静电驱动

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静电驱动微镜参数激励下的亚谐振动分析
《振动工程学报》2025年第2期242-248,共7页李徐 冯晶晶 郝淑英 胡文华 
国家自然科学基金资助项目(12072233,12072234);天津市自然科学基金资助项目(20JCYBJC00510)。
参数振动广泛存在于多物理场耦合的微机电系统中。为研究静电驱动微镜系统中存在的参数共振非线性动力学问题,以一类静电梳齿驱动微镜为例,通过七次多项式拟合梳齿电容变化并建立微镜动力学模型,研究不同因素下系统的参数共振响应变化...
关键词：非线性振动 参数共振 微镜 多尺度法 数值验证 
面向软体机器人的静电驱动软体泵
《计量与测试技术》2025年第1期100-103,共4页杨小李 暴文婧 胡慧娟 金滔 李龙 田应仲 
软体机器人和驱动器因材料的柔韧性,实现了传统刚性机器人难以完成的应用,在复杂和动态环境中的表现尤为突出。由于传统刚性泵的体积、重量和噪音限制了其机动性和柔顺性。因此,本文提出一种三电极静电驱动的软体泵,将内部封装电极的中...
关键词：软体机器人 软体泵 静电驱动 
考虑边缘效应的静电驱动MEMS振子非线性振动定性研究
《振动与冲击》2025年第1期10-19,共10页李佰洲 韩建鑫 黄仪 崔良玉 
国家自然科学基金青年科学基金项目(11702192);天津市高等学校科技发展基金重点项目(2022ZD030)。
应用非线性动力学理论定性研究了考虑边缘效应的静电驱动微机电系统(micro-electromechanical system,MEMS)振子的非线性主共振问题。首先,应用微分求积法的空间离散处理得到了系统的单自由度动力学方程;其次,应用分岔理论研究了系统的...
关键词：微机电系统(MEMS)振子非线性振动 分岔 吸合 边缘效应 
MEMS静电驱动微镜阵列的设计与工艺研究
《传感器与微系统》2024年第10期113-116,共4页胡钰玮 王俊铎 单亚蒙 钱磊 于悦 沈文江 
基于微机电系统(MEMS)工艺,设计并制作了一种应用于光通信领域的二维准静态驱动微镜阵列(MMA)。相比于梳齿驱动,平行板电容式静电微镜更易于形成高占空比的阵列排布,有利于作为光开关矩阵应用在全光交换中。通过设计弹性系数小的“竖蛇...
关键词：微机电系统 微镜阵列 平行板静电驱动 阳极键合 
科研资讯
《传感器世界》2024年第9期39-40,共2页
研究人员开发出配备“人造肌肉”的机器人腿 可灵活跳跃2024年9月9日,苏黎世联邦理工学院与马克斯·普朗克智能系统研究所合作发表了最新研究成果——受动物生物学和人体解剖学启发的人造静电驱动肌肉。人造肌肉由混合电动液压系统提供...
关键词：智能系统 静电驱动 控制装置 电动液压 机器人 动物生物学 人体解剖学 普朗克 
基于Au/In键合的静电扭转微镜的设计与工艺研究
《固体电子学研究与进展》2024年第3期252-257,共6页王俊铎 胡钰玮 吴永强 单亚蒙 钱磊 沈文江 
采用Au/In键合技术并引入凸点层设计,制备了用于光通信领域的二维平行板式静电扭转微镜阵列。相较于其他键合技术,Au/In键合实现了低温键合并与硅通孔技术相容。此外,相对于梳齿驱动,采用平行板电容的扭转微镜有助于实现更高的占空比,...
关键词：微镜 Au/In键合 平行板静电驱动 微机电系统 
光MEMS微镜芯片的有限元网格技术研究
《科技与创新》2024年第9期12-15,共4页苏钰 喻磊 周杰 陈士涛 何凯旋 
国家自然科学基金青年项目(编号:62001002);安徽省博士后基金(编号:2022A573)。
通过COMSOL Multiphysics软件对静电驱动扫描微镜的特征频率进行求解,并对其进行了稳态和频域分析。首先向扫描微镜添加静电及固体力学2个物理场,在划分网格时,分别对扫描微镜采用不分区域传统四面体网格、分区域四面体网格及分区域自...
关键词：静电驱动扫描微镜 网格划分 COMSOL Multiphysics 有限元 
三层多晶硅结构的挠曲式静电驱动MEMS微反射镜
《微纳电子技术》2023年第9期1436-1444,共9页吴嘉琦 赖丽燕 李以贵 
国家自然科学基金(62104151);上海应用技术大学引进人才基金项目(YJ2021-59)。
将悬臂梁结构与平行平板型结构相结合,研发了一种挠曲式静电驱动微电子机械系统(MEMS)微反射镜。为了实现大扭转角度、小驱动电压的设计目标,通过仿真实验进行对比分析,确定了微反射镜的相关尺寸。采用低压化学气相沉积、光刻、反应离...
关键词：微机电系统(MEMS) 微反射镜 静电驱动 悬臂梁式 平行平板型 
基于静电驱动的平行平板型微反射镜的研制
《微纳电子技术》2023年第6期924-930,共7页吴嘉琦 赖丽燕 李以贵 
国家自然科学基金(62104151);上海应用技术大学引进人才基金(YJ2021-59)。
设计了一种基于静电驱动的平行平板型微反射镜,主要由镜面、下电极、支柱和玻璃基板构成。通过有限元模拟分析得到的仿真结果表明,带孔结构的微镜模型模拟位移量是传统双横梁支撑结构微镜模型的1.5倍,确定了制备的微镜装置结构。在制备...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 微反射镜 静电驱动 平行平板型 玻璃基板 
全天时星敏感器视场选通成像系统的微开关阵列设计
《光子学报》2023年第4期74-84,共11页方亮 汪为民 王强 程欣 范真节 张辉 赵汝进 刘恩海 
国家重点研究发展计划(No.2019YFA0706001);中国科学院“西部之光”人才培养引进计划(No.YA19K008)。
针对全天时星敏感器视场选通成像系统的应用需求,设计了一种基于静电驱动的单元尺寸为4 mm、开口面积占空比为90%、响应时间为25 ms、单元数为7×7的微开关阵列。考虑到微开关阵列体硅加工工艺中材料的特性,首先确定电极宽度、支撑梁宽...
关键词：全天时星敏感器 视场选通 背景光抑制 静电驱动 微开关阵列 占空比 响应时间 
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