微加工

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毫米波/太赫兹MEMS开关研究及技术进展
《固体电子学研究与进展》2025年第1期41-46,共6页张博 李依桐 张乃柏 宋瑞良 邓琨 杨光耀 刘军 
国家重点研发计划资助项目(2018YFE0202500)。
毫米波/太赫兹MEMS开关是一种采用半导体技术制造的微小型可移动器件,具有体积小、功耗低、集成度高等优点。本文首先介绍了毫米波/太赫兹MEMS开关的结构及工作原理,回顾了近年来基于固定梁式和悬臂梁式的毫米波/太赫兹MEMS开关的研究进...
关键词：微机电开关 电容比 微加工 半导体技术 6G移动通信 
电力计量仪表超快激光穿透破损机理和工艺研究
《应用激光》2025年第1期86-95,共10页张文嘉 温凯 欧阳紫晴 龙江游 
为解决电力计量仪表传统机械破损产生的碎屑、噪声、刀具损耗等问题,使用超短脉冲激光穿透标刻加工技术,实现绿色高效破损。首先研究计量仪表液晶显示模块表面聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)和内部表层玻璃的激光烧蚀特性,然后讨论两种典型标...
关键词：激光烧蚀 超快激光微加工 聚甲基丙烯酸甲酯 玻璃 表面微结构 
6H-SiC表面亚波长周期结构的飞秒激光制备及机理研究被引量：1
《中国激光》2024年第24期245-253,共9页和万霖 秦彦军 
新疆维吾尔自治区自然科学基金(2021D01B47);陕西省自然科学基础研究计划(2019JQ-813);新疆维吾尔自治区高校基本科研业务费科研项目(XJEDU2024P091)。
飞秒激光在材料表面诱导产生亚波长周期性表面结构不仅可以改变材料表面的物化性质,而且具有加工速度快、不需要使用光刻机等昂贵的设备等优点,在多个领域中具有广阔的应用前景。利用飞秒激光直写微加工技术,对6H-SiC材料表面亚波长周...
关键词：激光光学 激光微加工 表面周期结构 表面等离激元(SPP) 飞秒激光 
飞秒激光制备绝缘性超疏水表面上静电镊操控液滴研究
《中国激光》2024年第24期254-264,共11页徐天宇 雍佳乐 李新蕾 陈圳瑞 程子龙 吴东 
统筹推进世界一流大学和一流学科建设专项资金(YD2090002013)。
非接触液滴操控有着广泛的应用,然而现有的液滴操控方法存在液滴移动距离短、操控灵活性差和操控精度低等问题。提出了一种结合飞秒激光制备的超疏水表面和静电作用来操控液滴的方法。利用飞秒激光在电绝缘性聚二甲基硅氧烷(PDMS)表面...
关键词：飞秒激光 激光微加工 超疏水表面 液滴操控 静电镊 
超短激光微加工数学建模优化分析
《激光与红外》2024年第10期1554-1561,共8页施培成 张钦 
2021年河南省科技攻关计划项目(No.212102210372)资助。
超短激光微加工进行优化时涉及到多个参数,而这些参数间往往存在着复杂的相互关系,导致优化方法的优化性能较差。为此,提出超短激光微加工数学建模优化分析方法。首先,基于导热微分方程分析超短激光微加工在表面产生的热累积作用,根据...
关键词：超短激光微加工 导热微分方程 数学建模优化 表面粗糙度 加工精度 
类器官芯片,带来更道德的未来
《看世界》2024年第21期5-5,共1页吴阳煜 
大小只有一毫米,含有人的心脏细胞,跳动频率也和人体心脏一样,一分钟约跳60次,这就是不折不扣的微缩版心脏。就像是建造模拟人体内部环境的“房子”,凭借微加工、3D打印和纳米自组装等技术,输入相关细胞,由此“长”出对应的器官,在生物...
关键词：3D打印 心脏细胞 人体心脏 微加工 纳米自组装 前沿技术 生物医药领域 模拟人体 
太赫兹真空器件中超深金属慢波结构的微加工技术
《真空科学与技术学报》2024年第9期759-767,共9页姜琪 李兴辉 冯进军 蔡军 潘攀 
大功率微波电真空器件技术国防科技重点实验室基金项目(10249)。
太赫兹真空电子器件物理结构尺寸变化随着波长的减小而减小,对微小结构的尺寸精度与表面粗糙度要求也大大增加。随着器件频率进入到太赫兹频段,慢波结构的深度达到几十微米或者百微米量级,加工的难点主要有:材料为金属,结构超深,表面粗...
关键词：太赫兹真空电子器件 微机电系统 深反应离子刻蚀 紫外−光刻、电铸 慢波结构 
使用牺牲层优化PDMS微流控芯片打孔工艺
《传感器与微系统》2024年第7期118-121,共4页闫婷婷 李慧 孟晓帅 魏春阳 李姗姗 
国家自然科学基金资助项目(51728502);天津市特殊支持青年拔尖人才(第三批180191);河北省重点研发计划资助项目(19271707D);河北省自然科学基金资助项目(E2020202101,F2021202001);河北省留学回国人员资助项目(C20200314,C20210337)。
聚二甲基硅氧烷(PDMS)在微流控芯片技术中有非常广泛的应用,PDMS弹性体打孔是芯片加工中重要的工作环节,打孔质量直接影响到样品的导入导出和产物收集等,而孔的质量受到芯片厚度和打孔器规格等因素的影响。一个标准的孔应当满足以下几...
关键词：牺牲层 正交实验 参数优化 微加工工艺 
不同物理形貌对树突状细胞伪足小体及细胞骨架分布的影响
《医用生物力学》2024年第S01期297-297,共1页龙世棋 吴翠芳 曾柱 
国家自然科学基金项目,12132006,31771014,11762006
目的在生物体内,细胞无时无刻与细胞外基质发生接触,细胞外基质的物理形貌可通过机械传导影响细胞的生物学功能。作为重要的固有免疫细胞,树突状细胞可在体内不停巡逻、识别抗原并加工提呈给T细胞,进而启动适应性免疫应答。目前,尚不清...
关键词：树突状细胞 细胞外基质 细胞骨架 免疫荧光技术 空间定位 微加工技术 圆柱形 吞噬功能 
激光微加工技术在高精度金属零件制造中的应用研究
《现代制造技术与装备》2024年第S1期65-67,共3页梅虎 程方勇 薛西玲 
文章综合分析了光纤激光器、固体激光器、CO_(2)激光器以及飞秒激光器共4种常见的激光微加工技术,探讨了它们在精密切割、微孔钻孔、高精度雕刻和表面处理等方面的应用。进一步明确了激光微加工在材料兼容性、热影响区和设备成本方面的...
关键词：激光微加工 高精度 金属零件 光纤激光器 
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