微机械

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基于热传导的高鲁棒性温压一体柔性传感器敏感机理的研究
《压电与声光》2025年第1期98-103,107,共7页张永豪 朴林华 孙嘉浩 
国家自然科学基金资助项目(61771060);北京市教育委员会科研计划项目资助(KZ20231123221);北京市新世纪百千万人才工程培养资助项目(2019A20);现代测控技术教育部重点实验室资助(2024202101);北京信息科技大学北京市传感器重点实验室资助(2024202108)。
该文提出了一种基于热传导的高鲁棒性温压一体柔性传感器结构,并研究了其敏感机理。通过COMSOL建立三维模型结构,计算了敏感结构内的温度场。计算结果表明,基于热传导的高鲁棒性温压一体柔性传感器的输入压强与输出电压成反比例关系,当...
关键词：温压一体柔性传感器 微机械 有限元分析 高鲁棒性 敏感机理 
PMUT集成Helmholtz谐振腔对测距性能产生的影响分析
《压电与声光》2025年第1期113-120,128,共9页刘浩杰 塔桂峰 姚术涛 李加东 苗斌 商文玲 冯昌坤 陶金燕 
苏州市科技计划项目(SSD2023001);国家自然基金项目(62074159);国家重点研发计划(2021YFB3201600)。
压电微机械超声换能器(PMUT)是超声测距领域的重要传感器件,增强PMUT的测距性能对促进工程化应用具有重要意义。基于Helmholtz谐振腔体的吸声和扩声特性,设计了吸收PMUT背部声波的腔体结构及正向扩声的喇叭口结构。实验结果表明,在2 m...
关键词：压电微机械超声换能器(PMUT) Helmholtz谐振腔体 有限元仿真 超声测距 
微机械开关传感器的集成电路应用研究
《船电技术》2025年第1期29-34,共6页韩科 刘雪飞 李奕龙 李浩楠 
基于微机械开关结构的传感器,作为微机械加工技术与传统电化学传感器技术相结合的产物,已经展现出其在新一代传感器技术中的独特优势。本文对各类微机械开关传感器进行了综合测试,其目的是为综合比较不同微型传感器的性能及优势,为日后...
关键词：微机械开关 传感器 加工 
电-热-流耦合传热机理及流动不稳定性分析
《中国科技成果》2024年第21期52-53,共2页无 易红亮 罗康 王维 吴健 谈和平 高雪林 
国家重点研发计划课题,国家自然科学基金重点项目、优秀青年科学基金项目(海外)、面上项目。
电流体传热作为传热学、电磁学和流体力学的基础交叉方向,主要研究热、电、流动等多物理场多组分之间的耦合作用机理,因其稳定性和可靠性等独特优势(无需机械运动部件、低噪声、快速响应等),在航天器热管理、微流控芯片、微机械系统以...
关键词：非线性不稳定性 电流体 微机械系统 耗散结构 临界电压 微流控芯片 液体流动 传热机理 
一种基于动态pMUT的距离与方向双向检测方法
《压电与声光》2024年第5期722-728,共7页陶金燕 李加东 戴晔 商文玲 王丹芮 冯昌坤 胡益民 姚术涛 塔桂峰 
苏州市科技计划项目(SSD2023001);国家自然基金项目(62074159);国家重点研发计划(2021YFB3201600)。
超声波传感器是移动机器人广泛采用的空间感知手段。为了提高空间感知范围,现有移动机器人常采取多传感器组合的方式,导致感知系统体积大、功耗高、系统复杂。提出了一种基于动态压电微机械超声换能器(pMUT)的检测方法,实现了单颗器件...
关键词：压电微机械超声换能器(pMUT) 双向检测 移动机器人 空间感知 测距 
馈通对硅微机械陀螺零偏影响及其抑制研究
《仪表技术与传感器》2024年第10期73-77,104,共6页尹子第 李宏生 
硅微机械陀螺仪激励电极及读出电极间存在寄生电容,进而在读出信号中引入与其同频同相的馈通干扰信号。针对此现象,采用时域法对馈通干扰下力平衡模式的零偏特性进行理论推导,通过Simulink仿真及实验对结论进行验证。研究表明:馈通干扰...
关键词：硅微机械陀螺 馈通干扰 零偏 模态频差 半频谐振信号 
微机械频率梳动力学行为及应用研究综述被引量：1
《动力学与控制学报》2024年第10期18-31,共14页吴佳豪 邵磊 张文明 
国家自然科学基金委面上项目(12372016)。
光学频率梳在精确测量和时频标准领域有着重要作用.随着技术进步,传统的光学频率梳向着小型化、集成化方向发展出微型光学频率梳、微型光机械耦合频率梳等新型技术.借鉴光子和声子之间的共性,纯粹基于机械振动的微机械频率梳为传感器技...
关键词：微机械频率梳 非线性振动 幅频调制 动力学行为 精确测量 
一种基于正面对准的CMUT制备工艺
《微纳电子技术》2024年第9期168-176,共9页刘书睿 秦祚敏 王靖文 曾祥铖 赵晨雅 王智豪 王任鑫 杨玉华 
国家自然科学基金(61927807,52275578);国家重点研究发展计划(2020YFC0122102);山西省基金委研究计划(20210302123027,20210302124203)。
基于晶圆键合的电容式微机械超声换能器(CMUT)制备工艺凭借其对膜厚控制度高、制备过程简单且良品率高等优势,是当前CMUT的主要制备工艺之一。分析了上电极位置准确性对CMUT发射声压的影响,结合薄膜透光率和光刻机正面对准精度高的特点...
关键词：电容式微机械超声换能器(CMUT) 晶圆键合 正面对准 一致性 金属图形化 
基于ScAlN薄膜的高频PMUT阵列的设计与制造被引量：1
《压电与声光》2024年第4期496-504,共9页塔桂峰 刘建河 李加东 姚术涛 刘浩杰 苗斌 商文玲 陶金燕 
苏州市科技计划基金资助项目(SSD2023001);国家自然基金资助项目(62074159);国家重点研发计划基金资助项目(2021YFB3201600)。
高频压电微机械超声换能器(PMUT)应用于各种场景,如指纹识别、无损检测、医疗成像。在当前非侵入式血管成像应用中,存在换能器使用锆钛酸铅压电陶瓷(PZT)及局限于1-D PMUT阵列的问题。设计并制作了一种基于ScAlN材料压电薄膜的2D-PMUT...
关键词：高频压电微机械超声换能器阵列(PMUT) ScAlN薄膜 有限元仿真 器件制备 非侵入式血管成像 
低功耗检测CO_(2)的MEMS红外光源结构设计与仿真
《红外技术》2024年第8期858-863,共6页滕雪松 禹胜林 魏志杰 房村 熊思娴 王梦婷 
传统的二氧化碳传感器存在着体积大、功耗高等问题,近年来随着半导体技术和材料的发展,MEMS技术逐渐成为传感器的研究重点。研究并设计了一种适用于二氧化碳传感器的微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)红外光源芯片结构...
关键词：微机械电子系统 红外光源 低功耗 稳固结构 
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