朴林华

作品数：66被引量：88H指数：5
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供职机构：北京信息科技大学更多>>
发文主题：微机械陀螺气流式抗振动角速度传感器更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电子电信电气工程机械工程更多>>
发文期刊：《压电与声光》《北京信息科技大学学报（自然科学版）》《微纳电子技术》《传感技术学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金北京市重点实验室开放基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”北京市自然科学基金更多>>
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基于热传导的高鲁棒性温压一体柔性传感器敏感机理的研究
《压电与声光》2025年第1期98-103,107,共7页张永豪 朴林华 孙嘉浩 
国家自然科学基金资助项目(61771060);北京市教育委员会科研计划项目资助(KZ20231123221);北京市新世纪百千万人才工程培养资助项目(2019A20);现代测控技术教育部重点实验室资助(2024202101);北京信息科技大学北京市传感器重点实验室资助(2024202108)。
该文提出了一种基于热传导的高鲁棒性温压一体柔性传感器结构,并研究了其敏感机理。通过COMSOL建立三维模型结构,计算了敏感结构内的温度场。计算结果表明,基于热传导的高鲁棒性温压一体柔性传感器的输入压强与输出电压成反比例关系,当...
关键词：温压一体柔性传感器 微机械 有限元分析 高鲁棒性 敏感机理 
热振子式Z轴MEMS角速度陀螺敏感机理的研究
《传感技术学报》2024年第2期189-194,共6页朴林华 佟嘉程 李备 张严 
国家自然科学基金资助项目(61771060);北京市教育委员会科研计划项目资助(KZ20231123221);北京市新世纪百千万人才工程培养资助项目(2019A20);北京市重点实验室开放课题资助项目(2024202109);北京信息科技大学促进高校分类发展项目(20240416);北京信息科技大学北京市传感器重点实验室资助(2024202108);北京信息科技大学学科与研究生教育校内项目(20240403);现代测控技术教育部重点实验室资助(2023202101)。
揭示了一种热振子式Z轴MEMS角速度陀螺的敏感机理。在给出工作原理、热振子的振动模态和陀螺效应的基础上,对敏感结构内的温度场进行了计算。结果表明:(1)开机1.8 s后在敏感结构内形成一个稳定的温度场。(2)热振子在Y方向建立驱动模态,...
关键词：陀螺 敏感机理 陀螺效应 数学模型 微机械 热振子 
基于双向热膨胀流的MEMS陀螺敏感机理分析
《压电与声光》2024年第1期83-88,共6页马炫霖 朴林华 佟嘉程 刘珺宇 
国家自然科学基金资助项目(61771060);北京市教育委员会科研计划基金资助项目(23JD0003);北京市新世纪百千万人才工程培养基金资助项目(2019A20);北京市重点实验室开放课题资助项目(2023202109);北京信息科技大学促进高校分类发展项目(20230416);现代测控技术教育部重点实验室资助项目(2023202101);北京信息科技大学北京市传感器重点实验室资助项目(2023202108);北京信息科技大学学科与研究生教育校内基金资助项目(20230403)。
提出一种新型的基于双向热膨胀流的微机电系统(MEMS)陀螺的基本结构并揭示了其敏感机理,采用有限元方法及利用COMSOL建立三维模型,对双向热膨胀流陀螺敏感元件的温度场进行了计算。结果表明,基于双向热膨胀流的陀螺具有陀螺效应,当输入...
关键词：热膨胀流陀螺 敏感机理 有限元分析 温度场 陀螺效应 
基于无掩膜光刻法的纸基微流控芯片制备与验证研究被引量：2
《分析测试学报》2023年第9期1163-1167,共5页张严 朴林华 佟嘉程 马炫霖 刘珺宇 
国家自然科学基金资助项目(61771060);北京市新世纪百千万人才工程培养资助项目(2019A20);北京市重点实验室开放课题资助项目(2023202109);北京信息科技大学促进高校分类发展项目(20230416);北京信息科技大学北京市传感器重点实验室资助(2023202108)。
为了开发新的纸芯片制备技术制作高精度的纸基微流控芯片,该文提出了一种基于无掩膜光刻技术的新制备方法。以疏水图案的表面接触角和液体在微流控通道内的流动情况为评价标准,研究了曝光、显影等关键工艺对疏水区域疏水强度以及液体流...
关键词：无掩膜光刻 纸基微流控 微流控芯片 亚硝酸盐检测 
振膜薄壁结构的准连续脉冲激光焊接参数研究
《北京信息科技大学学报（自然科学版）》2023年第4期86-90,共5页王伟民 程进 邹小平 朴林华 丁超 
北京市自然科学基金资助项目(4212036)。
采用准连续脉冲激光焊接技术,以叠焊方式,对法布里-珀罗腔光纤声传感器的膜片、外环及内环三者进行激光焊接固定。以单因素试验方法研究了峰值功率、脉冲宽度、离焦量等参数对焊缝熔深以及熔宽的影响规律。设计正交试验,研究上述三个参...
