微机械

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面向CMUT的驱动电路设计和激励信号优化
《微纳电子技术》2025年第4期82-89,共8页孙帅文 何常德 吴帅琦 张文栋 张国军 杨玉华 王任鑫 
国家重点研发计划(2022YFB3205400);国家自然科学基金(61927807)。
电容式微机械超声换能器(CMUT)具有微型化、易与电子产品集成、与人体组织阻抗匹配良好、机电转换效率高、灵敏度高、频带宽和成本低等优点。CMUT在医学成像、无损检测和流速测量等领域展现出极大应用潜力。针对CMUT,设计了一套高压脉...
关键词：电容式微机械超声换能器(CMUT) 驱动电路 激励信号 电压极性 发射声压 
二维CMUT阵列成像系统的低冗余设计:一种新的阵列配置模式
《微纳电子技术》2025年第4期140-151,共12页张甜 宋金沙 乔冰琴 高丹 王智豪 邵星灵 
国家自然科学基金国家重大科研仪器研制项目(61927807);中央引导地方科技发展资金项目(YDZJSX2022A062);山西省高等学校科技创新计划项目(2023L533)。
在基于微机电系统(MEMS)的超声换能器研究中,经典相控阵(CPA)配置模式硬件系统复杂,经典合成孔径(CSA)配置模式成像效果较差。为了避免这些问题,研究了低冗余的二维电容式微机械超声换能器(CMUT)阵列配置模式。提出了三种新的阵列配置模...
关键词：二维阵列 电容式微机械超声换能器(CMUT) 有效孔径 合成波束 超声成像 
基于热传导的高鲁棒性温压一体柔性传感器敏感机理的研究
《压电与声光》2025年第1期98-103,107,共7页张永豪 朴林华 孙嘉浩 
国家自然科学基金资助项目(61771060);北京市教育委员会科研计划项目资助(KZ20231123221);北京市新世纪百千万人才工程培养资助项目(2019A20);现代测控技术教育部重点实验室资助(2024202101);北京信息科技大学北京市传感器重点实验室资助(2024202108)。
该文提出了一种基于热传导的高鲁棒性温压一体柔性传感器结构,并研究了其敏感机理。通过COMSOL建立三维模型结构,计算了敏感结构内的温度场。计算结果表明,基于热传导的高鲁棒性温压一体柔性传感器的输入压强与输出电压成反比例关系,当...
关键词：温压一体柔性传感器 微机械 有限元分析 高鲁棒性 敏感机理 
PMUT集成Helmholtz谐振腔对测距性能产生的影响分析
《压电与声光》2025年第1期113-120,128,共9页刘浩杰 塔桂峰 姚术涛 李加东 苗斌 商文玲 冯昌坤 陶金燕 
苏州市科技计划项目(SSD2023001);国家自然基金项目(62074159);国家重点研发计划(2021YFB3201600)。
压电微机械超声换能器(PMUT)是超声测距领域的重要传感器件,增强PMUT的测距性能对促进工程化应用具有重要意义。基于Helmholtz谐振腔体的吸声和扩声特性,设计了吸收PMUT背部声波的腔体结构及正向扩声的喇叭口结构。实验结果表明,在2 m...
关键词：压电微机械超声换能器(PMUT) Helmholtz谐振腔体 有限元仿真 超声测距 
微机械开关传感器的集成电路应用研究
《船电技术》2025年第1期29-34,共6页韩科 刘雪飞 李奕龙 李浩楠 
基于微机械开关结构的传感器,作为微机械加工技术与传统电化学传感器技术相结合的产物,已经展现出其在新一代传感器技术中的独特优势。本文对各类微机械开关传感器进行了综合测试,其目的是为综合比较不同微型传感器的性能及优势,为日后...
关键词：微机械开关 传感器 加工 
一种微机械大量程高电压传感器的设计
《科技视界》2024年第35期80-83,共4页张国帅 
衢州市指导性科技攻关项目(ZD2022176)。
传统光学电压传感器因具有灵敏度高、响应范围大等特点备受学者关注,但其尺寸往往受制于光学晶体大小限制,难以小型化。文中建立了电场-力-挠度传感数学模型,并通过有限元仿真软件设计了基于MEMS微机械加工技术的F-P传感单元,传感单元...
关键词：MEMS F-P腔 电压测量 
电-热-流耦合传热机理及流动不稳定性分析
《中国科技成果》2024年第21期52-53,共2页无 易红亮 罗康 王维 吴健 谈和平 高雪林 
国家重点研发计划课题,国家自然科学基金重点项目、优秀青年科学基金项目(海外)、面上项目。
电流体传热作为传热学、电磁学和流体力学的基础交叉方向,主要研究热、电、流动等多物理场多组分之间的耦合作用机理,因其稳定性和可靠性等独特优势(无需机械运动部件、低噪声、快速响应等),在航天器热管理、微流控芯片、微机械系统以...
关键词：非线性不稳定性 电流体 微机械系统 耗散结构 临界电压 微流控芯片 液体流动 传热机理 
一种基于动态pMUT的距离与方向双向检测方法
《压电与声光》2024年第5期722-728,共7页陶金燕 李加东 戴晔 商文玲 王丹芮 冯昌坤 胡益民 姚术涛 塔桂峰 
苏州市科技计划项目(SSD2023001);国家自然基金项目(62074159);国家重点研发计划(2021YFB3201600)。
超声波传感器是移动机器人广泛采用的空间感知手段。为了提高空间感知范围,现有移动机器人常采取多传感器组合的方式,导致感知系统体积大、功耗高、系统复杂。提出了一种基于动态压电微机械超声换能器(pMUT)的检测方法,实现了单颗器件...
关键词：压电微机械超声换能器(pMUT) 双向检测 移动机器人 空间感知 测距 
馈通对硅微机械陀螺零偏影响及其抑制研究
《仪表技术与传感器》2024年第10期73-77,104,共6页尹子第 李宏生 
硅微机械陀螺仪激励电极及读出电极间存在寄生电容,进而在读出信号中引入与其同频同相的馈通干扰信号。针对此现象,采用时域法对馈通干扰下力平衡模式的零偏特性进行理论推导,通过Simulink仿真及实验对结论进行验证。研究表明:馈通干扰...
关键词：硅微机械陀螺 馈通干扰 零偏 模态频差 半频谐振信号 
微机械频率梳动力学行为及应用研究综述被引量：1
《动力学与控制学报》2024年第10期18-31,共14页吴佳豪 邵磊 张文明 
国家自然科学基金委面上项目(12372016)。
光学频率梳在精确测量和时频标准领域有着重要作用.随着技术进步,传统的光学频率梳向着小型化、集成化方向发展出微型光学频率梳、微型光机械耦合频率梳等新型技术.借鉴光子和声子之间的共性,纯粹基于机械振动的微机械频率梳为传感器技...
关键词：微机械频率梳 非线性振动 幅频调制 动力学行为 精确测量 
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