微加工工艺

作品数:47被引量:86H指数:5
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相关领域:电子电信自动化与计算机技术更多>>
相关作者:丁桂甫何亮韩丹丹焦旭芬卢乾波更多>>
相关机构:上海交通大学中国科学院清华大学武汉理工大学更多>>
相关期刊:《微纳电子技术》《电子器件》《材料导报》《功能材料与器件学报》更多>>
相关基金:国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
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