微加工工艺

作品数：48被引量：87H指数：5
导出分析报告
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
相关作者：丁桂甫何亮韩丹丹焦旭芬卢乾波更多>>
相关机构：上海交通大学中国科学院清华大学武汉理工大学更多>>
相关期刊：《化学发展前沿（中英文版）》《光学精密工程》《中国机械工程》《高技术通讯》更多>>
相关基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
CFRP材料水导激光微加工工艺正交试验性能研究
《机械管理开发》2025年第3期6-8,共3页王海平 
以碳纤维增强复合材料(CFRP)材料为研究对象,开展水导激光加工参数优化分析。通过正交试验优化技术获得最佳工艺条件,分析表面质量。通过正交试验获得最优参数:水射流速度160 m/s、进给速度5 mm/s、激光功率30 W、脉冲频率40 kHz。采用...
关键词：水导激光切割 碳纤维增强复合材料 正交试验 表面质量 
使用牺牲层优化PDMS微流控芯片打孔工艺
《传感器与微系统》2024年第7期118-121,共4页闫婷婷 李慧 孟晓帅 魏春阳 李姗姗 
国家自然科学基金资助项目(51728502);天津市特殊支持青年拔尖人才(第三批180191);河北省重点研发计划资助项目(19271707D);河北省自然科学基金资助项目(E2020202101,F2021202001);河北省留学回国人员资助项目(C20200314,C20210337)。
聚二甲基硅氧烷(PDMS)在微流控芯片技术中有非常广泛的应用,PDMS弹性体打孔是芯片加工中重要的工作环节,打孔质量直接影响到样品的导入导出和产物收集等,而孔的质量受到芯片厚度和打孔器规格等因素的影响。一个标准的孔应当满足以下几...
关键词：牺牲层 正交实验 参数优化 微加工工艺 
飞秒激光刻蚀石英工艺研究被引量：2
《激光与红外》2022年第12期1768-1773,共6页何魁魁 周广福 戴玉堂 
国家自然科学基金项目(No.51975442)资助。
为了探究石英晶体飞秒激光刻蚀工艺,本文使用波长为1030 nm、重复频率20 kHz、脉冲宽度290 fs的飞秒激光系统研究了飞秒激光参数、定焦点与变焦点扫描以及飞秒激光裂片技术对刻蚀石英材料的影响。首先研究了飞秒激光扫描次数、扫描速度...
关键词：飞秒激光 微加工工艺 石英晶片 飞秒激光裂片 变焦点扫描 
纳芯微推出全新表压压力传感器NSPGS5系列
《中国集成电路》2022年第8期80-80,共1页
日前,纳芯微宣布推出一款表压压力传感器NSPGS5系列。该系列产品内部采用CMOS混合信号调理芯片对MEMS芯体的输出进行放大、校准和补偿,能将-10kPa至+10kPa的压力信号转换为可自定义输出范围(0~5V)的模拟信号以及数字I2C信号。同时,内置...
关键词：压力传感器 模拟信号 I2C 信号转换 微加工工艺 输出范围 芯体 差压 
差分迁移谱(DMS)研究进展
《现代科学仪器》2022年第1期5-11,共7页杨杰 张根伟 杨俊超 赵将 郭腾霄 杨柳 
近年来,差分迁移谱(DMS)在生化快速检测领域的应用日益广泛,随着研究的深入,在小型化、提高分辨率方面取得了较大进展,并在质谱预分离方面展现出巨大的潜力。本文针对单通道和多通道两种结构的DMS传感器,介绍了国内外最新的研究与仪器...
关键词：差分迁移谱 射频高压 非对称场离子迁移谱 MEMS微加工工艺 快速预分离 
MEMS惯性开关的原理及研究进展被引量：6
《测控技术》2021年第11期16-32,共17页任超 刘峰华 付博 康兴国 丁桂甫 杨卓青 
国家重点研发计划(2020YFB2008503);装备预研教育部联合基金(6141A02022424);国家自然科学基金项目(61974088)。
MEMS惯性开关是一种无源电子器件,集传感器与执行器为一体,具有尺寸小、制造成本低、可批量生产等多种优点,在玩具、汽车电子、物联网和军事等领域有着广泛的应用前景。由于惯性开关具有在未触发状态时待机功耗为零的特点,其在远程监控...
关键词：MEMS惯性开关 物理模型 研究进展 微加工工艺 测试方法 
发明与专利
《传感器世界》2021年第5期40-41,共2页
基于PtNi双金属的两电极集成无酶葡萄糖传感器及制备方法申请号:202110067600.X【公开号】CN112666235A【公开日】2021.04.16【分类号】G01N27/26;G01N27/327;B81C1/00;B81B7/02【申请日】2021.01.19【申请人】郑州轻工业大学【发明人...
关键词：工作电极 无酶葡萄糖传感器 双金属材料 敏感材料 微加工工艺 分类号 对电极 
硅基微加工工艺滤波器的研究进展被引量：2
《空间电子技术》2019年第5期7-14,共8页万晶 汪峰 李琛 王霄 王嘉毅 阎跃鹏 梁晓新 
硅基滤波器在毫米波频段具有高Q值、低损耗、小体积、低成本的明显优势,并且易于与集成电路集成,是解决毫米波滤波器芯片化的绝佳手段。文章首先给出了硅基微加工工艺滤波器的设计方法分类,然后着重介绍近年来国内外硅基微加工工艺滤波...
关键词：硅基片 微加工工艺 滤波器 毫米波 
塑料光纤微加工工艺及在照明装饰的应用
《科技经济导刊》2019年第20期48-48,36,共2页张露露 杨志超 程登科 
江苏大学第十七批大学生科研立项资助项目(项目编号:17 A207)
光纤照明是近些年发展起来的绿色照明技术,而侧面发光塑料光纤更是一种新型导光发光介质,具有广阔的应用前景。本文采用了光纤激光加工系统对直径为1 mm的塑料光纤侧面打孔的制备方法,利用实验和lightools软件模拟激光打孔的方法,建立...
关键词：塑料光纤 激光加工 侧面发光 lightools 
用于抗菌药物敏感实验的倍比稀释微流控芯片被引量：1
《微纳电子技术》2019年第4期279-284,302,共7页刘洋 毛海央 范文兵 杨潇楠 黄成军 王玮冰 
国家自然科学基金资助项目(61771467;61335008);中国科学院青年创新促进会资助项目(2018153)
基于微流控梯度网络理论和相关的数学模型,设计了一种新型的浓度倍比稀释微流控芯片结构,对其混合和稀释功能进行了仿真,并结合微加工工艺进行了芯片制备。初步实验结果表明,芯片两个入口处分别以3.267∶1的体积流量比注入去离子水与待...
关键词：微流控芯片 微加工工艺 倍比稀释 抗菌药物 浓度梯度 
全选清除导出
共5页<12345>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部