关键词：准连续脉冲激光焊接 焊接参数 单因素试验 正交试验 
热振子式双轴MEMS角速度陀螺敏感机理的研究
《压电与声光》2023年第3期477-483,488,共8页朴林华 张严 佟嘉程 李备 
国家自然科学基金资助项目(61771060);北京市新世纪百千万人才工程培养资助项目(2019A20);北京市自然科学基金&北京市教育委员会联合资助项目(23JD0003);北京市重点实验室开放课题资助项目(2023202209);北京信息科技大学学科与研究生教育校内项目(202305);北京信息科技大学北京市传感器重点实验室资助(202312);现代测控技术教育部重点实验室资助(20232023D)。
该文给出了一种热振子式双轴微机电系统(MEMS)角速度陀螺的敏感机理。在给出双轴敏感原理、热振子的振动模态和陀螺效应的基础上,对敏感结构内的温度场进行了计算。结果表明,开机1.8 s后在敏感结构内形成了一个稳定的温度场;当有角速度...
关键词：热振子 微机械 陀螺效应 双轴 交叉耦合 敏感机理 数学模型 
单轴MEMS热膨胀流陀螺敏感机理三维有限元分析被引量：2
《压电与声光》2023年第2期195-201,208,共8页朴林华 李备 佟嘉程 张严 
国家自然科学基金资助项目(61771060);北京市新世纪百千万人才工程培养资助项目(2019A20);北京市自然科学基金重点项目(KZ201511232034);北京市重点实验室开放课题资助项目(2021202209);北京信息科技大学学科与研究生教育校内项目(202205D);现代测控技术教育部重点实验室资助(20222023D);北京信息科技大学北京市传感器重点实验室资助(202212)。
该文提出了一种单轴微机电系统(MEMS)热膨胀流陀螺的基本结构,并揭示了其敏感机理。通过有限元法,利用COMSOL Multiphysics建立了陀螺的三维模型,在有无角速度时对陀螺敏感元件的温度场和等温线变化情况进行计算。结果表明,单轴MEMS热...
关键词：热膨胀流陀螺仪 微机电系统(MEMS) COMSOL 有限元分析 三维模型 
高灵敏度热膨胀陀螺敏感机理研究被引量：3
《压电与声光》2023年第2期202-208,共7页佟嘉程 朴林华 李备 张严 
国家自然科学基金资助项目(61771060);北京市新世纪百千万人才工程培养基金资助项目(2019A20);北京市自然科学基金重点资助项目(KZ201511232034);北京市重点实验室开放课题基金资助项目(2021202209);北京信息科技大学学科与研究生教育校内基金资助项目(202205D);现代测控技术教育部重点实验室基金资助项目(20222023D);北京信息科技大学北京市传感器重点实验室基金资助项目(202212)。
该文提出了一种高灵敏度的热膨胀陀螺,并对其敏感机理进行了研究。通过COMSOL创建了该结构的二维模型,并对其进行了有限元分析。结果表明,输入功率为5 mW,输入角速度范围为-1000~1000(°)/s时,提出的热膨胀陀螺温度灵敏度为2.12 mK·[(...
关键词：热膨胀陀螺 微机械 单轴 敏感机理 数学模型 
动热源摆式单轴MEMS热加速度计敏感机理的研究被引量：1
《压电与声光》2023年第1期105-111,共7页朴林华 佟嘉程 李备 张严 
国家自然科学基金资助项目(61771060);北京市新世纪百千万人才工程培养资助项目(2019A20);北京市自然科学基金重点项目(KZ201511232034);北京市重点实验室开放课题资助项目(2021202209);北京信息科技大学学科与研究生教育校内项目(202205D);现代测控技术教育部重点实验室资助(20222023D);北京信息科技大学北京市传感器重点实验室资助(202212)。
该文揭示了一种动热源摆式单轴微机电系统(MEMS)热加速度计的敏感机理。在给出敏感结构原理的基础上,通过建立二维物理研究模型、划分网格、加载加速度等方法对敏感结构内的温度场进行了计算。结果表明,开机1.8 s后在敏感结构内形成了...
关键词：热气体加速度计 微机械 动热源 单轴 敏感机理 数学模型 
单轴MEMS热膨胀流陀螺灵敏度影响因素的探究
《电子元件与材料》2023年第1期69-75,共7页朴林华 李备 佟嘉程 张严 
国家自然科学基金(61771060);北京市新世纪百千万人才工程培养资助项目(2019A20);北京市自然科学基金重点项目(KZ201511232034);北京市重点实验室开放课题资助项目(2021202209);北京信息科技大学学科与研究生教育校内项目(202205D);北京信息科技大学北京市传感器重点实验室资助(202212);现代测控技术教育部重点实验室资助(20222023D)。
探究了腔室形状、工作气体参数及驱动信号的占空比、功率对单轴MEMS热膨胀流陀螺灵敏度的影响,通过设置最佳参数对陀螺性能进行优化。通过COMSOL软件建立了陀螺的三维模型,计算了敏感元件的温度场和等温线的变化情况。优化后的计算结果...
关键词：热膨胀流陀螺 MEMS COMSOL 灵敏度 非线性度 
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