欧阳炜霞

作品数：6被引量：10H指数：2
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供职机构：华东师范大学更多>>
发文主题：MEMS可调滤波器MEMS开关牺牲层触发器更多>>
发文领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《传感技术学报》《传感器与微系统》《微细加工技术》《微纳电子技术》更多>>
所获基金：国家自然科学基金“上海－应用材料研究与发展”基金上海市教育委员会重点学科基金国家高技术研究发展计划更多>>
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一种MEMS复合牺牲层工艺的研究被引量：1
《电子工艺技术》2009年第3期125-127,136,共4页王超 张永华 郭兴龙 欧阳炜霞 赖宗声 
国家自然科学基金项目(项目编号:60676047);上海应用材料研究与发展基金项目资助(项目编号:06SA11);上海重点学科建设项目资助(项目编号:B411)
以MEMS滤波器中的MEMS开关牺牲层的工艺为例,通过同时运用聚酰亚胺和正胶作为牺牲层材料的方法,避免了牺牲层单独使用聚酰亚胺做材料难于去除,或单独使用光刻胶做材料,叠层旋涂光刻胶时会出现龟裂的缺点。改善了牺牲层固化和刻蚀的效果...
关键词：射频微机械开关 牺牲层 聚酰亚胺 正胶 刻蚀 
无线通讯用硅基微小天线
《中国科学（E辑）》2008年第8期1348-1352,共5页郭兴龙 金妍 刘蕾 欧阳炜霞 赖宗声 
国家自然科学基金(60676047);上海应用材料研究与发展基金(06SA11)资助项目
采用微电子加工工艺在高电阻率硅片上设计和制备了微小天线,并对其进行了仿真和测试,模拟和测试结果比较吻合,测试得到天线为水平和垂直双向辐射,天线的增益约为2.5dBi,谐振频率约为3GHz,能够满足通讯系统中天线系统的要求,并且文章对...
关键词：微小天线 高电阻率硅片 IC工艺 
MEMS集成滤波器技术被引量：4
《传感器与微系统》2008年第7期5-8,共4页张永华 欧阳炜霞 刘蕾 郭兴龙 赖宗声 王硕 
国家自然科学基金资助项目(60676047);上海市应用材料研究发展基金资助项目(06SA11)
滤波器是频率转换系统(如,调谐电路、接收器)的基本构成模块。借助于MEMS技术实现的滤波器不仅带来插入损耗、功耗、线性等性能的改善,也有利于将整个通信前端集成到单一芯片上。综述了MEMS可调滤波器的研究进展。与单一利用MEMS电容的...
关键词：微电子机械系统 开关 变容器 可调滤波器 可重构滤波器 
基于共平面波导的可调低通滤波器的设计和制作
《传感技术学报》2008年第6期1020-1024,共5页刘蕾 郭兴龙 欧阳炜霞 赖宗声 
国家自然科学基金资助(60676047);上海-应用材料研究与发展基金项目资助(06SA11)
介绍了一种使用多触点MEMS开关实现的新型可调微波MEMS低通滤波器,应用MEMS制作工艺在石英衬底上实现滤波器结构.滤波器基于慢波共平面波导周期性结构,具有尺寸小、插损低、可与单片微波集成电路工艺兼容等优点。滤波器截止频率的大小...
关键词：微机械系统(MEMS) 可调滤波器 共平面波导(CPW)结构 多触点MEMS开关 
基于MEMS技术的微波滤波器研究进展被引量：4
《微纳电子技术》2008年第4期214-218,234,共6页欧阳炜霞 张永华 王超 郭兴龙 赖宗声 
国家自然科学基金(60676047);上海-应用材料研究发展基金(06SA11)
基于MEMS技术的滤波器是现行RF结构中一个关键的MEMS器件。与传统的采用金属矩形或圆柱波导以及半导体元件制作的滤波器相比,MEMS滤波器具有低损耗、高隔离度、线性好、体积小、易于集成等优点。对利用MEMS技术制作的滤波器做了分类总结...
关键词：MEMS技术 硅体微加工 UGA技术 微波滤波器 可调滤波器 
基于UV-LIGA技术的电磁型射频MEMS开关的集成制作被引量：1
《微细加工技术》2007年第5期56-60,共5页张永华 欧阳炜霞 汪红 丁桂甫 蔡炳初 赖宗声 
国家863计划资助项目(2003AA404140);信息产业部电科院预研资助项目(41308050116);国家自然科学基金资助项目(60676047);上海-应用材料研究发展基金资助项目(06SA11);上海交通大学优秀博士学位论文基金资助项目
电磁型MEMS开关比静电式的结构复杂,一体化集成加工困难。对于新型电磁驱动双稳态RF MEMS开关进行了材料的选择,并对一些主要材料的电镀和悬空结构的制备与释放进行了工艺优化研究。经过工艺整合,实现了电磁型RF MEMS开关的多种非硅材...
关键词：微机电系统 射频开关 双稳态 电磁驱动 集成加工 
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