纳芯微推出全新表压压力传感器NSPGS5系列  

出　　处：《中国集成电路》2022年第8期80-80,共1页China lntegrated Circuit

摘　　要：日前,纳芯微宣布推出一款表压压力传感器NSPGS5系列。该系列产品内部采用CMOS混合信号调理芯片对MEMS芯体的输出进行放大、校准和补偿,能将-10kPa至+10kPa的压力信号转换为可自定义输出范围(0~5V)的模拟信号以及数字I2C信号。同时,内置的MEMS差压压力芯体是基于高灵敏度的单晶硅压阻效应并采用先进的硅-硅键合CSOI MEMS微加工工艺设计而成,MEMS芯体生命周期内精度和稳定性优于1%FS。

关 键 词：压力传感器 模拟信号 I2C 信号转换 微加工工艺 输出范围 芯体 差压 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]