温度响应测试评价被引量：3
《仪表技术与传感器》2022年第6期12-17,22,共7页杜晓辉 刘帅 朱敏杰 刘丹 孙克 王凌云 占瞻 路文一 
国家重点研发计划项目(2020YFB2010800);国家重点研发计划项目(2018YFF01010200);国家自然科学基金项目(62004079)。
设计对比分析实验并搭建测试系统,获得商品化微机械陀螺仪零偏稳定性对恒温(-40、25、60℃)和温度循环(-40~60℃)载荷的响应规律。恒温载荷下,石英基微机械陀螺仪零偏稳定性计算值在40(°)/h以下,硅基微机械陀螺仪零偏稳定性计算值约在1...
关键词：微机械陀螺仪 零偏稳定性 温度响应 对比测试 
微机械陀螺仪解调相角在线自补偿方法
《传感器与微系统》2021年第10期24-26,31,共4页丁柏会 贾佳 李宏生 
中央高校基本科研业务费专项资金项目。
提出了一种针对低品质因数、小频差微机械陀螺仪的解调相角在线自补偿方法,以降低正交误差对陀螺仪性能的影响。对陀螺仪输出信号进行分析,展示了解调相角误差对陀螺仪零偏性能的不利影响。对此设计了基于外部激励信号的解调相角在线自...
关键词：微机械陀螺仪 解调相角 在线自补偿 零偏性能 
QMEMS陀螺标度因数温度补偿方法研究被引量：1
《南通职业大学学报》2021年第3期80-84,共5页张琬琳 
无锡商业职业技术学院省培育课题(KJXJ21606)。
为降低由陀螺标度因数引起的惯性导航系统误差,通过温度实验采集数据,采用几种不同的方法,针对石英音叉微机械陀螺仪(QMEMS)建立温度变化引起的标度因数误差漂移模型,对标度因数温度补偿进行研究。实验结果表明,人工神经网络对QMEMS标...
关键词：石英音叉微机械陀螺仪 标度因数 神经网络 最小二乘法 温度补偿 
MEMS陀螺仪驱动与检测电路设计
《无线互联科技》2021年第16期64-65,76,共3页王涛 王松 崔智军 
安康学院2019年国家级大学生创新创业训练计划项目,项目编号:201911397010;安康学院2020年省级大学生创新创业训练计划项目,项目编号:S202011397053。
传统陀螺仪的测控电路是由分立的模拟电路组成,陀螺仪输出信号的性能易受温度等环境因素影响。针对以上问题,文章基于Altera公司的MAX系列FPGA芯片,设计实现了MEMS陀螺仪的驱动与检测电路系统。系统主要包含PLL模块、ADC控制模块、数据...
关键词：微机械陀螺仪 MEMS技术 FPGA 
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