微机械开关

作品数：18被引量：34H指数：3
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微机械开关传感器的集成电路应用研究
《船电技术》2025年第1期29-34,共6页韩科 刘雪飞 李奕龙 李浩楠 
基于微机械开关结构的传感器,作为微机械加工技术与传统电化学传感器技术相结合的产物,已经展现出其在新一代传感器技术中的独特优势。本文对各类微机械开关传感器进行了综合测试,其目的是为综合比较不同微型传感器的性能及优势,为日后...
关键词：微机械开关 传感器 加工 
一种X波段三叉H型低电压RF MEMS开关设计
《真空科学与技术学报》2023年第9期812-818,共7页南敬昌 高飞 李德润 翟雷应 李朝启 刘世泽 
国家自然科学基金项目(61971210)。
针对射频电路系统所需要的低电压,高隔离度,低插入损耗的应用需求,通过对开关正对面积对驱动电压产生的影响进行探究,设计了一款应用于X波段三叉H型的RF MEMS开关。开关具有六条悬臂梁作为支撑,通过增大上极板面积来降低开关的开启电压...
关键词：射频微机械开关 ANSOFT HFSS COMSOL 
基于微机械开关结构的电化学传感器测试分析研究被引量：4
《粘接》2021年第4期47-51,共5页郑宇 方岚 李苏苏 朱震星 
基于微机械开关结构的电化学传感器是当前微机械加工技术结合传统电化学传感器技术创立的新一代传感器技术,本文研究该交叉学科需求下的常见微机械开关传感器的性能测试。通过对常见的微机械开关加工技术进行分析,进而分析了Clark氧传...
关键词：微机械开关 电化学 传感器 集成电路 测试 
宁波材料所3D微打印技术应用取得新进展
《中国材料科技与设备》2015年第3期69-69,共1页
中国科学院宁波材料技术与工程研究所微纳功能材料与器件课题组在三维微纳结构制造系统的基础上，通过多材料微打印技术制造了静电控制的三维微机械开关（该技术已申请发明专利：2014106929420）。研究人员首先通过直写技术制作了由成...
关键词：打印技术 功能材料 宁波 应用 3D 制造系统 中国科学院 微机械开关 
一种MEMS复合牺牲层工艺的研究被引量：1
《电子工艺技术》2009年第3期125-127,136,共4页王超 张永华 郭兴龙 欧阳炜霞 赖宗声 
国家自然科学基金项目(项目编号:60676047);上海应用材料研究与发展基金项目资助(项目编号:06SA11);上海重点学科建设项目资助(项目编号:B411)
以MEMS滤波器中的MEMS开关牺牲层的工艺为例,通过同时运用聚酰亚胺和正胶作为牺牲层材料的方法,避免了牺牲层单独使用聚酰亚胺做材料难于去除,或单独使用光刻胶做材料,叠层旋涂光刻胶时会出现龟裂的缺点。改善了牺牲层固化和刻蚀的效果...
关键词：射频微机械开关 牺牲层 聚酰亚胺 正胶 刻蚀 
基于单晶硅梁的静电RF MEMS开关被引量：3
《电子工业专用设备》2007年第1期15-17,61,共4页刘茂哲 景玉鹏 李全宝 焦斌斌 黄钦文 李超波 欧毅 陈大鹏 叶甜春 
国家"863"计划资助项目(批准号:2005AA404210);中国科学院微电子所所长基金支持项目
RFMEMS开关是低功耗、低损耗高频通讯电路和系统的关键部件,静电驱动RFMEMS开关因具有零直流功耗、开关时间短、结构简单、易集成的优点而成为研究热点,但是驱动电压高、薄膜应力变形严重、寿命短等问题制约了其发展,提出了一种基于单...
关键词：射频微机械开关 单晶硅梁 静电驱动 
RF MEMS开关在牺牲层工艺上的改进被引量：1
《传感器与微系统》2006年第7期40-42,共3页蔡描 郭兴龙 刘蕾 陈瑾瑾 赖宗声 
上海市科委AM基金资助项目(AM0301)
通过对传统的RF MEMS开关采取在信号线上电镀桥墩、改进桥梁的形状以及在桥背面设计接触点的新颖方法，使得RF MEMS开关的下拉电压减小、开关时间缩短和可靠性提高。在工艺上，特别采用了对聚酰亚胺牺牲层进行全刻蚀和半刻蚀的改进加工...
关键词：射频微机械开关 聚酰亚胺 全刻蚀 半刻蚀 
专　利
《华通技术》2006年第2期44-46,共3页
关键词：专利名称 电接触材料 微机械开关 剩余电流动作 动作机构 生产工艺 制备方法 绝缘材料 脱扣器 断电器 
MEMS
《半导体信息》2003年第5期54-55,共2页
00585 Ultra Broadband MEMS Switch on Silicon and GaAs Substrates/R. Chan, R. Lesnick, D. Caruth et al (University of Illinois, USA)//GaAs MANTECH Conference. 2003.—25 报导了高可靠dc～110 GHz低压毫米波GaAs与Si衬底MEM...
关键词：超宽带 开关式 隔离度 插损 Illinois MEMS 射频微机械开关 设计方法 实体建模 新型电源 
MEMS开关及其应用
《电子元器件应用》2003年第8期17-19,共3页翁寿松 
介绍MEMS开关的分类、特性、制造、可靠性和应用。
关键词：MEMS开关 微电子机械系统 微机械开关 射频微机械开关 应用 
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