微反射镜

作品数：52被引量：62H指数：3
导出分析报告
相关领域：电子电信更多>>
相关作者：吕金光梁静秋秦余欣陈维友董玮更多>>
相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院吉林大学北京理工大学更多>>
相关期刊：《高技术通讯》《微细加工技术》《半导体光电》《光电子信息快报》更多>>
相关基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划吉林省科技发展计划基金北京市自然科学基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
光刻机自由照明用微反射镜阵列设计
《中国激光》2024年第22期43-50,共8页张敬巍 胡敬佩 孙梦婕 胡家豪 曾爱军 黄惠杰 
上海市集成电路科技专项支撑(220501110600)。
光源掩模联合优化是28 nm及以下节点浸没式光刻机提高光刻系统分辨率的关键技术,自由照明系统中的微反射镜阵列是确保该技术实现的核心部件。提出了一种单蛇形梁微反射镜结构,其省去了外部可动框架配置,仅在两个固定电极的驱动下即能实...
关键词：光刻机系统 自由照明系统 微反射镜阵列 单蛇形梁微反射镜 
三层多晶硅结构的挠曲式静电驱动MEMS微反射镜
《微纳电子技术》2023年第9期1436-1444,共9页吴嘉琦 赖丽燕 李以贵 
国家自然科学基金(62104151);上海应用技术大学引进人才基金项目(YJ2021-59)。
将悬臂梁结构与平行平板型结构相结合,研发了一种挠曲式静电驱动微电子机械系统(MEMS)微反射镜。为了实现大扭转角度、小驱动电压的设计目标,通过仿真实验进行对比分析,确定了微反射镜的相关尺寸。采用低压化学气相沉积、光刻、反应离...
关键词：微机电系统(MEMS) 微反射镜 静电驱动 悬臂梁式 平行平板型 
基于静电驱动的平行平板型微反射镜的研制
《微纳电子技术》2023年第6期924-930,共7页吴嘉琦 赖丽燕 李以贵 
国家自然科学基金(62104151);上海应用技术大学引进人才基金(YJ2021-59)。
设计了一种基于静电驱动的平行平板型微反射镜,主要由镜面、下电极、支柱和玻璃基板构成。通过有限元模拟分析得到的仿真结果表明,带孔结构的微镜模型模拟位移量是传统双横梁支撑结构微镜模型的1.5倍,确定了制备的微镜装置结构。在制备...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 微反射镜 静电驱动 平行平板型 玻璃基板 
面向大行程垂直运动的电磁驱动式MEMS微反射镜
《功能材料与器件学报》2023年第3期202-209,共8页宋柯宇 凌必赟 陈栋 徐巧 吴亚明 
上海市青年科技英才扬帆计划资助(20YF1456600)
本文提出了一种具有大行程垂直位移的电磁驱动式MEMS微反射镜。该MEMS微反射镜基于杠杆原理,以电磁力驱动杠杆的短臂扭转,从而使连接长臂的反射镜面产生较大的位移;采用对称设计的弹性铰链结构,抵消水平方向的位移,以保证反射镜面仅在...
关键词：MEMS微镜 电磁驱动 放大杠杆 弹性铰链 
新型静态傅里叶变换光谱仪干涉系统仿真与分析被引量：3
《光学学报》2021年第18期240-246,共7页郑莹 吕金光 
国家自然科学基金(61805239);中国科学院青年创新促进会基金(2018254);沈阳理工大学引进高层次人才科研项目(1010147000805);沈阳理工大学科研创新团队建设计划资助项目;辽宁省教育厅面上青年人才项目。
提出了一种新型静态傅里叶变换光谱仪(FTS)。在该光谱仪的干涉系统中,采用两个具有周期性结构的微反射镜代替马赫-曾德尔干涉系统的平面镜,不仅无任何驱动部件,还无回溯光产生,进而实现了FTS的静态化和高光通量。介绍了静态FTS的工作原...
关键词：光谱学 傅里叶变换光谱仪 马赫-曾德尔干涉系统 微反射镜 
45°光纤微反射镜聚焦离子束加工及多轴位移检测研究被引量：2
《应用光学》2021年第3期557-564,共8页李俊 李嘉伟 张鼎博 刘旭 李阔 马天 王伟峰 翟小伟 
国家自然科学基金(51974236)。
聚焦离子束加工作为一种微纳加工手段,可以用来制造纳米元件和微结构元件。研究了在多芯光纤的末端,使用聚焦离子束加工技术设计和制造45°镜面的全过程。该光学镜面由两步加工完成,首先是扫描过程,用来制造粗糙的切割面;然后是抛光过程...
关键词：物理光学 微加工 聚焦离子束 位移检测 
低空高分辨率激光雷达光学系统设计被引量：3
《红外与激光工程》2021年第1期280-286,共7页刘壮 王超 江伦 史浩东 
国家自然科学基金(61701045,61805028);吉林省教育厅“十三五”科学技术研究规划项目(JJKH20190566KJ)。
针对"低慢小"目标光学成像识别能力差、复杂背景下信噪比低等问题,设计了一款低空高空间分辨率激光雷达光学系统。发射光学系统扫描器件采用MEMS反射镜,设计了专用扩束光学系统保证不同扫描角度发射激光的光束质量;接收光学系统采用物...
关键词：光学设计 激光雷达 MEMS微反射镜 数字微反射镜器件 背景噪声 
金属微反射镜对非制冷氧化钒微测辐射热计的红外辐射吸收率影响分析与一种改进的微测辐射热计模型被引量：1
《红外技术》2018年第4期316-321,共6页朱瀚杰 蒋剑良 Ali Imran 
北京市自然科学基金项目(4073040)。
从光学角度出发,首先讨论了单层VOx微测辐射热计中探测单元衬底上的金属反射镜的厚度以及材料对微测辐射热计红外吸收率的影响,利用软件建立了微测辐射热计的红外辐射吸收率模型,得到了厚度不同的Al反射镜对微测辐射热计模型8~14?m红外...
关键词：微测辐射热计 金属反射镜 红外吸收率 模型 
激光阶梯刻蚀法制备45°微反射镜及垂直耦合研究被引量：3
《中国激光》2016年第11期20-25,共6页邓传鲁 宋志强 庞拂飞 王建辉 王廷云 
上海市教委创新重点项目(14ZZ093);上海市科技成果转化与产业化项目(16511104300)
提出了一种基于准分子激光制备45°微反射镜的新方法──激光阶梯刻蚀法,介绍了该方法的工艺流程。通过优化参数制备了微反射镜样品,详细分析了样品参数对微镜反射性能的影响。利用微反射镜样品进行垂直耦合实验,深入讨论了影响系统损...
关键词：激光技术 光波导 45°微反射镜 激光阶梯刻蚀法 垂直耦合 
时空联合调制成像光谱仪前置成像系统分析与设计
《物理学报》2014年第10期64-71,共8页王文丛 梁静秋 梁中翥 吕金光 秦余欣 田超 王维彪 
国家自然科学基金(批准号:61027010;60977062;61376122);吉林省科技发展计划(批准号:201205025;20130206010GX);长春市科技计划(批准号:2011131;2013261)资助的课题~~
为满足红外成像光谱仪大光通量、高稳定性的应用需求,提出了一种基于多级阶梯微反射镜的静态化、无狭缝式、新型红外时空联合调制型傅里叶变换成像光谱仪结构.对其工作原理和光程差的产生方式进行了分析.作为该成像光谱仪的重要部件,前...
关键词：傅里叶变换成像光谱仪 光学系统分析与设计 多级阶梯微反射镜 中波红外 
全选清除导出
共5页<12345>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部