射频微机械开关

作品数：9被引量：12H指数：2
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相关领域：电子电信电气工程更多>>
相关作者：黄庆安韩磊王立峰宋竞郑惟彬更多>>
相关机构：东南大学瑞声科技(南京)有限公司华东师范大学中国电子科技集团公司第五十五研究所更多>>
相关期刊：《微纳电子技术》《电子学报》《电子元器件应用》《半导体信息》更多>>
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一种X波段三叉H型低电压RF MEMS开关设计
《真空科学与技术学报》2023年第9期812-818,共7页南敬昌 高飞 李德润 翟雷应 李朝启 刘世泽 
国家自然科学基金项目(61971210)。
针对射频电路系统所需要的低电压,高隔离度,低插入损耗的应用需求,通过对开关正对面积对驱动电压产生的影响进行探究,设计了一款应用于X波段三叉H型的RF MEMS开关。开关具有六条悬臂梁作为支撑,通过增大上极板面积来降低开关的开启电压...
关键词：射频微机械开关 ANSOFT HFSS COMSOL 
一种MEMS复合牺牲层工艺的研究被引量：1
《电子工艺技术》2009年第3期125-127,136,共4页王超 张永华 郭兴龙 欧阳炜霞 赖宗声 
国家自然科学基金项目(项目编号:60676047);上海应用材料研究与发展基金项目资助(项目编号:06SA11);上海重点学科建设项目资助(项目编号:B411)
以MEMS滤波器中的MEMS开关牺牲层的工艺为例,通过同时运用聚酰亚胺和正胶作为牺牲层材料的方法,避免了牺牲层单独使用聚酰亚胺做材料难于去除,或单独使用光刻胶做材料,叠层旋涂光刻胶时会出现龟裂的缺点。改善了牺牲层固化和刻蚀的效果...
关键词：射频微机械开关 牺牲层 聚酰亚胺 正胶 刻蚀 
基于单晶硅梁的静电RF MEMS开关被引量：3
《电子工业专用设备》2007年第1期15-17,61,共4页刘茂哲 景玉鹏 李全宝 焦斌斌 黄钦文 李超波 欧毅 陈大鹏 叶甜春 
国家"863"计划资助项目(批准号:2005AA404210);中国科学院微电子所所长基金支持项目
RFMEMS开关是低功耗、低损耗高频通讯电路和系统的关键部件,静电驱动RFMEMS开关因具有零直流功耗、开关时间短、结构简单、易集成的优点而成为研究热点,但是驱动电压高、薄膜应力变形严重、寿命短等问题制约了其发展,提出了一种基于单...
关键词：射频微机械开关 单晶硅梁 静电驱动 
RF MEMS开关在牺牲层工艺上的改进被引量：1
《传感器与微系统》2006年第7期40-42,共3页蔡描 郭兴龙 刘蕾 陈瑾瑾 赖宗声 
上海市科委AM基金资助项目(AM0301)
通过对传统的RF MEMS开关采取在信号线上电镀桥墩、改进桥梁的形状以及在桥背面设计接触点的新颖方法，使得RF MEMS开关的下拉电压减小、开关时间缩短和可靠性提高。在工艺上，特别采用了对聚酰亚胺牺牲层进行全刻蚀和半刻蚀的改进加工...
关键词：射频微机械开关 聚酰亚胺 全刻蚀 半刻蚀 
MEMS
《半导体信息》2003年第5期54-55,共2页
00585 Ultra Broadband MEMS Switch on Silicon and GaAs Substrates/R. Chan, R. Lesnick, D. Caruth et al (University of Illinois, USA)//GaAs MANTECH Conference. 2003.—25 报导了高可靠dc～110 GHz低压毫米波GaAs与Si衬底MEM...
关键词：超宽带 开关式 隔离度 插损 Illinois MEMS 射频微机械开关 设计方法 实体建模 新型电源 
MEMS开关及其应用
《电子元器件应用》2003年第8期17-19,共3页翁寿松 
介绍MEMS开关的分类、特性、制造、可靠性和应用。
关键词：MEMS开关 微电子机械系统 微机械开关 射频微机械开关 应用 
基于砷化镓衬底的RF MEMS膜开关被引量：2
《微纳电子技术》2003年第7期395-396,403,共3页郑惟彬 黄庆安 李拂晓 廖小平 
射频微机械开关由于其优越的高频特性在微波和毫米波电路中表现出巨大的应用前景。但是目前的微机械开关都是制作在硅基衬底上的 ,难于与后面的高频砷化镓处理电路相集成。本文介绍了基于砷化镓衬底的RFMEMS膜开关 ,着重介绍了开关的工...
关键词：射频微机械开关 砷化镓 微机电系统 工作原理 MEMS膜开关 
射频微机械CPW开关的研究被引量：2
《电子学报》2003年第5期671-673,共3页张正元 温志渝 徐世六 张正番 黄尚廉 
重庆市科技攻关项目 (No 2 0 0 1 70 36)
本文采用聚酰亚胺牺牲层技术和二氧化硅介质隔离技术 ,成功地在绝缘多晶硅衬底上研制出一种射频微机械CPW开关 .初步测试结果如下 :开态电容为 0 2 1pF ,关态电容为 6 1pF ,致动电压为 2 2V ,关态下的隔离度为35dB ,开态下插入损耗为 ...
关键词：射频微机械开关 CPw开关 金属膜 绝缘层 牺牲层 
射频微机械开关的计算机辅助设计被引量：3
《Journal of Semiconductors》2002年第9期947-951,共5页魏华征 郭方敏 赖宗声 朱守正 朱自强 李小卫 程知群 孙晓玮 
国家基础研究发展基金 (973 ) (No.G19990 3 3 10 -5 );国家杰出青年基金 (批准号 :6992 5 40 9);上海市 AM基金 (No.0 0 0 4)资助项目~~
应用计算机辅助设计 (CAD)方法模拟设计一种射频微机械 (RF- MEMS)开关 .用 Agilent ADS软件模拟分析了共面波导的传输线损耗和 MEMS开关的等效电路模型 ,并应用 ANSYS软件模拟开关的驱动电压 ,得到了35 GHz工作频率的并联电容式 MEMS...
关键词：射频微机械开关 计算机辅助设计 并联电容式开关 微电子机械系统 MEMS 共面波导 ADS软件 ANSYS软件 
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