牺牲层

作品数：145被引量：291H指数：8
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基于lift-off工艺的RF MEMS开关触点平坦化方法
《微纳电子技术》2025年第2期116-121,共6页杨彪 诸葛明华 吴国才 容炎森 
国家自然科学基金青年基金(62105082);广东省基础与应用研究基金(2023A1515011257);深圳市科技计划资助项目(20231129092735001)。
采用表面微加工工艺制备射频微机电系统(RF MEMS)开关,开关触点的平坦化是一项关键工艺,直接影响RF MEMS开关的机械和电学性能。设计静电驱动接触式的RF MEMS开关结构,然后通过在触点上进行套刻制备光刻胶岛、蒸镀制备铝牺牲层,利用lift...
关键词：射频微机电系统(RF MEMS)开关 开关触点 牺牲层 平坦化 lift-off工艺 
变厚度复合材料C型梁胶接固化成型技术改进及工艺优化被引量：1
《粘接》2024年第11期61-64,共4页曹涛 周盼 房晓斌 董嘉蕾 芦彬 
复合材料C型梁是飞机机翼结构中的主承力零件,研究C型梁的高质量成型对于飞机制造具有重要意义。本文介绍了一种变厚度复合材料C型梁的研制成型方法,对C型梁的结构特点和成型难点进行了分析,具体介绍了零件成型的工艺方案和零件成型的...
关键词：复合材料 C型梁 牺牲层 压力垫 
使用牺牲层优化PDMS微流控芯片打孔工艺
《传感器与微系统》2024年第7期118-121,共4页闫婷婷 李慧 孟晓帅 魏春阳 李姗姗 
国家自然科学基金资助项目(51728502);天津市特殊支持青年拔尖人才(第三批180191);河北省重点研发计划资助项目(19271707D);河北省自然科学基金资助项目(E2020202101,F2021202001);河北省留学回国人员资助项目(C20200314,C20210337)。
聚二甲基硅氧烷(PDMS)在微流控芯片技术中有非常广泛的应用,PDMS弹性体打孔是芯片加工中重要的工作环节,打孔质量直接影响到样品的导入导出和产物收集等,而孔的质量受到芯片厚度和打孔器规格等因素的影响。一个标准的孔应当满足以下几...
关键词：牺牲层 正交实验 参数优化 微加工工艺 
采用PSG牺牲层的空腔结构平坦化工艺
《微纳电子技术》2024年第5期141-148,共8页冯志博 刘启迪 倪烨 董晟园 张智欣 于海洋 孟腾飞 
对基于微机电系统(MEMS)采用磷硅玻璃(PSG)牺牲层的空腔结构平坦化工艺进行了研究。探讨了抛光液体积流量、抛光压力、抛光液种类对牺牲层抛光速率、均匀性和硅槽台阶高度的影响,并对膜层表面质量进行分析和表征。结果表明:二氧化硅类...
关键词：微机电系统(MEMS) 空腔结构 牺牲层 平坦化 台阶高度差 表面粗糙度 
构筑晶格匹配牺牲层:制备高质量自支撑薄膜材料的有效途径
《科学通报》2024年第13期1666-1668,共3页刘毅 姜忠义 
自支撑型薄膜材料因其脱离衬底束缚而展现出物化性质均一、便于成型组装、避免界面缺陷等优异特性,在柔性电子器件、智能传感系统、能量储存转换、化学分离等领域表现出巨大应用潜力.目前已开发出的自支撑型薄膜的制备方法包括化学刻蚀...
关键词：智能传感系统 能量储存 化学分离 柔性电子器件 化学刻蚀 晶格匹配 界面缺陷 牺牲层 
一种基于光刻胶牺牲层的RF MEMS开关制备方法
《舰船电子工程》2023年第3期209-213,共5页高旭东 史泽民 吴倩楠 李孟委 
2020年装备发展部型谱项目(编号:2006WW0011)资助。
论文针对RF MEMS开关上电极传统的牺牲层工艺存在工艺兼容性差、释放时热应力大等问题,提出了一种基于光刻胶牺牲层的MEMS开关制备方法。通过采用在氮气环境下进行固化处理的方法,解决了光刻胶作为牺牲层时容易出现的表面褶皱、破裂等问...
关键词：RF MEMS开关 上电极 牺牲层 干法释放 
多孔泡沫牺牲层的动态压溃及缓冲吸能机理研究被引量：6
《力学学报》2022年第6期1630-1640,I0003,共12页范东宇 苏彬豪 彭辉 裴晓阳 郑志军 张建勋 秦庆华 
国家自然科学基金(11972281);冲击波物理与爆轰物理重点实验室开放基金(JCKYS2019212008);航空科学基金(201941070001);陕西省自然科学基金(2020JM-034)资助项目.
本文对强动载荷下多孔泡沫牺牲层的动态压溃行为及缓冲吸能机理进行了研究.基于刚性-理想塑性-锁定(R-PP-L)及刚性-塑性硬化(R-PH)两类多孔泡沫材料本构,建立了强动载荷下多孔泡沫牺牲层动态响应的理论分析模型,分析了一维冲击波在多孔...
关键词：多孔牺牲层 VORONOI 方法 理论模型 冲击波 界面效应 动态压溃 缓冲吸能 
一种采用铜牺牲层去除负性光刻胶残胶的工艺方法
《机电工程技术》2021年第7期101-104,共4页丁飞 杨志峰 张帅 邹赫麟 
提出一种采用铜薄膜作牺牲层去除负性光刻胶残胶的方法,利用铜薄膜在湿法腐蚀过程中的侧蚀现象,将基底的平均残胶量从13.4个/mm^(2)减小到0.2个/mm^(2)。分别测试了金、铬和铜薄膜湿法腐蚀的侧蚀,实验表明铜最适合作牺牲层材料。测试了...
关键词：残胶 铜薄膜 牺牲层 湿法腐蚀 金属侧蚀 
芳纶无纺布可显著提高零部件摩擦磨损性能
《纺织科学研究》2021年第5期8-8,共1页
日前,英国无纺布制造商TFP公司的一项研究报告显示,芳纶无纺布用作复合材料表面层时,能够有效保护复合材料零部件,避免摩擦磨损。通常情况下,持续摩擦磨损对复合材料的性能会产生不利影响,并显著缩短产品的使用寿命。轻质芳纶无纺布可...
关键词：摩擦磨损 无纺布 表面光洁度 运动器械 芳纶 牺牲层 表面层 使用寿命 
紫外荧光双马树脂基复合材料的制备及性能
《材料科学与工艺》2021年第1期74-80,共7页王迎芬 潘翠红 周洪飞 孙占红 
紫外荧光树脂基复合材料可用于航空航天大型复合材料制件牺牲层的制备,减少装配中垫片的使用,并通过牺牲层的荧光显色避免切削时伤及本体铺层。采用热熔法制备了紫外荧光双马树脂及国产T700碳纤维机织物/紫外荧光双马树脂预浸料,采用热...
关键词：复合材料 双马树脂 牺牲层 热膨胀系数 紫外荧光粉 
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