一种微机械大量程高电压传感器的设计  

作　　者：张国帅 

机构地区：[1]衢州职业技术学院,浙江衢州324000

出　　处：《科技视界》2024年第35期80-83,共4页Science & Technology Vision

基　　金：衢州市指导性科技攻关项目(ZD2022176)。

摘　　要：传统光学电压传感器因具有灵敏度高、响应范围大等特点备受学者关注,但其尺寸往往受制于光学晶体大小限制,难以小型化。文中建立了电场-力-挠度传感数学模型,并通过有限元仿真软件设计了基于MEMS微机械加工技术的F-P传感单元,传感单元尺寸为2.8 cm,在30 kV电场下的应变达到微米级,并具有远高于工频的一阶固有频率,实现了1~22 kV的电压测量。

关 键 词：MEMS F-P腔 电压测量 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]