微机械系统

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电-热-流耦合传热机理及流动不稳定性分析
《中国科技成果》2024年第21期52-53,共2页无 易红亮 罗康 王维 吴健 谈和平 高雪林 
国家重点研发计划课题,国家自然科学基金重点项目、优秀青年科学基金项目(海外)、面上项目。
电流体传热作为传热学、电磁学和流体力学的基础交叉方向,主要研究热、电、流动等多物理场多组分之间的耦合作用机理,因其稳定性和可靠性等独特优势(无需机械运动部件、低噪声、快速响应等),在航天器热管理、微流控芯片、微机械系统以...
关键词：非线性不稳定性 电流体 微机械系统 耗散结构 临界电压 微流控芯片 液体流动 传热机理 
基于压电式微机械超声换能器阵列的无线能量传输设计
《传感技术学报》2023年第10期1515-1521,共7页荣智聪 宁远 张孟伦 
国家自然科学基金项目(62001322)。
利用氮化铝薄膜压电微机械换能器(PMUT)的生物兼容和CMOS电路兼容特性,提出了一种基于上述换能器阵列的声学无线能量传输方法。为了得到最佳的输出性能,对PMUT的结构进行了优化设计,采用派瑞林封装保护PMUT的空腔和表面结构,分析了PMUT...
关键词：微机械系统 压电式微机械换能器 无线能量传输 氮化铝 
王立鼎:用感恩心书写科研人生
《中关村》2023年第4期52-55,共4页沈黎明 
60余年来,王立鼎一直怀着一颗感恩之心,一份爱国之情,奋战在科研一线,取得了令人瞩目的成就。他是我国超精密齿轮研制专家,研制出的1级精度齿轮,为齿轮精度之冠,达到国际领先水平,有“精密齿轮王”的美誉;他临危受命,投入国家激光光盘...
关键词：微机械系统 齿轮精度 科研一线 感恩心 激光光盘 感恩之心 爱国之情 
“精密齿轮王”王立鼎:用感恩心爱国情书写科研人生
《老人世界》2023年第2期4-6,共3页沈黎明 
他是我国超精密齿轮研制专家,研制出的1级精度齿轮为齿轮精度之冠,达到国际领先水平,有“精密齿轮王”的美誉;他临危受命,投入国家激光光盘核心技术攻关中,研发出了中国第一台光盘伺服槽及预制格式刻划机;他追赶世界微机械系统发展步伐...
关键词：微机械系统 齿轮精度 感恩心 激光光盘 爱国情 核心技术 
“精密齿轮王”王立鼎
《金秋》2022年第21期15-17,共3页沈黎明 
他是我国超精密齿轮研制专家,研制出的1级精度齿轮,为齿轮精度之冠,达到国际领先水平,有"精密齿轮王"的美誉;他临危受命,投入国家激光光盘核心技术攻关中,研发出中国第一台光盘伺服槽及预制格式刻划机;他追赶世界微机械系统发展步伐,创...
关键词：中国科学院院士 微机械系统 齿轮精度 激光光盘 大连理工大学 国际领先水平 核心技术 
用感恩之心爱国之情书写科研人生——记“精密齿轮王”王立鼎
《中华魂》2022年第10期54-57,共4页沈黎明 
他是我国超精密齿轮研制专家,研制出的1级精度齿轮,为齿轮精度之冠,达到国际领先水平,有“精密齿轮王”的美誉;他临危受命,投入国家激光光盘核心技术攻关中,研发出中国第一台光盘伺服槽及预制格式刻划机;他追赶世界微机械系统发展步伐,...
关键词：微机械系统 齿轮精度 激光光盘 爱国之情 感恩之心 核心技术 
“精密齿轮王”王立鼎:用感恩心爱国情书写科研人生
《当代老年》2022年第9期22-23,共2页沈黎明 
他是我国超精密齿轮研制专家,研制出的1级精度齿轮,为齿轮精度之冠,有“精密齿轮王”的美誉;他临危受命,投入国家激光光盘核心技术攻关中,研发出中国第一台光盘伺服槽及预制格式刻划机;他追赶世界微机械系统发展步伐,创建我国第一个微...
关键词：中国科学院院士 微机械系统 激光光盘 齿轮精度 感恩心 大连理工大学 爱国情 核心技术 
卡尔曼滤波算法在MEMS热式风速风向传感器中的应用被引量：8
《传感技术学报》2021年第2期183-188,共6页赵天 田润 易真翔 秦明 
国家重点研发计划项目(2018YFF01010600)。
针对MEMS热式风速风向传感器在实际使用过程中因噪声问题导致输出不稳定的现象,本文首次采用了卡尔曼(Kalman)滤波算法对本征白噪声进行滤波处理,从而优化传感器的输出性能。本文分别通过理论分析和仿真模拟证明了Kalman滤波算法的可行...
关键词：微机械系统(MEMS) 热式风速风向传感器 单片机控制 卡尔曼滤波算法 
一种增大质量块的三轴MEMS加速度计的设计被引量：1
《电子产品世界》2020年第5期59-62,共4页冯堃 张国俊 王姝娅 戴丽萍 钟志亲 
介绍了一种增大质量块设计的三轴MEMS加速度计。该加速度计基于绝缘体上硅(SOI)硅片,采用双面光刻、干法刻蚀的工艺,利用了部分SOI硅片的底层硅部分来增大加速度计的质量块,设计了基于单一米字形质量块的三轴MEMS电容式微加速度计。根...
关键词：微机械系统 三微加速度计 高灵敏度 绝缘体上硅 
高过载MEMS环形陀螺制造与测试被引量：3
《仪表技术与传感器》2020年第3期9-14,共6页张英杰 康强 曹慧亮 石云波 刘俊 
国家自然科学基金国家重大科研仪器研制项目(51727808);国家自然科学基金资助项目(51705477);山西省回国留学人员科研资助项目(2016-083);中北大学电子测试技术重点实验室开放基金(ZDSYSJ2015004)。
提出了一种新型的抗高过载环形振动式陀螺,分析了其工作原理和振动特性。在ANSYS有限元分析软件中建立了该环形陀螺结构的模型,进行了振动特性分析,仿真分析结果显示该环形陀螺工作模态与干扰模态最小频差Δf 2=248 Hz,驱动和敏感模态...
关键词：高过载 微机械系统 环形 陀螺 有限元分析 测试 
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